CN204612668U - 直控超宽光谱在线膜厚监测系统 - Google Patents
直控超宽光谱在线膜厚监测系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204612668U CN204612668U CN201520283095.2U CN201520283095U CN204612668U CN 204612668 U CN204612668 U CN 204612668U CN 201520283095 U CN201520283095 U CN 201520283095U CN 204612668 U CN204612668 U CN 204612668U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- source
- spectrometer
- monitoring system
- film thickness
- thickness monitoring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000026676 system process Effects 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种直控超宽光谱在线膜厚监测系统，具体涉及监测膜厚使用的光源结构。
背景技术
光学薄膜现已成为光学制造业中的一个独立分支，在数码产品、光学仪器、生物医药、光通信、航空航天等行业有着广泛的应用和巨大的商业市场。近年来，随着高科技的不断创新与颠覆，对光学元器件的要求包括对光学镀膜的特性和精度的要求越来越高，这样对于镀膜监控的波长范围及准确性也提出了更高要求。
薄膜的制备，除了选择合适的材料和稳定的制备工艺外，还必须精确监控工件片上的光学特性。光学薄膜的理论基础是光的干涉理论，所以特别关注的是光学厚度，目前属于光学厚度监控的方法包括单波长间接监控法和可见宽光谱间接监控法。
间接监控法，即在线监控系统监测的是固定在旋转卡具的中心位置的监控片，通过监测监控片的镀制膜厚来间接得出旋转卡具上所有工件的镀制膜厚。此种方法缺点包括：其一，监控片固定于旋转卡具的中心位置，旋转卡具和膜层厚度调节板对其没有调节作用，使得监控片与工件在镀制膜层厚度上会有比较大的差异，使实际得到的工件镀膜厚度与所需镀膜厚度相差很大，影响镀制膜厚的准确度；其二，间接监控光路由于位于真空室中心位置，容易受到蒸发源等杂散光的干扰，影响信号精度与准确性，也会影响镀制膜厚的准确度。
单波长间接监控法的特点是通过监测监控片的一个波长点，实时获取其透射率，与理论停点比较来控制每一层。优点是光路简单，缺点是由于只监控一个波长点的光度值，数据量小，如果出现不可预知的干扰信号会造成系统停点误判；另外，单波长监控法更适合于使用极值点判停的规整膜系的制备。
目前，宽光谱间接监控法是在400-850nm波长范围内监视监控片的光谱特性，实时测量的是光谱的透射率，得到的是光谱曲线。光谱法监控法获取的信息量远远高于单波长监控方法；在一定光谱范围内可以实现膜层厚度误差补偿；不再依赖于膜系是否规整，而非规整膜系具有光学特性好、膜层数少、蒸镀时间短等显著特点，符合现代工业的发展需要。宽光谱监控一般选用以CCD阵列为主的光谱仪，其具有测量速度快、稳定性好、体积小等优势。
在中国发明专利（公开号：CN102517559A）中公开了一种“基片光学特性的在线膜厚直接监测系统”，该系统采用膜厚直接监控方法，包括光源、光接收器、触发发送装置、触发接收装置和主控系统，光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收器采集反射或透射的光信号传送至主控系统处理得到镀膜厚度。其中的光源可以设置在镀膜机的真空室内，通过光源固定支架支撑；或者，光源设置在镀膜机的真空室外，并将光源发出的光线由光纤引入至真空室内；或者，在真空室上设置透视窗将光源发出的光线自透视窗引入，但是并没有公开光源的具体构成以及波长范围。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种直控超宽光谱在线膜厚监测系统，采用紫外光源和可见红外光源复合成覆盖紫外、可见和红外的全波段光信号，拓展宽光谱监控系统的波长范围，以增加系统的应用功能，直接监控工件，实现高精度自动镀膜过程。
为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。
进一步，所述光接收单元通过光纤连接至所述光谱仪，所述光谱仪、触发接收装置分别电连接至所述控制采集单元，所述控制采集单元电连接至所述主控制器。
进一步，所述紫外光源采用氘灯，所述可见红外光源采用卤钨灯。
进一步，所述紫外光源设置有滤光片，过滤掉紫外光源所发出的波长大于400nm以上的光信号。
进一步，复合后的所述光源中光信号波长范围是200-1100nm。（这个技术特征可能会被删除）
进一步，所述Y型光纤的输出端固定在镀膜真空室内的光纤支架上。
进一步，所述光接收单元设置在镀膜真空室的顶部或底部，所述触发发送装置设置在旋转工件盘的侧边上，所述触发接收装置设置在镀膜真空室的侧壁上，并可以与所述触发发送装置产生感应的高度位置。
采用上述结构设置的膜厚监测系统具有以下优点：
