CN204608148U - 一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，包括有腔体，所述的腔体的上端、下端分别连接有上盖法兰、底座法兰，底座法兰的上端面固定有下加热区机构，底座法兰上开设有多个连接圆孔，连接圆孔上连接着真空电极组件，上盖法兰的上端面中部设有承接件，承接件的一侧设有排气阀，承接件通过升降调节旋钮与上加热区机构的光轴连接，上加热区机构固定在上盖法兰的下端，腔体的侧面上开设有槽孔，槽孔上固定有透视组件，透视组件上设有透明玻璃，透视组件与透明玻璃之间固定连接有O型圈；本实用新型其结构独特简单，快速升降温度，而且加热部件区间距离可调，加热效果好，部件占用空间范围小，能够降低能耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及化合物蒸发镀膜设备技术领域，具体的说涉及一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构。
背景技术
现有化合物蒸发镀膜设备大都采用电阻丝加热，由于电阻丝本身具有热惯性大且升降温速率慢的特性，使得其温度上限很低，限制了化合物蒸发镀膜设备的使用范围，并且电阻丝具有温度反应敏度低、缠绕复杂等问题，要占用化合物蒸发镀膜设备的大量真空腔空间，而且现有化合物蒸发镀膜设备加热区区间位置固定，对不同化合物的加热需要不同的加热温度，而加热设备区间位置固定对不同化合物加热会造成加热效果差，且增大了能耗。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，其结构独特简单，快速升降温度，而且加热部件区间距离可调，加热效果好。
为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型采用以下技术方案：
一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，所述的加热蒸发机构包括有腔体，所述的腔体的上端、下端分别连接有上盖法兰、底座法兰，所述的上盖法兰、底座法兰的圆周内侧开设有多个相邻两两相互等距的圆孔，底座法兰的上端面固定有下加热区机构，底座法兰上开设有多个连接圆孔，连接圆孔上连接着真空电极组件，上盖法兰的上端面中部设有承接件，所述的承接件的一侧设有排气阀，所述的承接件通过升降调节旋钮与上加热区机构的光轴连接，上加热区机构固定在上盖法兰的下端，所述的腔体的侧面上开设有槽孔，槽孔上固定有透视组件，所述的透视组件上设有透明玻璃，所述的透视组件与透明玻璃之间固定连接有O型圈。
所述的真空电极组件包括双芯真空电极、中心支架、法兰卡箍，所述的双芯真空电极的上端、下端分别连接有法兰卡箍，所述的双芯真空电极上部连接有中心支架，中心支架固定在双芯真空电极上端的法兰卡箍。
本实用新型有益效果：本实用新型其结构独特简单，快速升降温度，而且加热部件区间距离可调，加热效果好，部件占用空间范围小，能够降低能耗。
附图说明
图1为实用新型结构示意图；
图2为本实用新型部分平面示意图；
图3为本实用新型立体结构示意图；
图4为本实用新型部分结构示意图。
具体实施方式
一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，包括有腔体1，所述的腔体1的上端、下端分别连接有上盖法兰2、底座法兰3，所述的上盖法兰2、底座法兰3的圆周内侧开设有多个相邻两两相互等距的圆孔4，底座法兰3的上端面固定有下加热区机构5，底座法兰3上开设有多个连接圆孔6，连接圆孔6上连接着真空电极组件7，上盖法兰2的上端面中部设有承接件8，所述的承接件8的一侧设有排气阀9，所述的承接件8通过升降调节旋钮10与上加热区机构11的光轴12连接，上加热区机构11固定在上盖法兰2的下端，所述的腔体1的侧面上开设有槽孔13，槽孔13上固定有透视组件14，所述的透视组件14上设有透明玻璃15，所述的透视组件14与透明玻璃15之间固定连接有O型圈16。
所述的真空电极组件7包括双芯真空电极71、中心支架72、法兰卡箍73，所述的双芯真空电极71的上端、下端分别连接有法兰卡箍73，所述的双芯真空电极71上部连接有中心支架72，中心支架72固定在双芯真空电极71上端的法兰卡箍73内。
Claims (2)
1.一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，其特征在于：包括有腔体，所述的腔体的上端、下端分别连接有上盖法兰、底座法兰，所述的上盖法兰、底座法兰的圆周内侧开设有多个相邻两两相互等距的圆孔，底座法兰的上端面固定有下加热区机构，底座法兰上开设有多个连接圆孔，连接圆孔上连接着真空电极组件，上盖法兰的上端面中部设有承接件，所述的承接件的一侧设有排气阀，所述的承接件通过升降调节旋钮与上加热区机构的光轴连接，上加热区机构固定在上盖法兰的下端，所述的腔体的侧面上开设有槽孔，槽孔上固定有透视组件，所述的透视组件上设有透明玻璃，所述的透视组件与透明玻璃之间固定连接有O型圈。
2.根据权利要求1所述的一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，其特征在于：所述的真空电极组件包括双芯真空电极、中心支架、法兰卡箍，所述的双芯真空电极的上端、下端分别连接有法兰卡箍，所述的双芯真空电极上部连接有中心支架，中心支架固定在双芯真空电极上端的法兰卡箍。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109536914A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-03-29 | 合肥百思新材料研究院有限公司 | 一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置及其工作方法 |
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2015
- 2015-02-13 CN CN201520109463.1U patent/CN204608148U/zh not_active Expired - Fee Related
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