CN204491041U - 一种蓝宝石生长炉测温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蓝宝石生长炉测温装置,包括位于生长炉内的热电偶测温装置和位于生长炉外的温度补偿器,所述热电偶测温装置与所述温度补偿器通过补偿导线连接,所述温度补偿器连接有显示仪表;其中所述热电偶测温装置的测量温度范围为20-2500度,所述热电偶测温装置的测量误差为±30°,所述补偿导线采用热电偶电缆,所述热电偶测温装置采用钨铼热电偶。本实用新型采用热电偶测温装置测量生长炉内的温度,并通过生长炉外的显示仪表显示测得的生长炉内的温度,该测温装置最高测量温度可达2500°,测量误差±30°,测温精度和准确度高。
Description
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石生长炉领域,特别涉及一种蓝宝石生长炉测温装置。
背景技术
蓝宝石生长炉用来生长三氧化二铝晶体,在生长晶体的过程中,炉内温度一般在2000度以上,温度较高,国内生长炉设备中没有准确的测温装置,一般靠技术人员的经验来确定加热及保温温度、冷却温度,测温精度和准确度低下。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足,提供一种测温精度和准确度高的蓝宝石生长炉测温装置。
为了实现上述发明目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种蓝宝石生长炉测温装置,包括位于生长炉内的热电偶测温装置和位于生长炉外的温度补偿器,所述热电偶测温装置与所述温度补偿器通过补偿导线连接,所述温度补偿器连接有显示仪表;其中所述热电偶测温装置的测量温度范围为20-2500度,所述热电偶测温装置的测量误差为±30°,所述补偿导线采用热电偶电缆,所述热电偶测温装置采用钨铼热电偶。
所述显示仪表为接线盒安装数字指示器。
所述接线盒安装数字指示器包括依次连接的温度变送器和液晶显示器,所述温度变送器与所述温度补偿器连接。
优选的,还包括铝制的壳体,所述壳体安装所述温度变送器和液晶显示器;其中所述壳体上设有观察窗口,所述液晶显示器镶嵌设置在所述观察窗口处。
进一步的,所述观察窗口为矩形或圆形。
所述温度补偿器包括用于测量所述钨铼热电偶冷端温度的测温传感器,所述测温传感器依次连接放大电路、A/D转换电路和单片机,所述单片机连接所述显示仪表。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
本实用新型采用热电偶测温装置测量生长炉内的温度,并通过生长炉外的显示仪表显示测得的生长炉内的温度,该测温装置最高测量温度可达2500°,测量误差±30°,测温精度和准确度高。
附图说明:
图1是本实用新型实施例中的蓝宝石生长炉测温装置示意图;
图2是图1中的温度补偿器电路框图;
图3是图2中的温度补偿器电路原理图。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于以下的实施例,凡基于本实用新型内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。
如图1所示的蓝宝石生长炉测温装置,包括位于生长炉内的热电偶测温装置和位于生长炉外的温度补偿器,所述热电偶测温装置与所述温度补偿器通过补偿导线连接,所述温度补偿器连接有显示仪表;其中所述热电偶测温装置的测量温度范围为20-2500度,所述热电偶测温装置的测量误差为±30°,所述补偿导线采用热电偶电缆(如NANMAC公司的热电偶电缆),所述热电偶测温装置采用钨铼热电偶。
本实用新型采用热电偶测温装置测量生长炉内的温度,并通过生长炉外的显示仪表显示测得的生长炉内的温度,该测温装置最高测量温度可达2500°,测量误差±30°,测温精度和准确度高。
具体的,所述补偿导线用NANMAC公司A8H系列热电偶电缆。所述热电偶测温装置选用钨铼热电偶,其包括A、B端。所述温度补偿器的电路框图和电路原理图如图2和图3所示,所述温度补偿器包括用于测量所述钨铼热电偶冷端温度的测温传感器,所述测温传感器依次连接放大电路、A/D转换电路和单片机,所述单片机连接所述显示仪表。所述放大电路可采用低漂移高精度运放OP-07芯片,经过放大电路放大后的电压信号,其电压范围为0~5V,此信号为模拟信号,必须进行A/D转换。信号经A/D转换电路进行数字量化处理。A/D转换电路可选用ICL7109芯片。为了实现温度的精确测试,使用钨铼热电偶必须进行冷端补偿。测温传感器实时采集热电偶冷端的温度,转换成电压信号输出至放大电路和A/D转换电路进行后续放大及数字化处理。所述测温传感器可选用MAXIM公司的线性温度传感器DS600作为热电偶冷端温度的独立测量元件。DS600将测得冷端温度转换为电压输出,经后续电路量化、采集处理后,与热电偶的热端温度数据一并传输进单片机,利用其测量值在查热电偶低温段的分度表用于钨铼热电偶的冷端补偿。本实施例中所述显示仪表为接线盒安装数字指示器。所述接线盒安装数字指示器包括依次连接的温度变送器和液晶显示器(图未示),所述温度变送器与所述温度补偿器连接。所述接线盒安装数字指示器还包括铝制的壳体(图未示),所述壳体安装所述温度变送器和液晶显示器,壳体可以起到保护温度变送器和液晶显示器的作用,温度变送器将热电偶测得的温度值实时传递给液晶显示器,由液晶显示器实时显示;其中所述壳体上设有观察窗口,所述液晶显示器镶嵌设置在所述观察窗口处,便于观察。所述观察窗口为矩形或圆形,当然也可以是其他形状的观察窗口。
蓝宝石生长炉用来生长三氧化二铝晶体,在生长晶体的过程中,炉内温度一般在2000度以上,国内生长炉没有准确的测温装置,一般靠技术人员的经验来确定加热及保温温度、冷却。本实用新型提出一种蓝宝石生长炉测温装置,该装置采用热电偶测温装置,其测量温度可达2500°,测量误差±30°,测温精度和准确度高。
上面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行了详细说明,但本实用新型并不限制于上述实施方式,在不脱离本申请的权利要求的精神和范围情况下,本领域的技术人员可以作出各种修改或改型。
Claims (6)
1.一种蓝宝石生长炉测温装置,其特征在于,包括位于生长炉内的热电偶测温装置和位于生长炉外的温度补偿器,所述热电偶测温装置与所述温度补偿器通过补偿导线连接,所述温度补偿器连接有显示仪表;其中所述热电偶测温装置的测量温度范围为20-2500度,所述热电偶测温装置的测量误差为±30°,所述补偿导线采用热电偶电缆,所述热电偶测温装置采用钨铼热电偶。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石生长炉测温装置,其特征在于,所述显示仪表为接线盒安装数字指示器。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石生长炉测温装置,其特征在于,所述接线盒安装数字指示器包括依次连接的温度变送器和液晶显示器,所述温度变送器与所述温度补偿器连接。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石生长炉测温装置,其特征在于,还包括铝制的壳体,所述壳体安装所述温度变送器和液晶显示器;其中所述壳体上设有观察窗口,所述液晶显示器镶嵌设置在所述观察窗口处。
5.根据权利要求4所述的蓝宝石生长炉测温装置,其特征在于,所述观察窗口为矩形或圆形。
6.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石生长炉测温装置,其特征在于,所述温度补偿器包括用于测量所述钨铼热电偶冷端温度的测温传感器,所述测温传感器依次连接放大电路、A/D转换电路和单片机,所述单片机连接所述显示仪表。
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