本实用新型通过Y型光纤复合紫外光源与可见红外光源，组合多个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪同时接收，实现了全光谱波长范围监控，极大地拓宽了系统的适用范围。直接监测工件的透射光谱特性，避免监测监控片带来的膜厚差异，真正实现产品光学特性所见即所得；有效避免受到蒸发源的杂散光的干扰，提高测量精度和测量稳定性，从而提高镀膜产品质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为真空镀膜设备所采用工件盘的俯视图。
图中：1.紫外光源；2.可见红外光源；3.Y型光纤；4.真空室；5.光纤支架；6.厚度均匀调节板；7.通光孔；8.工件盘；9. 监测基片；10.触发发送装置；11.触发接收装置；12.光接收单元；13.光纤；14.光谱仪；15.控制采集单元；16. 主控制器。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达到预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图和较佳实施例，对本实用新型的结构、特征以及功效详细说明如下。
本实用新型所应用的真空镀膜设备，结构如图1、图2所示，设置有真空室4，真空室4底部设置有蒸发源，真空室4上部设置有旋转工件盘8，工件盘8上固定多个被镀膜的工件，真空室4内还设置有厚度均匀调节板6，厚度均匀调节板6上设置有通光孔7，监测光源发出的光信号通过通光孔7射向被监测的监测基片9。
如图1、图2所示，该实施例中的直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元12、光谱仪14、触发发送装置10、触发接收装置11、控制采集单元15和主控制器16，光源照射在接近工件盘9中心的外侧固定的监测基片9上，通过光接收单元12采集反射或透射的光信号传送至光谱仪14；光源采用紫外光源1和可见红外光源2通过Y型光纤3复合成覆盖紫外、可见和红外的全波段光信号，紫外光源1和可见红外光源2分别连接Y型光纤3的两个输入端，光谱仪14包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。
光接收单元12通过光纤13连接至光谱仪14，光谱仪14、触发接收装置11分别电连接至控制采集单元15，控制采集单元15电连接至主控制器16。主控制器16采用计算机。
在本实施例中，紫外光源1采用氘灯，可见红外光源2采用卤钨灯。
氘灯可用作紫外线光源，它发出的光的波长范围一般为190-400nm的连续光谱带。由于氘灯在486nm、583nm、656.1nm三处各有一根特征谱线，为了避免这些光信号的影响，紫外光源有必要设置滤光片，过滤掉紫外光源所发出的波长大于400nm以上的光信号。
复合后的光源中光信号波长范围是200-1100nm。
Y型光纤3的输出端固定在镀膜真空室4内的光纤支架5上。
光接收单元12设置在镀膜真空室4的顶部或底部，触发发送装置10设置在旋转工件盘8的侧边上，触发接收装置11设置在镀膜真空室4的侧壁上，并可以与触发发送装置10产生感应的高度位置。
上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；其特征在于，所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。
2.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述光接收单元通过光纤连接至所述光谱仪，所述光谱仪、触发接收装置分别电连接至所述控制采集单元，所述控制采集单元电连接至所述主控制器。
3.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述紫外光源采用氘灯，所述可见红外光源采用卤钨灯。
4.如权利要求3所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述紫外光源设置有滤光片，过滤掉紫外光源所发出的波长大于400nm以上的光信号。
5.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，复合后的所述光源中光信号波长范围是200-1100nm。
6.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述Y型光纤的输出端固定在镀膜真空室内的光纤支架上。
7.如权利要求1所述的膜厚监测系统，其特征在于，所述光接收单元设置在镀膜真空室的顶部或底部，所述触发发送装置设置在旋转工件盘的侧边上，所述触发接收装置设置在镀膜真空室的侧壁上，并可以与所述触发发送装置产生感应的高度位置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520283095.2U CN204612668U (zh) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | 直控超宽光谱在线膜厚监测系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520283095.2U CN204612668U (zh) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | 直控超宽光谱在线膜厚监测系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204612668U true CN204612668U (zh) | 2015-09-02 |
