CN204584518U

CN204584518U - 一种5m级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备

Info

Publication number: CN204584518U
Application number: CN201520088628.1U
Authority: CN
Inventors: 孟凡新; 王国庆; 李义鹏; 郑晓燕; 白景彬; 冯叶素; 张蓬; 陈乃玉
Original assignee: Tianjin Aerospace Changzheng Rocket Manufacturing Co Ltd; China Academy of Launch Vehicle Technology CALT; Capital Aerospace Machinery Co Ltd
Current assignee: Tianjin Aerospace Changzheng Rocket Manufacturing Co Ltd; China Academy of Launch Vehicle Technology CALT; Capital Aerospace Machinery Co Ltd
Priority date: 2015-02-06
Filing date: 2015-02-06
Publication date: 2015-08-26
Anticipated expiration: 2025-02-06

Abstract

本实用新型实施例提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备，解决了现有技术中人工焊接精度低、焊缝质量差的问题；同时又仅针对圆形焊缝进行结构设计，具备效率和成本上的优势。该5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备包括：焊头定位柱(101)、固定支架(102)和焊接执行单元(103)；其中，所述焊头定位柱(101)的中心轴与待焊接法兰盘的中心轴同轴；所述焊接执行单元(103)通过所述固定支架(102)与所述焊头定位柱(101)连接，可在所述焊头定位柱(101)的自旋驱动下，以待焊接法兰盘的中心轴旋转。

Description

一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备

技术领域

本实用新型涉及火箭贮箱加工技术，特别涉及一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备。

技术背景

贮箱(又称为推进剂贮箱)是航天运载器(包括火箭、航天飞机、导弹等)的重要部件，用于贮存燃料并承受全部的结构载荷，其具有直径大、材料薄、刚性弱的特点。贮箱一般由两个箱底和多个筒段焊接而成，其中，箱底通常为由八块瓜瓣拼接而成的半球形。其中，箱底为半球形，直径约为5m，由顶部顶盖、中间圆环和底部过渡环组成。

在实际应用场景中，需要在贮箱箱底安装法兰盘以供安装进液(液氢液氧)管、控制管、监控系统线路等。现有的贮箱法兰盘焊接方法通常是：是首先将瓜瓣八块瓜瓣拼接成半球形箱底，之后利用专用工装设备对各个瓜瓣开设法兰盘安装孔，然后利用专用工装设备使半球形箱底悬空，将法兰盘装配至法兰盘安装孔处并固定，再使用较长手臂的焊接横梁或者利用进行手工方式进行焊接。

但是，上述这种焊接方法法兰盘需进行手工焊接，焊接质量受人为因素影响较大，且焊接过程需多次起收弧，焊接变形大。特别是当贮箱直径为5m级别时，控制起来难度更大。操作难度大，对人员要求较高。

虽然采用高开敞性的焊接机器人虽然可以提高焊接稳定性，但需要对焊接机器人进行数控编程才能实现法兰盘的环缝拼焊过程。因此，针对焊缝形状单一为圆形的法兰盘焊接过程，焊接机器人并不具备效率和成本上的优势。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备，解决了现有技术中人工焊接精度低、焊缝质量差的问题；同时又仅针对圆形焊缝进行结构设计，具备效率和成本上的优势。

本实用新型一实施例提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备，包括：焊头定位柱、固定支架和焊接执行单元；其中，所述焊头定位柱的中心轴与待焊接法兰盘的中心轴同轴；所述焊接执行单元通过所述固定支架与所述焊头定位柱连接，可在所述焊头定位柱的自旋驱动下，以待焊接法兰盘的中心轴旋转。

在一个实施例中，该装备进一步包括：水平运动电机、水平运动电缸、竖直运动电机和竖直运动电缸；

所述水平运动电缸通过所述固定支架与所述焊头定位柱连接；所述水平运动电机驱动所述水平运动电缸的滑块相对所述焊头定位柱进行接近或远离的运动；所述水平运动电缸的滑块上安装所述竖直运动电缸；所述竖直运动电机驱动所述竖直运动电缸的滑块进行竖直运动；所述焊接执行单元固定安装于所述竖直运动电缸的滑块上；或，

