CN204532997U - 一种扩散泵底部导热槽结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种扩散泵底部导热槽结构，本扩散泵底部导热槽结构所述扩散泵包括扩散泵油、扩散泵底板、加热板和顶紧螺栓，其中所述扩散泵底板上大量环形同心沟槽，加热板通过所述顶紧螺栓连接在所述扩散泵底板上，并通过旋拧该顶紧螺栓，使得所述加热板上表面压紧所述扩散泵底板下表面。本实用新型一种扩散泵底部导热槽结构，通过重新设计扩散泵底部导热槽结构，大大延长了扩散泵泵底的寿命，并且大大缩短了加热升温时间，与此同时无形中减少了热能量的损耗和生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种扩散泵底部导热槽结构。
背景技术
目前，扩散泵利用扩散泵油进行扩散达到抽真空的一种设备；，现有技术利用电热板直接对扩散泵底部的钢板进行加热。具体为扩散泵底部钢板中把加热管的热量传导给扩散泵油，扩散泵油沸腾，从而形成扩散。这种平底加热方式，是现在一直沿用的，但其具有扩散泵底部的钢板和电热管需要较高的温度才能进行传递给扩散泵油的缺陷，而且这种方式会使加热管和底板易变形，最终导致扩散泵提前损毁。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种扩散泵底部导热槽结构。
为解决上述技术问题，本扩散泵底部导热槽结构所述扩散泵包括扩散泵油、扩散泵底板、加热板和顶紧螺栓，其中所述扩散泵底板上大量环形同心沟槽，加热板通过所述顶紧螺栓连接在所述扩散泵底板上，并通过旋拧该顶紧螺栓，使得所述加热板上表面压紧所述扩散泵底板下表面。如此设计，利用带槽的加热方式，用于扩散泵底部的钢板，底部钢板中心向外全部加工成槽，扩散泵油放入其中，油全部填充扩散泵底部的槽。加热时，扩散泵底部的因为加工成槽，扩散泵油和槽全面接触，导热面积大大增加，这样可以迅速的把热量传递给扩散泵油，直到加热到扩散泵油的沸点，扩散泵油、扩撒泵底部钢板和加热管的温度差会大大降低。这样防止扩散泵底高温而变形，加热管由于温度很高而烧毁的风险。
作为优化，所述扩散泵底板上表面全部有油浸没，加热面积增大。如此设计，是的加热板的热传导速度更快，损耗更低，不仅节省了能源成本，而且缩短了扩散泵升温时间，提高了其工作效率。
本实用新型一种扩散泵底部导热槽结构，通过重新设计扩散泵底部导热槽结构，大大延长了扩散泵泵底的寿命，并且大大缩短了加热升温时间，与此同时无形中减少了热能量的损耗和生产成本。
附图说明
下面结合附图对本实用新型一种扩散泵底部导热槽结构作进一步说明：
图1是本扩散泵底部导热槽结构的平面结构示意图。
图中：1-扩散泵油、2-扩散泵底板 3-加热板、4-紧顶螺栓、5-环形同心沟槽。
具体实施方式
如图1所示，本扩散泵底部导热槽结构所述扩散泵包括扩散泵油1、扩散泵底板2、加热板3和顶紧螺栓4，其中所述扩散泵底板2上大量环形同心沟槽5，加热板3通过所述顶紧螺栓4连接在所述扩散泵底板2上，并通过旋拧该顶紧螺栓4，使得所述加热板3上表面压紧所述扩散泵底板2下表面。如此设计，利用带槽的加热方式，用于扩散泵底部的钢板，底部钢板中心向外全部加工成槽，扩散泵油放入其中，油全部填充扩散泵底部的槽。加热时，扩散泵底部的因为加工成槽，扩散泵油和槽全面接触，导热面积大大增加，这样可以迅速的把热量传递给扩散泵油，直到加热到扩散泵油的沸点，扩散泵油、扩撒泵底部钢板和加热管的温度差会大大降低。这样有效的保护了扩散泵底部钢板的变形，加热管由于温度很高而烧毁的风险。
上述实施方式旨在举例说明本实用新型可为本领域专业技术人员实现或使用，对上述实施方式进行修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，故本实用新型包括但不限于上述实施方式，任何符合本权利要求书或说明书描述，符合与本文所公开的原理和新颖性、创造性特点的方法、工艺、产品，均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种扩散泵底部导热槽结构，其特征是：所述扩散泵包括扩散泵油(1)、扩散泵底板(2)、加热板(3)和顶紧螺栓(4)，其中所述扩散泵底板(2)上大量环形同心沟槽(5)，加热板(3)通过所述顶紧螺栓(4)连接在所述扩散泵底板(2)上，并通过旋拧该顶紧螺栓(4)，使得所述加热板(3)上表面压紧所述扩散泵底板(2)下表面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520176378.7U CN204532997U (zh) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | 一种扩散泵底部导热槽结构 |
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| CN201520176378.7U CN204532997U (zh) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | 一种扩散泵底部导热槽结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204532997U true CN204532997U (zh) | 2015-08-05 |
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ID=53747006
Family Applications (1)
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| CN201520176378.7U Active CN204532997U (zh) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | 一种扩散泵底部导热槽结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204532997U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108447813A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-24 | 张家港国龙光伏科技有限公司 | 一种制结泵加热硅舟扩散炉 |
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2015
- 2015-03-26 CN CN201520176378.7U patent/CN204532997U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108447813A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-24 | 张家港国龙光伏科技有限公司 | 一种制结泵加热硅舟扩散炉 |
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Legal Events
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