CN102321914A - 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极 - Google Patents

一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极 Download PDF

Info

Publication number
CN102321914A
CN102321914A CN 201110303405 CN201110303405A CN102321914A CN 102321914 A CN102321914 A CN 102321914A CN 201110303405 CN201110303405 CN 201110303405 CN 201110303405 A CN201110303405 A CN 201110303405A CN 102321914 A CN102321914 A CN 102321914A
Authority
CN
China
Prior art keywords
water cooled
hollow
cooled electrode
sapphire crystal
crystal growth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 201110303405
Other languages
English (en)
Inventor
刘世全
徐家庆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangzhou Jinglandi Crystal Equipment Co.,Ltd.
Original Assignee
GUANGZHOU JINGLAN LIGHTING CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by GUANGZHOU JINGLAN LIGHTING CO Ltd filed Critical GUANGZHOU JINGLAN LIGHTING CO Ltd
Priority to CN 201110303405 priority Critical patent/CN102321914A/zh
Publication of CN102321914A publication Critical patent/CN102321914A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

本发明公布了一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,其采用两个空芯的环状导电体上下排列构成泡生炉的两个电极,每个电极上焊接两个直立式空芯导电管柱,用于进水和出水;加热钨丝经空间排列后两头分别安装于上下两个空芯水冷电极的环上,通电后提供晶体生长所需要的热场;该水冷电极具有安装维护方便,形成的热场轴向完全对称,以形成最佳的晶体生长条件。

Description

一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极
技术领域
本发明涉及熔体籽晶法单晶生长炉设备,尤其涉及一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极。
背景技术
LED产业的迅猛发展促进蓝宝石衬底晶体的需求,相应带动了泡生法蓝宝石晶体生长炉的发展。目前很多企业应用的泡生法晶体炉都是以俄罗斯泡生炉为蓝本,其加热体钨丝预制成桶形鸟笼状结构,钨丝两端通过上部两个对合安装的中空水冷半环电极分别连接电源正负极,通电后形成泡生炉热场,这种电极结构的鸟笼状钨丝加热体排布方式,不仅制作麻烦,而且局部损坏导致整体报废,尤其是下部热场存在热节和冷节,形不成晶体生长所要求的绝对轴对称的温度场。
发明内容
为了克服现有泡生法蓝宝石晶体生长炉技术的不足,本发明提供一种由空芯的环状导电体以及空芯导电管柱共同构成水冷电极,其中两个直立式空芯导电管柱分别用于进水和出水,两个独立的电极分别与直流电源的正极和负极连接,形成两个配对的水冷电极,加热钨丝经空间排列后两头分别安装于上下两个空芯水冷电极的环上,通电后形成绝对轴对称的温度场分布。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,所述由两个空芯的环状导电体以及空芯导电管柱共同构成水冷电极,且两个水冷电极在高度方向上下固定。
作为本发明的进一步改进,所述空芯的环状导电体结构相同,大小相同或不同,且截面形状可以是矩形或者圆形。
作为本发明的进一步改进,所述环状导电体的空芯部分和导电管柱的空芯部分相通且可以通水。
作为本发明的进一步改进,所述空芯导电管柱其高度可以相同,也可以不同。
作为本发明的进一步改进,所述环状导电体和导电管柱的材质是铜合金。
本发明产生的有益效果是,制作简单,不易损坏,水冷电极及附属加热钨丝具有安装更换方便,成本低的特点;尤其是通过加热钨丝的合理布局,可以形成完全轴对称的温度场分布,营造非常有利的晶体生长条件。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明实施例的结构图。
图2是本发明水冷电极的截面图。
附图标记说明:1.水冷电极圆环,2.空心导电管柱,
具体实施方式
在图1、图2实施例中,一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,将导电率高的金属制成两个空芯的水冷电极圆环(1),并在每个环上焊接两对同样材质的空心导电管柱(2),用于连接电源和冷却水进出,即形成水冷电极。水冷电极圆环(1)内表面设置有安装钨丝发热体的螺纹孔,钨丝发热体两端通过螺纹孔分别连接于上下两个水冷电极圆环(1)内表面构成通电回路。

Claims (5)

