CN204346647U - 探漏装置 - Google Patents

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王晓英
余庆
田丹丹
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Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd
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Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供了一种探漏装置,在杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽,第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置,其两端分别延伸至杆体的两端边缘,其中一端在杆体的边缘处连接至第二凹槽;将探漏装置伸向需要探测的区域,若该区域有漏液发生,漏液滴入第一凹槽中,通过倾斜探漏装置,漏液沿第一凹槽流至杆体边缘处的第二凹槽,然后对第二凹槽中的漏液性质进行判断,从而寻找到漏源和了解漏液的性质,不仅避免了工作人员进行狭小的空间受到刮伤、磕碰,甚至与危害物质接触的风险,而且可以节约大量的时间。

Description

探漏装置
技术领域
本实用新型涉及半导体生产中侦测漏液的装置,具体涉及一种探漏装置。
背景技术
在工厂有时会发生从生产线的制造装置、或者向该制造装置供给液体的配管漏液的情况。来自于所述制造装置或配管的漏液会导致工厂设施的破损和制品不良,特别是在半导体生产线上,来自于制造装置或配管的漏液导致工厂设施的破损和制品不良的可能性较高。于是,在工厂的制造装置或配管上设置侦测来自于制造装置或配管的漏液的设备。
目前针对于侦测漏液的设备均为固定被动式,只有当液体流至传感器(Sensor)或传感器感应范围时,才有报警信号输出。这种侦测模式适用于大范围的监测,但是无法满足于人为主观的去寻找和侦测漏源。
在对侦测漏液的设备的使用过程中发现,当安装在高架下方或者狭小空间内的漏液传感器收到报警信号时,工作人员不方便进入到报警区域对漏源进行搜寻,从而无法立即判断漏源的位置和危害性。
并且,目前所有的漏液侦测器都只有侦测漏液报警功能,无法分析漏液的性质,必须人为的使用PH试纸去现场测试其PH值以后,才能判断漏液的信息。但是在局限的狭小空间,人员无法进入的情况下想要了解漏液的性质非常困难。
因此,亟需提供一种针对狭小空间的移动探漏装置,可以在人员不用进入狭小空间的情况下,使用该装置寻找漏源和了解漏液的性质。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种探漏装置,在人员不用进入狭小空间的情况下,使用该装置寻找漏源和了解漏液的性质。
为实现上述目的,本实用新型提供一种探漏装置,包括杆体,在所述杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽,所述第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置,其两端分别延伸至所述杆体的两端边缘,其中一端在所述杆体的边缘处连接至所述第二凹槽。
可选的,所述第一凹槽呈细条形,所述第二凹槽呈方形或圆形。
可选的,所述第一凹槽的宽度为0.01cm~0.03cm。
可选的,所述第一凹槽中设置有吸水棉线,所述第二凹槽中设置有PH试纸。
可选的,所述杆体为长方体。
可选的,所述第一凹槽与第二凹槽位于所述长方体具有长边的平面上。
可选的,所述第一凹槽到所述平面的两个长边的距离相等。
可选的,在所述第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有若干张PH试纸。
可选的,在所述第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有3张PH试纸。
可选的,在所述杆体上靠近第二凹槽的一端设置有操作手柄。
与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
1、本实用新型提供的探漏装置,在杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽,第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置,其两端分别延伸至杆体的两端边缘,其中一端在杆体的边缘处连接至第二凹槽;将探漏装置伸向需要探测的区域,若该区域有漏液发生,漏液滴入第一凹槽中,通过倾斜探漏装置,漏液沿第一凹槽流至杆体边缘处的第二凹槽,然后对第二凹槽中的漏液性质进行判断,从而寻找到漏源和了解漏液的性质,不仅避免了工作人员进行狭小的空间受到刮伤、磕碰,甚至与危害物质接触的风险,而且可以节约大量的时间;
2、本实用新型将第一凹槽设置为细条形,在其中设置吸水棉线,将第二凹槽设置为方形或圆形,在其中设置PH试纸,通过细缝吸水的原理,漏液会沿着吸水棉线蔓延至第二凹槽,使PH试纸变色,工作人员只需要观察PH试纸有无变色和颜色的变化,即可判断漏源和漏液的性质,其操作简单,方便耐用;
3、本实用新型在第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有若干张PH试纸,可以检测到少量的液体泄漏,防止因漏液较少没有滴入第一凹槽而判断错误。
附图说明
图1为本实用新型一实施例所提供的探漏装置的结构示意图。
图2为本实用新型一实施例所提供的探漏装置的俯视图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂,以下结合说明书附图,对本实用新型的内容做进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例,本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。
其次,本实用新型利用示意图进行了详细的表述,在详述本实用新型实例时,为了便于说明,示意图不依照一般比例局部放大,不应对此作为本实用新型的限定。
