CN204738044U - 一种单晶炉用三节式托杆 - Google Patents
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Abstract
一种轴向导热量小的单晶炉用三节式托杆，包括托杆上节（1）、托杆中节（2）和托杆下节（3），所述托杆上节（1）、托杆中节（2）和托杆下节（3）按从上至下顺序装配连接，所述托杆中节（2）由保温材料制成，所述保温材料为炭-炭复合材料或二氧化锆陶瓷材料。本实用新型通过独特的结构设计，可以降低托杆的轴向热传导，起到节能降耗的作用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉用托杆，具体涉及一种单晶炉用三节式托杆。
技术背景
对硅单晶生产企业来说，提高硅材料利用率，降低单位能耗，提高生产效率，降低生产成本一直是企业追求的目标。因此，热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。
众所周知，单晶炉托杆是用来支撑坩埚托、坩埚以及全部硅料的重量；单晶炉托杆还起到传递坩埚升降，坩埚旋转等运动的作用。在单晶生产过程中，托杆处于高温热场中，因现有单晶炉的托杆几乎是实心石墨杆，有一部分热量会沿托杆的轴向快速传导，最终会被冷却水带走，这样能耗会偏高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种可以降低托杆轴向热传导、起到节能降耗作用的单晶炉用三节式托杆。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：一种单晶炉用三节式托杆，包括托杆上节、托杆中节和托杆下节，所述托杆上节、托杆中节和托杆下节按从上至下顺序装配连接，所述托杆中节由保温材料制成。
进一步，为了防止所述托杆中节分别与托杆上节、托杆下节产生相对转动，在托杆中节分别与托杆上节、托杆下节的连接处采用螺纹连接或在连接处位置的圆周方向采用螺栓固定。
进一步，所述螺栓的数量优选2～4个。所述螺栓由炭-炭复合材料或等静压石墨制成。
进一步，制作所述托杆中节的保温材料为炭-炭复合材料或二氧化锆陶瓷材料，以保证高温状态下托杆中节的强度及稳定性。
进一步，所述炭-炭复合材料的密度优选≥1.0g/cm3。
进一步，所述托杆上节和托杆下节优选等静压石墨制成。
本实用新型与现有技术相比，有以下优点：
（1）本实用新型托杆中节采用导热系数较低的保温材料（优选炭-炭复合材料或二氧化锆陶瓷材料）制成，能有效地减少托杆轴向热传导，达到节能降耗目的；
（2）本实用新型托杆结构简单，加工、安装、拆卸均方便。
附图说明
图1为本实用新型单晶炉用三节式托杆，托杆中节分别与托杆上节、托杆下节的连接处采用螺纹连接的结构示意图；
图2为本实用新型单晶炉用三节式托杆，托杆中节分别与托杆上节、托杆下节在连接处位置的圆周方向采用螺栓固定的结构示意图；
图3为图2的A-A横截面图；
其中：1-托杆上节，2-托杆中节，3-托杆下节，4-螺栓。
具体实施方式
以下结合实例对本实用新型作进一步说明。
实施例1
参照图1，本实施例包括托杆上节1、托杆中节2和托杆下节3，所述托杆上节1、托杆中节2和托杆下节3按从上至下顺序装配连接，所述托杆中节2由保温材料制成，托杆上节1和托杆下节3由等静压石墨制成。
为了防止所述托杆中节2分别与托杆上节1、托杆下节3产生相对转动，在托杆中节2分别与托杆上节1、托杆下节3的连接处采用螺纹连接。
制作所述托杆中节2的保温材料为炭-炭复合材料，炭-炭复合材料的密度为1.0g/ cm3。
将本实施例三节式托杆应用于单晶炉热场中，与未使用本实用新型托杆的热场比较，缩短化料时间1.5h，单晶等径平均功率降低3.0KW，单晶单炉生产节约用电170度。
实施例2
参照图2、3，本实施例与实施例1的区别仅在于，在托杆中节2分别与托杆上节1、托杆下节3的连接处位置的圆周方向采用螺栓4固定，螺栓4的数量为1个，螺栓4由炭-炭复合材料制成；托杆中节2的保温材料为二氧化锆陶瓷材料。
将本实施例三节式托杆应用于单晶炉热场中，与未使用本实用新型托杆的热场比较，缩短化料时间1.2h，单晶等径平均功率降低2.5KW，单晶单炉生产节约用电140度。
实施例3
本实施例与实施例1的区别仅在于，在托杆中节2分别与托杆上节1、托杆下节3的连接处位置的圆周方向采用螺栓4固定，螺栓4的数量为均布4个，螺栓4由等静压石墨制成；托杆中节2炭-炭复合材料的密度为1.5g/ cm3。
将本实施例三节式托杆应用于单晶炉热场中，与未使用本实用新型托杆的热场比较，缩短化料时间1.5h，单晶等径平均功率降低2.5KW，单晶单炉生产节约用电150度。
实施例4
本实施例与实施例1的区别仅在于，在托杆中节2分别与托杆上节1、托杆下节3的连接处位置的圆周方向采用螺栓4固定，螺栓4的数量为均布3个，螺栓4由炭-炭复合材料制成；托杆中节2炭-炭复合材料的密度为1.4g/ cm3。
将本实施例三节式托杆应用于单晶炉热场中，与未使用本实用新型托杆的热场比较，缩短化料时间1.5h，单晶等径平均功率降低2.5KW，单晶单炉生产节约用电150度。
实施例5
本实施例与实施例1的区别仅在于，托杆中节2的保温材料为二氧化锆陶瓷材料。
将本实施例三节式托杆应用于单晶炉热场中，与未使用本实用新型托杆的热场比较，缩短化料时间1.2h，单晶等径平均功率降低2.5KW，单晶单炉生产节约用电140度。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何修改、变更以及等效结构变换，均仍属本实用新型技术方案的保护范围。
Claims (8)
1.一种单晶炉用三节式托杆，其特征在于，包括托杆上节（1）、托杆中节（2）和托杆下节（3），所述托杆上节（1）、托杆中节（2）和托杆下节（3）按从上至下顺序装配连接，所述托杆中节（2）由保温材料制成。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：所述托杆中节（2）与托杆上节（1）、托杆下节（3）的连接处分别采用螺纹连接或在连接处位置的圆周方向采用螺栓（4）固定。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：所述托杆中节（2）与托杆上节（1）、托杆下节（3）的连接处位置的圆周方向采用螺栓（4）的数量为2～4个。
4.根据权利要求1-3任一权利要求所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：制作所述托杆中节（2）的保温材料为炭-炭复合材料或二氧化锆陶瓷材料。
5.据权利要求4所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：所述炭-炭复合材料的密度≥1.0g/ cm3。
6.根据权利要求1-3任一权利要求所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：所述托杆上节（1）和托杆下节（3）由等静压石墨制成。
7.根据权利要求4所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：所述托杆上节（1）和托杆下节（3）由等静压石墨制成。
8.根据权利要求2或3所述的单晶炉用三节式托杆，其特征在于：所述螺栓（4）由炭-炭复合材料或等静压石墨制成。
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| CN201520442123.0U CN204738044U (zh) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | 一种单晶炉用三节式托杆 |
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|---|---|---|---|---|
| CN109252216A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-01-22 | 成都斯力康科技股份有限公司 | 控制加热温场提纯制备多晶硅的装置及工艺 |
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2015
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| CN109252216A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-01-22 | 成都斯力康科技股份有限公司 | 控制加热温场提纯制备多晶硅的装置及工艺 |
| CN109252216B (zh) * | 2018-11-19 | 2020-03-20 | 成都斯力康科技股份有限公司 | 控制加热温场提纯制备多晶硅的装置及工艺 |
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