CN204429011U - 一种单晶炉真空过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，公开了一种单晶炉真空过滤装置。该单晶炉真空过滤装置包括：罐体、盖子、进气口、出气口、清理口及排污口，所述盖子设置于罐体顶部，所述清理口设置于所述盖子上，所述排污口设置于所述罐体底部，所述进气口及出气口均设置于所述罐体上，所述罐体内设置有多个滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置中通过罐体顶部的清理口通入高速气体对滤芯进行反向喷吹清理，以及排污口排放粉尘。无需拆卸过滤装置就能清理滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置节省了大量的人力物力，提高了单晶炉利用效率，且方便清理滤芯，具有经济效益显著的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，特别是涉及一种单晶炉真空过滤装置，具体的是一种过滤效率高、耐用且能够方便高效进行滤芯清理的单晶炉真空过滤装置。
背景技术
在单晶硅生产过程中，会产生大量的高温挥发物，如不能有效过滤和处理而直接进入到真空泵，会污染真空泵油，影响真空泵的性能和安全，而且真空泵油的更换和废油处理也非常困难，真空泵效能的下降又直接会影响单晶炉的产量和产品质量。因此，必须对进入真空泵的气体首先进行过滤处理。
当前，过滤装置种类繁多，但普遍存在过滤效率不高、清理过程复杂、滤芯有效寿命短等问题，造成生产成本居高不下。许多公司甚至不使用过滤器，真空泵的使用寿命就会很短，同时需要经常更换真空泵油，工序复杂。
鉴于上述现有技术的缺陷，需要提供一种过滤效率高、耐用且能够方便高效进行滤芯清理的单晶炉真空过滤装置。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是现有的过滤装置种类繁多，但普遍存在过滤效率不高、清理过程复杂、滤芯有效寿命短等问题，造成生产成本居高不下。许多公司甚至不使用过滤器，泵的使用寿命就会很短，同时需要经常更换泵油，工序复杂的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供的一种单晶炉真空过滤装置，其包括：罐体、盖子、进气口、出气口、清理口及排污口，所述盖子设置于罐体顶部，所述清理口设置于所述盖子上，所述排污口设置于所述罐体底部，所述进气口及出气口均设置于所述罐体上，所述罐体内设置有多个滤芯。
其中，还包括设置于所述罐体内的花板，所述花板上设置有多个法兰，所述法兰与所述滤芯对应设置。
其中，所述罐体的底部为锥形。
其中，所述滤芯包括滤网层及支撑层，所述滤网层环绕在所述支撑层上，所述滤芯的材质为金属。
其中，所述进气口的进口端设置有滤过板。
其中，所述进气口与单晶炉废气口连通。
其中，所述出气口与真空泵连接。
(三)有益效果
本实用新型的上述技术方案具有如下优点：本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置中盖子设置于罐体顶部，清理口设置于盖子上，排污口设置于罐体底部，进气口及出气口均设置于罐体上，罐体内设置有多个滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置中通过罐体顶部的清理口通入高速气体对滤芯进行反向喷吹清理，以及排污口排放粉尘。无需拆卸过滤装置就能清理滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置节省了大量的人力物力，提高了单晶炉利用效率，且方便清理滤芯，具有经济效益显著的优点。
附图说明
图1是本实用新型实施例的单晶炉真空过滤装置的俯视图；
图2是本实用新型实施例的单晶炉真空过滤装置中花板的正面示意图。
图中：1：罐体；2：盖子；3：进气口；4：出气口；5：清理口；6：排污口；7：花板；8：滤芯；9：法兰。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的机或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
如图1所示，本实用新型实施例的单晶炉真空过滤装置，其包括：罐体1、盖子2、进气口3、出气口4、清理口5及排污口6，盖子2设置于罐体1顶部，清理口5设置于盖子2上，排污口6设置于罐体1底部。排污口6可以连接至自动粉尘收集装置，实现粉尘收集自动化。进气口3及出气口4均设置于罐体1上，本实施例中进气口3及出气口4均设置于罐体1的同一侧。出气口4与真空泵连接，进气口3与单晶炉的废气口连通。罐体1内设置有多个滤芯8，本实用新型中滤芯8能够将粉尘阻挡在外表面。过滤后排出纯净气体进入真空泵。
罐体1内采用多个滤芯8保证了较大的过滤面积和足够的连续过滤工作时间。在停炉期间，通过罐体1顶部的清理口5通入气体对滤芯8进行反向喷吹清理，以及排污口6排放粉尘，无需拆卸罐体1就能清理滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置节省了大量的人力物力，提高了单晶炉利用效率，且方便清理滤芯8，具有经济效益显著的优点。