所述竖直运动电缸通过所述固定支架与所述焊头定位柱连接；所述竖直运动电机驱动所述竖直运动电缸的滑块进行竖直运动；所述竖直运动电缸的滑块上安装所述水平运动电缸；所述水平运动电机驱动所述水平运动电缸的滑块相对所述焊头定位柱进行接近或远离的运动；所述焊接执行单元固定安装于所述水平运动电缸的滑块上。

在一个实施例中，该装备进一步包括：

Y向微调安装板、至少一个Y向微调导轨、至少一个Y向微调滑块、自旋电机和焊头座；其中，所述自旋电机和焊头定位柱安装于所述焊头座上；所述Y向微调安装板上设有所述至少一个Y向微调导轨；所述焊头座可随所述Y向微调滑块在所述Y向微调导轨上做Y向直线运动；

Z向微调安装板、至少一个Z向微调导轨和至少一个Z向微调滑块；所述Z向微调安装板上设有所述至少一个Z向微调导轨；所述Y向微调安装板随所述Z向微调滑块在所述Z向微调导轨上做Z向直线运动；或，

X向微调安装板、至少一个X向微调导轨和至少一个X向微调滑块；所述X向微调安装板上设有所述至少一个X向微调导轨；所述Z向微调安装板随所述X向微调滑块在所述X向微调导轨上做X向直线运动。

在一个实施例中，所述焊头座的X向和/或Y向通过带有导向柱的扭簧与Y向微调安装板连接。

在一个实施例中，该装备进一步包括：双作用气缸；所述双作用气缸的缸体固连在所述Z向微调安装板上，双作用气缸的活塞杆铰接在所述Y向微调安装板上；和/或，

X向微调电机、丝杠和丝杠螺母；所述X向微调电机安装在所述X向微调安装板；所述丝杠螺母安装在所述Z向微调安装板上；所述X向微调电机驱动所述丝杠旋转，从而带动所述Z向微调安装板做X向直线运动。

在一个实施例中，该装备进一步包括：至少一个装卡机构；其中，所述至少一个装卡机构包括：模胎、瓜瓣压板、法兰压板、法兰定位柱、多个瓜瓣压板安装柱和压紧螺母；

其中，所述模胎的外表面与待焊接瓜瓣的内表面球面半径一致；所述瓜瓣压板的内表面与待焊接瓜瓣的外表面球面半径一致；所述瓜瓣压板通过所述多个瓜瓣压板安装柱将待焊接瓜瓣压紧在所述模胎上；所述法兰定位柱的中心轴与待焊接法兰的中心轴同轴；所述法兰压板呈环状，套装在所述法兰定位柱上，下表面与待焊接法兰的上表面贴合；所述法兰压板通过所述压紧螺母将待焊接法兰压紧在模胎上。

在一个实施例中，所述法兰定位柱的上表面中心位置设有锥形凹窝；所述焊头定位柱的下表面为锥面；所述法兰定位柱的锥形凹窝与所述焊头定位柱的锥面相配合。

在一个实施例中，该装备进一步包括：立柱、横臂和底座；所述立柱可在所述底座上以所述立柱的中心轴旋转；所述横臂可相对所述立柱进行Y向和Z向的直线运动；所述横臂的一端与所述X向微调安装板连接。

在一个实施例中，所述至少一个装卡机构设置于所述立柱中心轴的圆周上。

在一个实施例中，所述水平运动电机、所述竖直运动电机、所述自旋电机、和所述X向微调电机中的至少一种电机连接有减速器。

本实用新型实施例所提供的5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备，通过焊头定位柱定位待焊接法兰盘的环形焊缝中心位置，并利用焊头定位柱的自旋带动焊接执行单元以环形焊缝的中心进行旋转完成环缝焊接。整个焊接过程不需要人工操作也不需要输入数控编程程序，提高了法兰盘焊接效率。此外，由于焊接执行单元通过固定支架与焊头定位柱连接，因此可保证环缝焊接的均匀性，提高了法兰盘焊接精度。

