CN204779919U - 泡生法用鸟笼式加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了泡生法用鸟笼式加热器，包括两个呈半圆形的电极，竖直且均匀布置在两电极上的多组钨杆，以及横向固定在钨杆上的多个钨环。其中，钨杆包括分别与两电极相连的第一直线段和第二直线段，以及连接所述第一直线段和第二直线段的连接段。上述钨环与钨杆采用氩弧焊方式相焊接。本实用新型采用氩弧焊的方式将钨环焊接在钨杆的相应位置，固定更加牢固，其使用寿命与加热器的寿命趋于一致，在大幅降低成本的同时，使得加热器的使用寿命可延长20％以上。此外，在上述焊接处缠绕捆扎钨丝或钨铼丝，可进一步提高加热器的可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及加热器领域，尤其涉及一种泡生法用鸟笼式加热器。
背景技术
在LED领域的晶体生长方法中，泡生法是世界公认的最适合大规模工业化生产的一种方法。目前泡生法一般采用控制功率或者电压来控制热场温度，长晶过程很少甚至不提拉晶体，整个晶体生长过程都处于热区中，整个工艺过程持续时间较长。加热器作为控制温度场均匀和稳定的关键部件，其可靠性直接关乎长晶的效率。
目前传统的钨环固定方式是用钨铼丝将钨环直接捆扎在钨杆上，随着工作时间的延长，钨铼丝在高温真空下的固着能力逐渐减弱，5～6个周期后需要拆出加热器进行重新固定，钨铼丝价格昂贵，而且在拆装过程中易使得加热器发生损坏，影响加热器的使用寿命。
鉴于此，如何设计开发一种新型加热器，以提高加热器的使用寿命，已成为本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
为克服上述问题，本实用新型提供一种加热器，在降低成本的同时，大大延长了加热器的使用寿命，直接提高长晶效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：泡生法用鸟笼式加热器，包括两个呈半圆形的电极，竖直且均匀布置在两电极上的多组钨杆，以及横向固定在钨杆上的多个钨环。其中，钨杆包括分别与两电极相连的第一直线段和第二直线段，以及连接所述第一直线段和第二直线段的连接段。上述钨环与钨杆采用氩弧焊方式相焊接。优选的，为进一步提高加热器的可靠性，在焊接处还可缠绕捆扎钨丝或钨铼丝。
为提供长晶所需的温度场，作为本实用新型的进一步改进，钨杆的数量不少于24根，钨环的数量不少于4个。
作为本实用新型的更进一步改进，在电极下部还设有一固定座，固定座下侧还设置有用于调节平稳度的调节螺栓，上述结构可进一步保持加热器工作的平稳性，为长晶提供均匀、稳定的温度环境。
作为本实用新型的一种实施方式，钨杆的形状为开口朝下的U形，且相邻各钨杆的连接段彼此高低错位布置。当然，钨杆的形状并不限于U形，其连接段还可采用S形，折线形或其他形状，只要实现导通即可。
本实用新型与现有技术相比，其优点在于：
本实用新型采用氩弧焊的方式将钨环焊接在钨杆的相应位置，固定更加牢固，其使用寿命与加热器的寿命趋于一致，在大幅降低成本的同时，使得加热器的使用寿命可延长20％以上。此外，在上述焊接处缠绕捆扎钨丝或钨铼丝，可进一步提高加热器的可靠性。将钨杆设置成开口朝下的U形，其结构更加简单，相邻各钨杆的连接段彼此高低错位布置，可利于形成更加均匀、温度的温度场，利用长晶成形。
以下将结合附图和实施例，对本实用新型进行较为详细的说明。
附图说明
图1为本实用新型的剖视图。
图2为本实用新型的局部结构示意图，图中示意出各钨杆的连接段彼此高低错位布置，此外图中示意出一根钨环的固定位置。
图中，1、电极；2、钨杆；3、钨环；4、固定座；21、第一直线段；22、第二直线段；23、连接段。
具体实施方式
实施例，请一并参阅图1至2，泡生法用鸟笼式加热器，包括两个呈半圆形的电极1，竖直且均匀布置在两电极上的多根钨杆2，以及横向固定在钨杆2上的多个钨环3。其中，上述两电极1不相封闭，钨杆2包括分别与两电极相连的第一直线段21和第二直线段22，以及连接所述第一直线段21和第二直线段22的连接段23。钨环3与钨杆2采用氩弧焊方式相焊接，并且焊接处缠绕捆扎钨铼丝。钨杆2的数量为24根(图2仅示出局部)，钨环3的数量为5个(图2仅示出1个)。在电极1下部还设有一固定座4，固定座下侧还设置有用于调节平稳度的调节螺栓(图中未示出)。上述钨杆2的形状为开口朝下的U形，且相邻各钨杆的连接段彼此高低错位布置。
本实用新型采用氩弧焊的方式将钨环焊接在钨杆的相应位置，固定更加牢固，其使用寿命与加热器的寿命趋于一致，在大幅降低成本的同时，使得加热器的使用寿命可延长20％以上。此外，在上述焊接处缠绕捆扎钨丝或钨铼丝，可进一步提高加热器的可靠性。
以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定，故在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型所述的构造、特征及原理所做的等效变化或装饰，均应落入本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.泡生法用鸟笼式加热器，包括两个呈半圆形的电极(1)，竖直且均匀布置在两电极上的多组钨杆(2)，以及横向固定在钨杆(2)上的多个钨环(3)，其特征在于：所述钨杆(2)包括分别与两电极相连的第一直线段(21)和第二直线段(22)，以及连接所述第一直线段(21)和第二直线段(22)的连接段(23)；所述钨环(3)与钨杆(2)采用氩弧焊方式相焊接。
2.如权利要求1所述泡生法用鸟笼式加热器，其特征在于：所述钨杆(2)的数量不少于24根，钨环(3)的数量不少于4个。
3.如权利要求1所述泡生法用鸟笼式加热器，其特征在于：所述电极(1)下部还设有一固定座(4)。
4.如权利要求3所述泡生法用鸟笼式加热器，其特征在于：所述固定座(4)下侧还设置有用于调节平稳度的调节螺栓。
5.如权利要求1至4任一项所述泡生法用鸟笼式加热器，其特征在于：所述钨杆(2)的形状为开口朝下的U形，且相邻各钨杆的连接段彼此高低错位布置。
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| CN201520481269.6U CN204779919U (zh) | 2015-07-01 | 2015-07-01 | 泡生法用鸟笼式加热器 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109355707A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-02-19 | 国宏中晶集团有限公司 | 一种c轴取向的碳化硅磁控溅射系统及方法 |
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