CN204555657U - 一种坩埚加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了一种坩埚加热器，包括：基板，基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，坩埚固定装置、加热装置和不锈钢罩壳从内至外设置；加热装置包括固定机构、加热片和空腔，空腔由加热片环绕形成的，加热片通过固定机构固定在基板上，加热片与电源电连接，坩埚固定装置位于空腔的底部；坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，固定座都通过连接杆固定在所述基板上；固定座和基板之间还设置有至少两层隔热层。
Description
技术领域
本实用新型涉及坩埚领域，特别涉及一种坩埚加热器。
背景技术
中国专利（CN103557704A）公开了一种坩埚加热设备，包括坩埚、围绕在坩埚外部的金属筒、缠绕在金属筒和坩埚之间的电热丝、用于测量坩埚内材料液位位置的测量单元以及控制器，电热丝包括沿纵向方向设置的至少两个分段，控制器分别控制各个分段的发热功率，从而将坩埚分为至少两个相应的温控区域。
通过设置多个电热丝的分段和相应的坩埚的温控区域，精确地控制坩埚每个位置上的温度，可以有效避免现有技术中无法解决的材料融化不均、突沸甚至是材料裂解等缺陷。
还揭示了在金属筒的第一端部处布置有金属覆盖件，在金属筒的第二端部处布置有金属层或绝热层。有效防止坩埚内的热量流失到周围环境中。
电热丝通电对坩埚进行加热，电热丝产生的热量难免会造成热量流失，通过设置金属覆盖件难免也会造成坩埚热量不均匀的情况，极易影响镀膜和资源浪费情况。
实用新型内容
本实用新型提供了一种坩埚加热器，克服了现有技术的困难，开创了一种节约能源的坩埚加热器。
本实用新型提供了一种坩埚加热器，包括：基板，基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，所述坩埚固定装置、所述加热装置和所述不锈钢罩壳从内至外设置；
所述加热装置包括固定机构、加热片和空腔，所述空腔由所述加热片环绕形成的，所述加热片通过所述固定机构固定在所述基板上，所述加热片与所述电源电连接，所述坩埚固定装置位于所述空腔的底部；
所述坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，所述固定座都通过所述连接杆固定在所述基板上；
所述固定座和所述基板之间还设置有至少两层隔热层。
优选地，所述基板的底部设置有支撑杆。
优选地，所述加热片包括第一加热片和第二加热片，所述空腔包括第一空腔和第二空腔，所述第一空腔由所述第一加热片环绕形成的，所述第二空腔由所述第二加热片环绕形成的，所述第一空腔和所述第二空腔从上至下设置，并且内部联通。
优选地，所述第二加热片的长度长于所述第一加热片的长度。
优选地，所述基板为不锈钢材料制成的基板，所述隔热层上设置有通孔。
优选地，所述空腔的横截面为圆形、方形或长方形。
优选地，所述隔热层为陶瓷材料制成的隔热层。
优选地，所述隔热层的数量为三层。
优选地，所述固定座的数量为四个，每个所述固定座上都设置有固定槽。
优选地，所述固定机构包括陶瓷片和竖杆，所述竖杆竖直设置在所述基板上，所述陶瓷片套设于所述加热片外，并固定在所述竖杆上。
优选地，还包括热电偶，所述空腔的两侧分别设置有所述热电偶，两所述热电偶都位于空腔的顶部，所述空腔的底部也设置有所述热电偶。
由于采用了上述技术，本实用新型的一种坩埚加热器与现有技术相比，本实用新型结构简单，新颖，有效节约能源；本实用新型改变了传统坩埚加热器的结构，由于坩埚加热器是固定在工作台面上的，通过设置至少两层隔热层有效防止坩埚加热装置温度过高，而造成工作台面的损害；设置不锈钢罩壳防止坩埚加热装置散热过快，有储热的作用，有效节约能源。
以下结合附图及实施例进一步说明本实用新型。
附图说明
图1为本实用新型所述坩埚加热器的结构示意图；
图2为本实用新型所述加热装置的主视图；
图3为图2的俯视图；
图4为图2的立体图；
图5为本使用新型所述坩埚固定装置的结构示意图。
附图标记
1 加热装置 10 加热丝
2 不锈钢罩壳 11 热电偶
3 支撑杆 12 第二加热片
4 基板 13 第一加热片
5 隔热层 14 固定机构
6 坩埚固定装置 15 固定槽
7 加热片 16 固定座
8 陶瓷片 17 连接杆
9 竖杆 。
具体实施方式
下面通过图1至5来介绍本实用新型的一种具体实施例。
如图1至图5所示，本实用新型的一种坩埚加热器，包括：基板4，基板4上设置有坩埚固定装置6、加热装置1、不锈钢罩壳2和电源，坩埚固定装置6、加热装置1和不锈钢罩壳2从内至外设置；加热装置1包括固定机构14、加热片7和空腔，空腔由加热片7环绕形成的，加热片7通过固定机构14固定在基板4上，加热片7与电源电连接，坩埚固定装置6位于空腔的底部；坩埚固定装置6包括至少两个固定座16和连接杆17，固定座16都通过连接杆17固定在基板4上；固定座16和基板4之间还设置有至少两层隔热层5。
本实用新型的第一个技术关键为，加热装置1包括固定机构14、加热片7和空腔，空腔由加热片7环绕形成的，加热片7通过固定机构14固定在基板4上，加热片7与电源电连接，坩埚固定装置6位于空腔的底部。
其中，加热片7的数量为多个，每个相邻的加热片7通过加热丝10进行连接，便于安装和加工。相对于加热丝，加热片具有加热面积更大，加热温度更稳定等优点，若通过计算机控制温度，有效提升计算机控制加热片加热温度的精确度，便于计算机控制。
坩埚加热时，坩埚放置在空腔内，坩埚的底部固定在固定座上。此时加热片通电对坩埚进行加热。优选地，固定座的数量为四个，每个固定座上都设置有固定槽15。坩埚的底部固定在固定槽内，使坩埚位置固定。通过连接杆可调节固定座垂直位置。
由于坩埚加热器是固定在工作台面上的，通过设置至少两层隔热层有效防止坩埚加热装置温度过高，而造成工作台面的损害；优选地，隔热层的数量为三层。设置不锈钢罩壳防止坩埚加热装置散热过快，有储热的作用，有效节约能源。
进一步地技术方案为，固定机构14包括陶瓷片8和竖杆9，竖杆9竖直设置在基板4上，陶瓷片8套设于加热片7外，并固定在竖杆9上。至少两层隔热层固定在竖杆上。
加热片固定在陶瓷片上。陶瓷片具有吸热的作用，而不锈钢罩壳不会让温度散热过快。
进一步地，基板4为不锈钢材料制成的基板，隔热层5上设置有通孔。
发热片产生的热量，通过基板，并穿过通孔反射回来，有效节约能源。
第二个关键技术为，加热片7包括第一加热片13和第二加热片12，空腔包括第一空腔和第二空腔，第一空腔由第一加热片13环绕形成的，第二空腔由第二加热片12环绕形成的，第一空腔和第二空腔从上至下设置，并且内部联通。