附图说明

图1是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。

图3是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。

图4是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的装卡机构结构示意图。

图5是本实用新型另一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的装卡机构的剖面放大示意图。

图6是本实用新型另一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的装卡机构的装配原理示意图。

图7是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。

图中符号说明如下：

焊头定位柱101、固定支架102、焊接执行单元103、水平运动电机201、水平运动电缸202、竖直运动电机203、竖直运动电缸204、Y向微调安装板301、Y向微调导轨302、自旋电机303、焊头座304、扭簧305、Z向微调安装板306、Z向微调导轨307、双作用气缸308、X向微调安装板309、X向微调导轨310、X向微调电机311、丝杠312、丝杠螺母313、模胎401、瓜瓣压板402、法兰压板403、法兰定位柱404、瓜瓣压板安装柱405、压紧螺母406、立柱701、横臂702、底座703。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。

本实用新型实施例所提供的5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备，在对法兰盘进行焊接时，并不是像现有技术中一样先将瓜瓣拼焊成半球形箱底，然后将该半球形箱底悬空以便从下方进行人工焊接；而是直接在单个瓜瓣的法兰孔上进行法兰盘焊接，焊接时瓜瓣和法兰盘固定在一个装卡机构上，焊接执行单元从箱底的上方沿着法兰盘与箱底的环缝自动进行焊接，然后再将瓜瓣拼焊成半球形箱底。整个箱底的法兰盘焊接过程既不需要人工焊接也不需要输入任何数控编程程序。

图1是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。如图2所示，该5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备包括：焊头定位柱101、固定支架102和焊接执行单元103。

焊头定位柱101的中心轴与待焊接法兰盘的中心轴同轴；焊接执行单元103通过固定支架102与焊头定位柱101连接，可在焊头定位柱101的自旋驱动下，以待焊接法兰盘的中心轴旋转。由于焊接执行单元103与焊头定位柱101之间属于刚性连接，因此焊接执行单元103的旋转过程可实现连续稳定的环缝焊接。整个焊接过程不需要人工操作也不需要输入数控编程程序，提高了法兰盘焊接效率和质量。

图2是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。如图3所示，该法兰盘自动焊接装备的焊接执行单元103还可相对固定支架102进行水平或竖直方向上的运动。该法兰盘自动焊接装备进一步包括：水平运动电机201(设置在水平运动电缸202内部)、水平运动电缸202、竖直运动电机203(设置在竖直运动电缸204内部)和竖直运动电缸204。水平运动电缸202通过固定支架102与焊头定位柱101连接；水平运动电机201驱动水平运动电缸202的滑块相对焊头定位柱101为进行接近或远离的运动。

水平运动电缸202的滑块上安装竖直运动电缸204；竖直运动电机203驱动竖直运动电缸204的滑块进行竖直运动；焊接执行单元103固定安装于竖直运动电缸204的滑块上。

在本实用新型一实施例中，也可以是竖直运动电缸204通过固定支架102与焊头定位柱101连接；竖直运动电机203驱动竖直运动电缸204的滑块进行竖直运动；竖直运动电缸204的滑块上安装水平运动电缸202；水平运动电机201驱动水平运动电缸202的滑块相对焊头定位柱101进行接近或远离的运动；焊接执行单元103固定安装于水平运动电缸202的滑块上。

这样当所要焊接的瓜瓣法兰盘组合件环缝尺寸不一时，操作者可通过控制焊接执行单元103相对焊头定位柱101的水平距离、以及高度来一次性连续完成不同尺寸法兰盘的焊接，进一步提高了焊接效率，且设备开敞度高、成本仍较低。

焊头定位柱101的Y向调节通过以下结构实现：Y向微调安装板301、至少一个Y向微调导轨302、至少一个Y向微调滑块、自旋电机303和焊头座304。自旋电机303和焊头定位柱101固定安装于焊头座304上；Y向微调安装板301上设有至少一个Y向微调导轨302；焊头座304可随Y向微调滑块在Y向微调导轨上做Y向直线运动。

在本实用新型一实施例中，由于焊头定位柱101与待焊接法兰盘的中心轴对准的过程中、以及环缝焊接过程中，焊头定位柱101可能会受到X向或Y向的作用力，因此焊头座304的X向和Y向还可通过带有导向柱的扭簧305与Y向微调安装板301连接。这样焊头座304可通过克服扭簧305的作用力来自适应调节焊头定位柱101的位置，从而保证环缝焊接过程的稳定性。

在本实用新型一实施例中，焊头定位柱101的X向调节是通过丝杠螺母实现的。由于丝杠螺母的调节精度较高，产生的应力较小；即使产生了X向的应力也可以被焊头定位柱101自身的弹性变形克服。此时，焊头定位柱101也可以仅在Y向通过扭簧来实现自适应调节，而不设置X向的扭簧。

焊头定位柱101的Z向调节通过以下结构实现：Z向微调安装板306、至少一个Z向微调导轨307和至少一个Z向微调滑块；Z向微调安装板306上设有至少一个Z向微调导轨307；Y向微调安装板301随Z向微调滑块在Z向微调导轨307上做Z向直线运动。

在本实用新型一实施例中，可采用双作用气缸308的缸体固连在所述Z向微调安装板306上，双作用气缸308的活塞杆铰接在所述Y向微调安装板301上，以此来驱动Y向微调安装板301做Z向直线运动。这样可在Y向微调安装板301做Z向直线运动的同时控制焊头定位柱101向下的压力大小。

焊头定位柱101的X向调节通过以下结构实现：X向微调安装板309、至少一个X向微调导轨310和至少一个X向微调滑块；X向微调安装板309上设有至少一个X向微调导轨310；Z向微调安装板306随X向微调滑块在X向微调导轨310上做X向直线运动。

在本实用新型一实施例中，可通过X向微调电机311、丝杠312和丝杠螺母313来实现Z向微调安装板306的X向直线运动。X向微调电机311安装在X向微调安装板309上；丝杠螺母313安装在Z向微调安装板306上；X向微调电机311驱动丝杠312旋转，从而带动Z向微调安装板306做X向直线运动。

本领域技术人员可以理解，上述提到的X向微调导轨310、X向微调滑块、Y向微调导轨302、Y向微调滑块、Z向微调导轨307、Z向微调滑块的数量可根据各组成部件的尺寸和重量而进行调整。例如，Y向微调安装板301和Z向微调安装板306可分别设两个微调导轨；而由于X向微调安装板309上需要同时承载焊头定位柱101在Y向和Z向上的位置调节结构，因此X向微调安装板309可多设一个微调导轨。本实用新型对X向微调导轨310、X向微调滑块、Y向微调导轨302、Y向微调滑块、Z向微调导轨307、Z向微调滑块的数量不做限定。

在本实用新型一实施例中，水平运动电机201、竖直运动电机203、自旋电机303、和X向微调电机311均连接有减速器。

在本实用新型一实施例中，为了进一步提高环缝焊接时的稳定性，该5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备还可进一步包括至少一个装卡机构，用于将带孔瓜瓣和法兰盘的相对位置固定，以避免二者在环缝焊接时发生相对位移。

图4是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的装卡机构结构示意图。图5是本实用新型另一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的装卡机构的剖面放大示意图。如图4和图5所示，该装卡机构可包括：模胎401、瓜瓣压板402、法兰压板403、法兰定位柱404、多个瓜瓣压板安装柱405和压紧螺母406。

模胎401的外表面与待焊接瓜瓣的内表面球面半径一致；瓜瓣压板402的内表面与待焊接瓜瓣的外表面球面半径一致；瓜瓣压板402通过多个瓜瓣压板安装柱405将待焊接瓜瓣压紧在模胎401上；法兰定位柱404的中心轴与待焊接法兰的中心轴同轴；法兰压板403呈环状，套装在法兰定位柱404上，下表面与待焊接法兰的上表面贴合；法兰压板403通过压紧螺母406将待焊接法兰压紧在模胎401上。