Family
ID=53965221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520283095.2U Expired - Fee Related CN204612668U (zh) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | 直控超宽光谱在线膜厚监测系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204612668U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107764523A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-06 | 盛禛真空技术丹阳有限公司 | 镜片镀膜视觉监控系统及其使用方法 |
| CN112098354A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-18 | 国网重庆市电力公司电力科学研究院 | 一种基于紫外吸收光谱法的sf6分解组分检测设备及方法 |
-
2015
- 2015-05-05 CN CN201520283095.2U patent/CN204612668U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107764523A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-06 | 盛禛真空技术丹阳有限公司 | 镜片镀膜视觉监控系统及其使用方法 |
| CN112098354A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-18 | 国网重庆市电力公司电力科学研究院 | 一种基于紫外吸收光谱法的sf6分解组分检测设备及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3295120B1 (en) | System and method for optimizing deposited performance enhancement coatings on substrates based on reflected light measurement | |
| CN203798452U (zh) | 一种全光谱检测仪 | |
| CN105675511B (zh) | 透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置 | |
| CN104142226B (zh) | 一种ccd器件量子效率测量装置及方法 | |
| US10451480B2 (en) | Systems and methods for chemical analysis using Fabry-Perot tunable filter-attenuated total reflectance (FPTF-ATR) spectrometer | |
| CN204612668U (zh) | 直控超宽光谱在线膜厚监测系统 | |
| CN103940766B (zh) | 农产品组织光学特性检测装置 | |
| CN204346906U (zh) | 在线光谱测量装置及透明介质膜层均匀性在线测量装置 | |
| CN104697972A (zh) | 一种在线实时检测外延片生长的方法 | |
| CN106646429A (zh) | 一种用于激光雷达的自标定几何因子的装置及方法 | |
| CN203278834U (zh) | 可测量信道中心波长的光通道性能监测模块 | |
| CN100410419C (zh) | 计算机控制镀膜装置 | |
| CN103353440B (zh) | 采用气体吸收光谱测量材料漫反射率的装置及方法 | |
| CN103698006B (zh) | 用于在线式分光测色仪的45度环形照明装置 | |
| CN101561559B (zh) | 一种高分辨率窄波段光谱在线膜厚监控系统及分光装置 | |
| CN104296670B (zh) | 多光束光学厚膜监测仪 | |
| CN204389725U (zh) | 一种双峰滤光片 | |
| CN104121991B (zh) | 等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统 | |
| CN102650700B (zh) | 一种高温等离子体有效电荷数的实时光学测量装置 | |
| CN2911757Y (zh) | 智能化光学薄膜全自动监控系统 | |
| CN103542934B (zh) | 一种光谱响应度校准方法及其装置 | |
| CN203053569U (zh) | 一种光谱仪 | |
| CN204142194U (zh) | 多光束光学厚膜监测仪 | |
| CN103409727A (zh) | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 | |
| CN103308165B (zh) | 基于分段积分匹配法获得全波段均衡光谱的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150902 |