第一加热片的温度要高于第二加热片的温度，即坩埚顶部的温度高于坩埚底部的温度，除节约能源外，坩埚底部的物质经过低温到高温，使得该物质易受热形成蒸发物质，有效提高镀膜效率，并提高坩埚加热器镀膜的均匀性。
进一步地，第二加热片12的长度长于第一加热片13的长度。
第三个关键技术为，还包括热电偶11，空腔的两侧分别设置有热电偶11，两热电偶11都位于空腔的顶部，空腔的底部也设置有热电偶11。
热电偶连接计算机，通过计算机分别显示坩埚顶部和底部的温度，并通过计算机控制顶部和底部的温度，自动化程度高。
进一步地，空腔的横截面为圆形、方形或长方形。
进一步地技术方案为，隔热层5为陶瓷材料制成的隔热层。陶瓷具有吸热的作用。
进一步地，基板4的底部设置有支撑杆3。基板通过支撑杆固定在工作台面上，有效防止坩埚加热装置温度过高，而造成工作台面的损坏。
以上所述的实施例仅用于说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在于使本领域内的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，不能仅以本实施例来限定本实用新型的专利范采用围，即凡依本实用新型所揭示的精神所作的同等变化或修饰，仍落在本实用新型的专利范围内。
Claims (10)
1.一种坩埚加热器，包括：基板，所述基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，所述坩埚固定装置、所述加热装置和所述不锈钢罩壳从内至外设置；其特征在于：
所述加热装置包括固定机构、加热片和空腔，所述空腔由所述加热片环绕形成的，所述加热片通过所述固定机构固定在所述基板上，所述加热片与所述电源电连接，所述坩埚固定装置位于所述空腔的底部；
所述坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，所述固定座都通过所述连接杆固定在所述基板上；
所述固定座和所述基板之间还设置有至少两层隔热层。
2.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述加热片包括第一加热片和第二加热片，所述空腔包括第一空腔和第二空腔，所述第一空腔由所述第一加热片环绕形成的，所述第二空腔由所述第二加热片环绕形成的，所述第一空腔和所述第二空腔从上至下设置，并且内部联通。
3.如权利要求2所述的坩埚加热器，其特征在于：所述第二加热片的长度长于所述第一加热片的长度。
4.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述基板为不锈钢材料制成的基板，所述隔热层上设置有通孔。
5.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述空腔的横截面为圆形、方形或长方形。
6.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述隔热层为陶瓷材料制成的隔热层。
7.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述隔热层的数量为三层。
8.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述固定座的数量为四个，每个所述固定座上都设置有固定槽。
9.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：所述固定机构包括陶瓷片和竖杆，所述竖杆竖直设置在所述基板上，所述陶瓷片套设于加热片外，并固定在所述竖杆上。
10.如权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于：还包括热电偶，所述空腔的两侧分别设置有所述热电偶，两所述热电偶都位于空腔的顶部，所述空腔的底部也设置有所述热电偶。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520155760.XU CN204555657U (zh) | 2015-03-19 | 2015-03-19 | 一种坩埚加热器 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520155760.XU CN204555657U (zh) | 2015-03-19 | 2015-03-19 | 一种坩埚加热器 |
Publications (1)
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| CN204555657U true CN204555657U (zh) | 2015-08-12 |
Family
ID=53830756
Family Applications (1)
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| CN201520155760.XU Active CN204555657U (zh) | 2015-03-19 | 2015-03-19 | 一种坩埚加热器 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN204555657U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113819755A (zh) * | 2021-10-12 | 2021-12-21 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种高温真空电阻炉用加热器 |
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2015
- 2015-03-19 CN CN201520155760.XU patent/CN204555657U/zh active Active
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| CN113819755A (zh) * | 2021-10-12 | 2021-12-21 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种高温真空电阻炉用加热器 |
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