通过使用本实用新型实施例所提供的装卡机构，不同瓜瓣法兰盘组合件的法兰分布位置及尺寸的差异得到了同一化。由于膜胎401的外表面与瓜瓣或法兰盘的下表面贴合，在进行环缝焊接时仅需调整法兰定位柱404的中心轴与待焊接法兰的中心轴同轴即可。因此，本实用新型实施例所提供的5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备可适用于不同瓜瓣法兰盘组合件的焊接。

在本实用新型一实施例中，法兰定位柱404的上表面中心位置设有锥形凹窝，如图6所示；相应地，焊头定位柱101的下表面为锥面；法兰定位柱404的锥形凹窝与焊头定位柱101的锥面相配合。当焊头定位柱101的三维位置可调时，首先将焊头定位柱101调整至法兰定位柱404的上方，然后再调整焊头定位柱101向下压，使焊头定位柱101的锥面与法兰定位柱404锥形凹窝贴合。如前所述，在贴合的过程中，焊头定位柱101可能会受到X向或Y向而定作用力，此时当焊头座304周边可通过克服扭簧305的作用力来自适应调节焊头定位柱101的位置，从而保证环缝焊接过程的稳定性。

本领域技术人员可以理解，装卡机构的数量可根据所要实现的焊接效率而定。当完成一个装卡机构上的法兰盘焊接时，仅需调整焊头定位柱101至下一个装卡机构即可连续完成多个法兰盘的焊接；但通过一个装卡机构也可以完成整个贮箱箱体所有瓜瓣法兰盘的焊接。本实用新型对装卡机构的数量不做限定。

图7是本实用新型一实施例所提供的一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备的结构示意图。如图7所示，该5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备进一步包括：立柱701、横臂702和底座703；立柱701可在底座703上以立柱701的中心轴旋转；横臂702可相对立柱701进行Y向和Z向的直线运动；横臂702 的一端与X向微调安装板301连接。这样焊头定位柱101的位置可通过立柱701和横臂702的运动进行大范围的粗调，然后再进行X向、Y向和Z向的微调，从而进一步提高了焊接效率。

在本实用新型一实施例中，多个装卡机构设置于立柱中心轴的圆周上。这样当该多个装卡机构上的待焊接法兰盘尺寸相同时，仅需要通过立柱701的旋转即可连续完成读个法兰盘的焊接，使得焊接效率进一步提高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种5M级贮箱箱底法兰盘自动焊接装备，其特征在于，包括：焊头定位柱(101)、固定支架(102)和焊接执行单元(103)；其中，所述焊头定位柱(101)的中心轴与待焊接法兰盘的中心轴同轴；所述焊接执行单元(103)通过所述固定支架(102)与所述焊头定位柱(101)连接，可在所述焊头定位柱(101)的自旋驱动下，以待焊接法兰盘的中心轴旋转。

2.根据权利要求1所述的装备，其特征在于，进一步包括：水平运动电机(201)、水平运动电缸(202)、竖直运动电机(203)和竖直运动电缸(204)；

所述水平运动电缸(202)通过所述固定支架(102)与所述焊头定位柱(101)连接；所述水平运动电机(201)驱动所述水平运动电缸(202)的滑块相对所述焊头定位柱(101)进行接近或远离的运动；所述水平运动电缸(202)的滑块上安装所述竖直运动电缸(204)；所述竖直运动电机(203)驱动所述竖直运动电缸(204)的滑块进行竖直运动；所述焊接执行单元(103)固定安装于所述竖直运动电缸(204)的滑块上；或，

所述竖直运动电缸(204)通过所述固定支架(102)与所述焊头定位柱(101)连接；所述竖直运动电机(203)驱动所述竖直运动电缸(204)的滑块进行竖直运动；所述竖直运动电缸(204)的滑块上安装所述水平运动电缸(202)；所述水平运动电机(201)驱动所述水平运动电缸(202)的滑块相对所述焊头定位柱(101)进行接近或远离的运动；所述焊接执行单元(103)固定安装于所述水平运动电缸(202)的滑块上。

