CN204760365U - 一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置 - Google Patents

Abstract

一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，包括陶瓷支撑销、承重台，所述承重台上设置安装孔用于安装所述陶瓷支撑销，陶瓷支撑销用于支撑晶片，所述陶瓷支撑销轴向设置有排气通孔，用于导出气流，所述陶瓷支撑销下部设置有密封圈，用于限制陶瓷支撑销在安装孔内的位置。本实用新型的装置可使晶片的破损率及支撑销上“微颗粒”的数量明显下降，降低晶片的破损率及机器的故障率，提高机器产能，延长陶瓷支撑销的使用寿命。

Description

一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置

技术领域

本实用新型涉及支撑销装置领域，特别是一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置。

背景技术

现有技术中的支撑销不带密封圈，请参考图1、2，图1为现有支撑销结构示意图，图2为现有支撑销安装状态图，如图所示，陶瓷支撑销与安装孔之间存在缝隙，承重台在升降时，陶瓷支撑销容易滑动，导致晶片滑出平台，由于缝隙的存在，陶瓷支撑销与安装孔之间易产生磨擦，产生“微颗粒”（Particle）；而且现有的支撑销没有排气孔，当腔体从真空状态恢复到常压状态时，承重台在升降时，陶瓷支撑销容易被所产生的气流推出槽，导致晶片偏离位子；当薄圆片被机械手臂放在承载台上方，承载台上升从机械手臂顶出薄圆片时，由于支撑销中心无小孔排气，导致薄圆片与支撑销之间存在空气隔膜，造成薄圆片在接触支撑销时产生移动，使得薄圆片偏离其中心。

实用新型内容

针对现有技术不足，本实用新型提供了一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，可使晶片的破损率及支撑销上“微颗粒”的数量明显下降，降低机器故障率，提高机器产能。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，包括陶瓷支撑销、承重台，所述承重台上设置安装孔用于安装所述陶瓷支撑销，陶瓷支撑销用于支撑晶片，所述陶瓷支撑销轴向设置有排气通孔，用于导出气流，所述陶瓷支撑销下部设置有密封圈，用于限制陶瓷支撑销在安装孔内的位置。

进一步地，所述陶瓷支撑销为圆柱形。

进一步地，所述陶瓷支撑销的数量为7个。

进一步地，所述陶瓷支撑销呈正八边形顶点排列，所空出的一个位置用于机械臂的进出，可以安放晶片。

进一步地，所述排气通孔设置于陶瓷支撑销轴向中心位置。

本实用新型具备的优点：一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，通过在陶瓷支撑销上添加密封圈及排气通孔，有效稳固了支撑销，防止置于支撑销上的晶片出现滑动，同时避免了支撑销上因其与安装孔之间因磨擦产生的“微颗粒”，以及真空腔从真空状态恢复到常压状态时由于承重台的升降，支撑销因没有排气孔而被气流推出槽而导致的晶片移位，从而降低晶片的破损率及机器的故障率，提高机器产能，延长陶瓷支撑销的使用寿命。

附图说明

图1为现有支撑销结构示意图；

图2为现有支撑销安装状态图；

图3为本实用新型陶瓷支撑销结构示意图；

图4、5为本实用新型使用状态图；

图6为本实用新型使用状态下的侧视图。

图中，1、陶瓷支撑销，2、承重台，3、晶片，4、机械臂，5、排气通孔，6、密封圈，11、安装孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明，如图4、5及6所示，一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，包括陶瓷支撑销1、承重台2，所述承重台上设置安装孔11用于安装所述陶瓷支撑销1，陶瓷支撑销1用于支撑晶片3；如图3所示，所述陶瓷支撑销1轴向设置排气通孔5，用于导出气流，所述陶瓷支撑销1下部设置有密封圈6，用于限制陶瓷支撑销1在安装孔11内的位置。

进一步地，所述陶瓷支撑销1为圆柱形，所述陶瓷支撑销的数量为7个，所述7个陶瓷支撑销呈正八边形顶点排列，所空出的一个位置用于机械臂4的进出，可以安放所述晶片3，所述排气通孔5设置于陶瓷支撑销1轴向中心位置。

Claims (5)

1.一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，包括陶瓷支撑销、承重台，其特征在于，所述承重台上设置安装孔用于安装所述陶瓷支撑销，陶瓷支撑销用于支撑晶片，所述陶瓷支撑销轴向设置有排气通孔，用于导出气流，所述陶瓷支撑销下部设置有密封圈，用于限制陶瓷支撑销在安装孔内的位置。

2.根据权利要求1所述的一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，其特征在于：所述陶瓷支撑销为圆柱形。

3.根据权利要求1或2所述的一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，其特征在于：所述陶瓷支撑销的数量为7个。

4.根据权利要求3所述的一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，其特征在于：所述陶瓷支撑销呈正八边形顶点排列，所空出的一个位置用于安放晶片的机械臂的进出。

5.根据权利要求1或2所述的一种机器真空腔内使用的陶瓷支撑销装置，其特征在于：所述排气通孔设置于陶瓷支撑销轴向中心位置。