1.一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,其特征在于由空芯的环状导电体以及空芯导电管柱共同构成水冷电极,其中两个直立式空芯导电管柱分别用于进水和出水,两个独立的电极分别与直流电源的正极和负极连接,形成两个配对的水冷电极。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,其中所述空芯的环状导电体结构相同,大小相同或不同,且截面形状可以是矩形或者圆形。
3.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,其中所述环状导电体的空芯部分和导电管柱的空芯部分相通且可以通水。
4.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,其中所述空芯导电管柱其高度可以相同,也可以不同。
5.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极,其中所述环状导电体和导电管柱的材质是铜合金。
CN 201110303405 2011-10-09 2011-10-09 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极 Pending CN102321914A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201110303405 CN102321914A (zh) 2011-10-09 2011-10-09 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201110303405 CN102321914A (zh) 2011-10-09 2011-10-09 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102321914A true CN102321914A (zh) 2012-01-18

Family

ID=45449741

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201110303405 Pending CN102321914A (zh) 2011-10-09 2011-10-09 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102321914A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103060903A (zh) * 2012-12-28 2013-04-24 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 用于ky法生产蓝宝石晶体的加热电极
CN103160919A (zh) * 2013-03-09 2013-06-19 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 一种蓝宝石晶体的泡生法生产设备中的加热电极

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101311660A (zh) * 2008-03-12 2008-11-26 江苏双良锅炉有限公司 多晶硅还原炉之水冷电极
CN201485285U (zh) * 2009-09-01 2010-05-26 上海森松新能源设备有限公司 多晶硅氢化炉水冷电极
CN201508113U (zh) * 2009-09-15 2010-06-16 北京普析通用仪器有限责任公司 一种石墨炉水冷电极

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101311660A (zh) * 2008-03-12 2008-11-26 江苏双良锅炉有限公司 多晶硅还原炉之水冷电极
CN201485285U (zh) * 2009-09-01 2010-05-26 上海森松新能源设备有限公司 多晶硅氢化炉水冷电极
CN201508113U (zh) * 2009-09-15 2010-06-16 北京普析通用仪器有限责任公司 一种石墨炉水冷电极

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103060903A (zh) * 2012-12-28 2013-04-24 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 用于ky法生产蓝宝石晶体的加热电极
CN103060903B (zh) * 2012-12-28 2015-04-29 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 用于ky法生产蓝宝石晶体的加热电极
CN103160919A (zh) * 2013-03-09 2013-06-19 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 一种蓝宝石晶体的泡生法生产设备中的加热电极
CN103160919B (zh) * 2013-03-09 2016-01-27 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 一种蓝宝石晶体的泡生法生产设备中的加热电极

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5481886B2 (ja) 多結晶シリコン製造装置
CN101323984B (zh) 一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置及其制作方法
CN103046135B (zh) 一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构
CN102321914A (zh) 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极
CN107059112B (zh) 半导体级硅单晶炉底部加热器
CN202247003U (zh) 泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极
CN102548061B (zh) 一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极
CN203295664U (zh) 一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的独立加热双坩埚连续供料装置
CN103160919B (zh) 一种蓝宝石晶体的泡生法生产设备中的加热电极
CN102154687A (zh) 大直径单晶炉勾型电磁场装置
CN203049094U (zh) 一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构
CN103060903B (zh) 用于ky法生产蓝宝石晶体的加热电极
CN202090094U (zh) 大直径单晶炉勾型电磁场装置
CN201626999U (zh) 单晶炉勾形磁场装置
CN202558964U (zh) 生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置
KR101362362B1 (ko) 사파이어 잉곳 제조용 성장로의 하부 실드
CN203021679U (zh) 用于ky法生产蓝宝石晶体的加热电极
CN203333810U (zh) 一种蓝宝石单晶炉保温结构
CN102583955A (zh) 用于铂金通道的直接电加热法兰
CN202610392U (zh) 一种蓝宝石长晶炉节能装置
CN203247337U (zh) 一种单晶生长炉的加热体结构
TWI504306B (zh) 一種高溫長晶爐所使用的三相電阻式加熱器
CN103160920A (zh) 单晶生长炉的加热体结构
CN102719892B (zh) 一种蓝宝石长晶炉节能装置
JP2015115176A (ja) 高温用ヒーターユニット

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SHENZHEN JINGLANDI CRYSTAL DEVICE CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: GUANGZHOU JINGLAN LIGHTING CO., LTD.

Effective date: 20120227

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 511396 GUANGZHOU, GUANGDONG PROVINCE TO: 518106 SHENZHEN, GUANGDONG PROVINCE

TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20120227

Address after: 518106 No. 1, No. sixty-second, No.1 Industrial Zone, Li Songlang community, Gongming office, Guangming District, Shenzhen, Guangdong

Applicant after: Guangzhou Jinglandi Crystal Equipment Co.,Ltd.

Address before: 511396, Guangdong, Guangzhou province Zengcheng small town general cloth cloth Hill

Applicant before: Guangzhou Jinglan Lighting Co.,Ltd.

C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20120118