本实用新型的核心思想在于,在杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽,第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置,其两端分别延伸至杆体的两端边缘,其中一端在杆体的边缘处连接至第二凹槽;将探漏装置伸向需要探测的区域,若该区域有漏液发生,漏液滴入第一凹槽中,通过倾斜探漏装置,漏液沿第一凹槽流至杆体边缘处的第二凹槽,然后对第二凹槽中的漏液性质进行判断,从而寻找到漏源和了解漏液的性质,不仅避免了工作人员进行狭小的空间受到刮伤、磕碰,甚至与危害物质接触的风险,而且可以节约大量的时间。
请参考图1与图2,其为本实用新型一实施例所提供的探漏装置的结构示意图与俯视图。如图1与图2所示,所述探漏装置包括杆体10,在所述杆体10上设置有第一凹槽12与第二凹槽14,所述第一凹槽12沿所述杆体10的长边方向设置,其两端分别延伸至所述杆体的两端边缘,其中一端在所述杆体10的边缘处连接至所述第二凹槽14。
将所述探漏装置伸向需要探测的区域,若该区域有漏液发生,漏液滴入第一凹槽12中,通过倾斜探漏装置,漏液沿第一凹槽12流至杆体10边缘处的第二凹槽14,然后对第二凹槽14中的漏液性质进行判断,从而寻找到漏源和了解漏液的性质,不仅避免了工作人员进行狭小的空间受到刮伤、磕碰,甚至与危害物质接触的风险,而且可以节约大量的时间。需要说明的是,与现有技术相比,本实用新型所提供的探漏装置适用于对狭小空间的漏液进行探测,但是并不局限于狭小空间。
本实施例中,所述第一凹槽12呈细条形,所述第二凹槽14呈方形或圆形;所述第一凹槽12中设置有吸水棉线,所述第二凹槽14中设置有PH试纸,通过细缝吸水的原理,漏液滴至所述第一凹槽12中,会沿着吸水棉线蔓延至第二凹槽14,使PH试纸变色,工作人员只需要观察PH试纸有无变色和颜色的变化,即可判断漏源和漏液的性质,其操作简单,方便耐用。所述第一凹槽12的宽度为0.01cm~0.03cm,例如0.01cm、0.02cm、0.03cm,优选的宽度为0.02cm。
所述杆体10设置为长方体,所述第一凹槽12与第二凹槽14位于所述长方体具有长边的平面上,并且所述第一凹槽12到所述平面的两个长边的距离相等;在其他实施例中,所述杆体10可以为其他的形状,例如:所述杆体的横截面为I字型、T字型或本领域技术人员已知的其他形状。
在所述第一凹槽12两侧的杆体10上交叉设置有若干张PH试纸16,本实施例中,优选为3张PH试纸,可以检测到少量的液体泄漏,防止因漏液较少没有滴入第一凹槽12而判断错误。在所述杆体10上靠近第二凹槽14的一端设置有操作手柄18,方便对所述探漏装置进行操作。
所述探漏装置的具体尺寸根据需要探测的区域进行设置,可以有不同尺寸的探漏装置探测不同区域的漏液,所述探漏装置中不同部件也具有不同的尺寸,以下给出一较佳实施例中所述探漏装置不同部件的尺寸:
所述探漏装置中杆体10的长度为140cm~160cm,宽度为5cm~7cm,厚度为0.9cm~1.1cm;所述第一凹槽12的宽度为0.01cm~0.03cm,长度为120cm~140cm;所述第二凹槽14到邻近的所述杆体10边缘的距离为14cm~16cm。
综上所述,本实用新型提供的探漏装置,在杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽,第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置,其两端分别延伸至杆体的两端边缘,其中一端在杆体的边缘处连接至第二凹槽;将探漏装置伸向需要探测的区域,若该区域有漏液发生,漏液滴入第一凹槽中,通过倾斜探漏装置,漏液沿第一凹槽流至杆体边缘处的第二凹槽,然后对第二凹槽中的漏液性质进行判断,从而寻找到漏源和了解漏液的性质,不仅避免了工作人员进行狭小的空间受到刮伤、磕碰,甚至与危害物质接触的风险,而且可以节约大量的时间;本实用新型将第一凹槽设置为细条形,在其中设置吸水棉线,将第二凹槽设置为方形或圆形,在其中设置PH试纸,通过细缝吸水的原理,漏液会沿着吸水棉线蔓延至第二凹槽,使PH试纸变色,工作人员只需要观察PH试纸有无变色和颜色的变化,即可判断漏源和漏液的性质,其操作简单,方便耐用;本实用新型在第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有若干张PH试纸,可以检测到少量的液体泄漏,防止因漏液较少没有滴入第一凹槽而判断错误。
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述,并非对本实用新型范围的任何限定,本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰,均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种探漏装置,其特征在于,包括杆体,在所述杆体上设置有第一凹槽与第二凹槽,所述第一凹槽沿所述杆体的长边方向设置,其两端分别延伸至所述杆体的两端边缘,其中一端在所述杆体的边缘处连接至所述第二凹槽。
2.如权利要求1所述的探漏装置,其特征在于,所述第一凹槽呈细条形,所述第二凹槽呈方形或圆形。
3.如权利要求2所述的探漏装置,其特征在于,所述第一凹槽的宽度为0.01cm~0.03cm。
4.如权利要求2所述的探漏装置,其特征在于,所述第一凹槽中设置有吸水棉线,所述第二凹槽中设置有PH试纸。
5.如权利要求1所述的探漏装置,其特征在于,所述杆体为长方体。
6.如权利要求5所述的探漏装置,其特征在于,所述第一凹槽与第二凹槽位于所述长方体具有长边的平面上。
7.如权利要求6所述的探漏装置,其特征在于,所述第一凹槽到所述平面的两个长边的距离相等。
8.如权利要求1所述的探漏装置,其特征在于,在所述第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有若干张PH试纸。
9.如权利要求4所述的探漏装置,其特征在于,在所述第一凹槽两侧的杆体上交叉设置有3张PH试纸。
10.如权利要求1~9任意一项所述的探漏装置,其特征在于,在所述杆体上靠近第二凹槽的一端设置有操作手柄。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109932216A (zh) * 2019-03-28 2019-06-25 徐石发 一种污水初步处理后酸碱度检测设备
CN113154264A (zh) * 2021-04-28 2021-07-23 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 用于半导体废气处理设备的安全监测系统

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