CN204747030U - 一种硅片清洗筐 - Google Patents

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邢玉军
苏荣义
赵勇
孙红永
张全红
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Abstract

本实用新型创造提供一种硅片清洗筐，包括清洗筐、片篮、转动轴、轴承、齿轮、齿条和重力传动坠，所述片篮置于清洗筐底部，所述转动轴、轴承和齿轮由内向外依次套装，所述转动轴固定在清洗筐内片篮所在位置的底部，所述齿条与齿轮啮合，所述齿条下端与重力传动坠连接，所述转动轴与排放在片篮内的硅片相接触。本实用新型创造具有的优点和积极效果是：能够使硅片各个位置都均匀接收超声作用，防止出现清洗死角或片篮印，有效改善硅片表面的清洗效果，提高硅片表面质量，进一步提高了产品的市场竞争力。

Description

一种硅片清洗筐
技术领域
本发明创造属于硅材料加工领域，尤其是涉及一种硅片清洗筐。
背景技术
面对当前竞争越来越激烈的半导体材料市场，提高硅片产品的自身品质是提高产品竞争力的有效途径之一，而硅片表面的清洗效果为考察硅片表面质量的一项重要参数。
原始的超声波清洗机使用的清洗筐，仅为装载标准片篮的载体，起到带动片篮随着清洗机的机械手在超声波清洗机的各槽内转移及随着抛动臂在清洗槽内进行抛动。硅片在片篮内处于相对静止状态，由于超声波被片篮阻挡或洗手、清洗液在狭小的空间内无法自由流动，导致硅片与片篮接触的位置存在片篮印，影响硅片表面的清洗效果。
发明内容
本发明创造要解决的问题是提供一种能够有效改善清洗效果的硅片清洗篮。
为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是：一种硅片清洗筐，包括清洗筐和片篮，所述片篮置于清洗筐底部，所述片篮内排放有硅片，还包括转动轴、轴承、齿轮、齿条和重力传动坠，所述转动轴、轴承和齿轮由内向外依次套装，所述转动轴固定在清洗筐内片篮所在位置的底部，所述齿条与齿轮啮合，所述齿条下端与重力传动坠连接，所述转动轴与排放在片篮内的硅片相接触。
优选地，所述轴承为单向轴承。
本发明创造具有的优点和积极效果是：能够使硅片各个位置都均匀接收超声作用，防止出现清洗死角或片篮印，有效改善硅片表面的清洗效果，提高硅片表面质量，进一步提高了产品的市场竞争力。
附图说明
图1是本发明创造结构示意图；
图2是本发明创造在清洗筐向上抛动时的工作原理示意图；
图3是本发明创造在清洗筐向下抛动时的工作原理示意图；
图中：1-清洗筐，2-片篮，3-硅片，4-转动轴，5-轴承，6-齿轮，7-齿条，8-动力传动坠。
具体实施方式
下面结合附图对本发明创造的具体实施例做详细说明。
一种硅片清洗筐，包括清洗筐1和片篮2，所述片篮2置于清洗筐1底部，所述片篮2内排放有硅片3，还包括转动轴4、轴承5、齿轮6、齿条7和重力传动坠8，所述转动轴4、轴承5和齿轮6由内向外依次套装，其中所述轴承5为单向轴承，所述转动轴4固定在清洗筐1内片篮2所在位置的底部，所述齿条7与齿轮6啮合，所述齿条7下端与重力传动坠8连接，所述转动轴4与排放在片篮2内的硅片3相接触。
原硅片清洗筐的工作原理如下：清洗筐1在设备内上下移动，带动片篮2作抛动动作，同时硅片3也随之作抛动动作。硅片3在片篮2内处于静止状态，由于超声波被片篮2阻挡或吸收，清洗液在狭小的空间内无法自由流动，导致硅片3与片篮2接触的位置存在片篮印。
本发明创造的工作原理如下：
清洗筐1向上抛动时，重力传动坠8带动齿条7相对清洗筐1向下运动，齿条7带动转动轴上的齿轮6转动，但由于轴承5为单向轴承，所以此时与硅片3接触的转动轴4不转动。
清洗筐1向下抛动时，重力传动坠8带动齿条7运动但受到清洗槽底部阻挡，相对清洗筐1向上运动，齿条7带动转动轴上的齿轮6转动，此时与硅片3接触的转动轴4随齿轮6一起转动，带动片篮2内硅片3旋转。
清洗筐1循环上下抛动运动，硅片3在片篮2内进行单向旋转，从而实现硅片3的各个位置都可以均匀接受超声作用，有效防止出现清洗死角。
以上对本发明创造的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明创造的实施范围。凡依本发明创造申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明创造的专利涵盖范围之内。

Claims (2)

1.一种硅片清洗筐，包括清洗筐和片篮，所述片篮置于清洗筐底部，所述片篮内排放有硅片，其特征在于：还包括转动轴、轴承、齿轮、齿条和重力传动坠，所述转动轴、轴承和齿轮由内向外依次套装，所述转动轴固定在清洗筐内片篮所在位置的底部，所述齿条与齿轮啮合，所述齿条下端与重力传动坠连接，所述转动轴与排放在片篮内的硅片相接触。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗筐，其特征在于：所述轴承为单向轴承。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104826850A (zh) * 2015-06-04 2015-08-12 天津市环欧半导体材料技术有限公司 一种硅片清洗筐

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