本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置中还包括设置于罐体1内的花板7，花板7上设置有多个法兰9，法兰9与滤芯8对应设置，滤芯8上设置有法兰，滤芯8上的法兰与法兰9固定连接，滤芯8通过法兰9安装在花板7上，安装牢固方便。盖子2通过可拆卸法兰连接，方便对滤芯8进行维修和更换。
本实施例中在滤芯8过滤前后加装旁路，并通过阀门开关控制，在滤芯8出现意外严重堵塞或其它故障时，可以打开旁路，继续维持单晶炉正常工作环境，直至本次拉单晶完成。
为了方便粉尘从排污口6排出，本实用新型提供的罐体1单晶炉真空过滤装置的底部为锥形。本实施例中，滤芯8包括滤网层及支撑层，滤网层环绕在支撑层上，滤芯8的材质为金属，本实施例中采用不锈钢材质。金属材质的滤芯能够耐受高温高压，滤芯8阵列设置保证足够的过滤面积，从而提高过滤效果，防止单晶炉中的粉尘进入真空泵中，确保产品质量。
本实施例中的进气口3、出气口4、清理口5和排污口6的开闭可以使用手动阀，也可以通过电控阀或气控阀来实现，可以实现自动清理，节省人力。为了使过滤效果更好，本实施例中的进气口3的进口端设置有滤过板。
本实用新型应用上述的单晶炉真空过滤装置的清理方法，包括如下步骤：
S1、关闭进气口3及出气口4，打开清理口5，通入高速气体对滤芯8进行喷吹；
S2、喷吹后的粉尘落入罐体1的底部，打开排污口6，将喷吹后的粉尘排出。
本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置使用时，打开进气口3和出气口4，废气从进气口3进入，通过滤芯8对气体进行过滤，最后从出气口4排出，需要清理滤芯8时关闭进气口3和出气口4，打开清理口5，高速通入气体，对滤芯8表面进行反向喷吹。打开排污口6，滤芯8表面脱漏的固体粉尘自然由排污口6排出。
综上所述，本实用新型具有以下优点：本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置中盖子设置于罐体顶部，清理口设置于盖子上，排污口设置于罐体底部，进气口及出气口均设置于罐体上，罐体内设置有多个滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置中通过罐体顶部的清理口通入高速气体对滤芯进行反向喷吹清理，以及排污口排放粉尘。无需拆卸过滤装置就能清理滤芯。本实用新型提供的单晶炉真空过滤装置节省了大量的人力物力，提高了单晶炉利用效率，且方便清理滤芯，具有经济效益显著的优点。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (7)
1.一种单晶炉真空过滤装置，其特征在于，包括：罐体(1)、盖子(2)、进气口(3)、出气口(4)、清理口(5)及排污口(6)，所述盖子(2)设置于罐体(1)顶部，所述清理口(5)设置于所述盖子(2)上，所述排污口(6)设置于所述罐体(1)底部，所述进气口(3)及出气口(4)均设置于所述罐体(1)上，所述罐体(1)内设置有多个滤芯(8)。
2.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：还包括设置于所述罐体(1)内的花板(7)，所述花板(7)上设置有多个法兰(9)，所述法兰(9)与所述滤芯(8)对应设置。
3.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述罐体(1)的底部为锥形。
4.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述滤芯(8)包括滤网层及支撑层，所述滤网层环绕在所述支撑层上，所述滤芯(8)的材质为金属。
5.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述进气口(3)的进口端设置有滤过板。
6.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述进气口(3)与单晶炉废气口连通。
7.如权利要求1所述的单晶炉真空过滤装置，其特征在于：所述出气口(4)与真空泵连接。
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| CN201420838273.9U CN204429011U (zh) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 一种单晶炉真空过滤装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104548806A (zh) * | 2014-12-24 | 2015-04-29 | 北京优势同翔科技有限公司 | 一种单晶炉真空过滤装置及清理方法 |
| CN110359089A (zh) * | 2019-07-24 | 2019-10-22 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法 |
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2014
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