3.根据权利要求1或2所述的装备，其特征在于，进一步包括：Y向微调安装板(301)、至少一个Y向微调导轨(302)、至少一个Y向微调滑块、自旋电机(303)和焊头座(304)；其中，所述自旋电机(303)和焊头定位柱(101)安装于所述焊头座(304)上；所述Y向微调安装板(301)上设有所述至少一个Y向微调导轨(302)；所述焊头座(304)可随所述Y向微调滑块在所述Y向微调导轨(302)上做Y向直线运动；

Z向微调安装板(306)、至少一个Z向微调导轨(307)和至少一个Z向微调滑块；所述Z向微调安装板(306)上设有所述至少一个Z向微调导轨(307)；所述Y向微调安装板(301)随所述Z向微调滑块在所述Z向微调导轨(307)上做Z向直线运动；或，

X向微调安装板(309)、至少一个X向微调导轨(310)和至少一个X向微调滑块；所述X向微调安装板(309)上设有所述至少一个X向微调导轨(310)；所述Z向微调安装板(306)随所述X向微调滑块在所述X向微调导轨(310)上做X向直线运动。

4.根据权利要求3所述的装备，其特征在于，所述焊头座(304)的X向和/或Y向通过带有导向柱的扭簧(305)与Y向微调安装板(301)连接。

5.根据权利要求3所述的装备，其特征在于，进一步包括：双作用气缸(308)；所述双作用气缸(308)的缸体固连在所述Z向微调安装板(306)上，双作用气缸(308)的活塞杆铰接在所述Y向微调安装板(301)上；和/或，

X向微调电机(311)、丝杠(312)和丝杠螺母(313)；所述X向微调电机(311)安装在所述X向微调安装板(309)；所述丝杠螺母(313)安装在所述Z向微调安装板(306)上；所述X向微调电机(311)驱动所述丝杠(312)旋转，从而带动所述Z向微调安装板(306)做X向直线运动。

6.根据权利要求1或2所述的装备，其特征在于，进一步包括：至少一个装卡机构；其中，所述至少一个装卡机构包括：模胎(401)、瓜瓣压板(402)、法兰压板(403)、法兰定位柱(404)、多个瓜瓣压板安装柱(405)和压紧螺母(406)；

其中，所述模胎(401)的外表面与待焊接瓜瓣的内表面球面半径一致；所述瓜瓣压板(402)的内表面与待焊接瓜瓣的外表面球面半径一致；所述瓜瓣压板(402)通过所述多个瓜瓣压板安装柱(405)将待焊接瓜瓣压紧在所述模胎(401)上；所述法兰定位柱(404)的中心轴与待焊接法兰的中心轴同轴；所述法兰压板(403)呈环状，套装在所述法兰定位柱(404)上，下表面与待焊接法兰的上表面贴合；所述法兰压板(403)通过所述压紧螺母(406)将待焊接法兰压紧在模胎(401)上。

7.根据权利要求6所述的装备，其特征在于，所述法兰定位柱(404)的上表面中心位置设有锥形凹窝；所述焊头定位柱(101)的下表面为锥面；所述法兰定位柱(404)的锥形凹窝与所述焊头定位柱(101)的锥面相配合。

8.根据权利要求3所述的装备，其特征在于，进一步包括：立柱(701)、横臂(702)和底座(703)；所述立柱(701)可在所述底座(703)上以所述立柱(701)的中心轴旋转；所述横臂(702)可相对所述立柱(701)进行Y向和Z向的直线运动；所述横臂(702)的一端与所述X向微调安装板(309)连接。

9.根据权利要求8所述的装备，其特征在于，所述至少一个装卡机构设置于所述立柱(701)中心轴的圆周上。

10.根据权利要求5所述的装备，其特征在于，所述自旋电机(303)和/或所述X向微调电机(311)连接有减速器。

11.根据权利要求2所述的装备，其特征在于，所述水平运动电机(201)和/或所述竖直运动电机(203)连接有减速器。