CN204564671U - 一种真空吸附装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种真空吸附装置，包括：基板导轨、梯形支架、真空口、管道连接装置、真空转换装置、压缩空气排出口、压缩空气进入口，其特征在于，所述基板导轨垂直安装在梯形支架的梯形侧面上，所述梯形支架的上表面上开有真空口，所述梯形支架的下表面上连接有管道连接装置，所述管道连接装置的另一端连接有真空转换装置，所述真空转换装置上开有压缩空气进入口和压缩空气排出口。如上所述，本实用新型提供一种真空吸附装置，通过真空将基板上的异物吸附干净。
Description
技术领域
本实用新型涉及表面洁净处理技术，特别是涉及一种真空吸附装置。
背景技术
基板在封装前通常需要清理表面残留的异物，通常采用强风清理表面残留的异物，但是采用强风处理时，由于风速过大会吹走其他物体，同时也会对生产人员也会造成一定的影响。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种真空吸附装置，用于解决现有技术的难点。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种真空吸附装置，包括：基板导轨、梯形支架、真空口、管道连接装置、真空转换装置、压缩空气排出口、压缩空气进入口，其特征在于，所述基板导轨垂直安装在梯形支架的梯形侧面上，所述梯形支架的上表面上开有真空口，所述梯形支架的下表面上连接有管道连接装置，所述管道连接装置的另一端连接有真空转换装置，所述真空转换装置上开有压缩空气进入口和压缩空气排出口。
优选的，所述基板导轨上还安装有基板检测装置；进一步优选的，所述基板检测装置为红外线基板检测装置。
优选的，所述真空口为一条狭长的长方形缺口。
如上所述，本实用新型提供一种真空吸附装置，将基板放置在基板导轨上，真空转换装置工作产生真空，梯形支架上表面的真空口吸附基板上的异物，在吸附异物的过程中基本在基板导轨上进行移动，必要时可以采用两个真空吸附装置同时吸附异物，一个吸附基板的上表面，另一个吸附基板的下表面，确保将基板上的异物吸附干净；在基板导轨上安装的红外线基板检测装置，用来检测导轨上有无基板，有基板真空转换装置启动。
附图说明
图1显示为本实用新型的一种真空吸附装置的结构示意图；
标号说明：
1-基板导轨，2-真空口，3-梯形支架，4-管道连接装置，5-真空转化装置，6-压缩空气进气口，7-压缩空气出气口，8-红外线基板检测装置。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1所示，本实用新型提供一种真空吸附装置，包括：基板导轨、梯形支架、真空口、管道连接装置、真空转换装置、压缩空气排出口、压缩空气进入口，其特征在于，所述基板导轨垂直安装在梯形支架的梯形侧面上，所述梯形支架的上表面上开有真空口，所述梯形支架的下表面上连接有管道连接装置，所述管道连接装置的另一端连接有真空转换装置，所述真空转换装置上开有压缩空气进入口和压缩空气排出口。
本实施例中优选的，所述基板导轨上还安装有基板检测装置；进一步优选的，所述基板检测装置为红外线基板检测装置。
本实施例中优选的，所述真空口为一条狭长的长方形缺口。
如上所述，本实用新型提供一种真空吸附装置，将基板放置在基板导轨上，真空转换装置工作产生真空，梯形支架上表面的真空口吸附基板上的异物，在吸附异物的过程中基本在基板导轨上进行移动，必要时可以采用两个真空吸附装置同时吸附异物，一个吸附基板的上表面，另一个吸附基板的下表面，确保将基板上的异物吸附干净；在基板导轨上安装的红外线基板检测装置，用来检测导轨上有无基板，有基板真空转换装置启动。
所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (4)
1.一种真空吸附装置，包括：基板导轨、梯形支架、真空口、管道连接装置、真空转换装置、压缩空气排出口、压缩空气进入口，其特征在于，所述基板导轨垂直安装在梯形支架的梯形侧面上，所述梯形支架的上表面上开有真空口，所述梯形支架的下表面上连接有管道连接装置，所述管道连接装置的另一端连接有真空转换装置，所述真空转换装置上开有压缩空气进入口和压缩空气排出口。
2.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述基板导轨上还安装有基板检测装置。
3.根据权利要求2所述的真空吸附装置，其特征在于，所述基板检测装置为红外线基板检测装置。
4.根据权利要求1、2或3所述的真空吸附装置，其特征在于，所述真空口为一条狭长的长方形缺口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420809197.9U CN204564671U (zh) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 一种真空吸附装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420809197.9U CN204564671U (zh) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 一种真空吸附装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN204564671U true CN204564671U (zh) | 2015-08-19 |
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ID=53857364
Family Applications (1)
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| CN201420809197.9U Active CN204564671U (zh) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 一种真空吸附装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN204564671U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108630586A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-10-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 带异物检测功能的基板吸附设备及异物检测方法 |
| CN113808991A (zh) * | 2021-08-23 | 2021-12-17 | 深圳米飞泰克科技有限公司 | 一种晶圆吸附系统、方法、电子设备及可读存储介质 |
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2014
- 2014-12-19 CN CN201420809197.9U patent/CN204564671U/zh active Active
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |