CN204342912U - 一种用于电沉积的阴极移动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于电沉积的阴极移动装置，包括电沉积槽、阴极和阴极移动机构；所述的阴极移动机构包括动力梁、摆杆、阴极悬挂梁和顶杆。阴极移动装置工作时，动力梁在外力作用下作水平直线运动，动力梁带动摆杆运动，从而带动阴极悬挂梁和固定于阴极悬挂梁上的阴极作水平直线运动；当摆杆触碰到顶杆时，摆杆运动受阻并以顶杆为支点发生摆动，从而带动阴极悬挂梁和阴极在竖直平面内作周向运动。此装置提高了阴极表面流场分布和电流密度分布的均匀性，极大地改善了沉积层厚度分布均匀性，且结构简单、成本低廉。

Description

一种用于电沉积的阴极移动装置

技术领域

本实用新型涉及一种阴极移动装置，特别是一种用于电沉积的阴极移动装置，属于电沉积设备领域。

背景技术

电沉积时，镀层厚度分布的均匀性是关键指标。工业中一般采用阴极移动的方式在沉积层表面获得均匀的流场分布和电流密度分布，从而获得厚度均匀的镀层。

专利号为200710134845.X和201210435459.5的发明专利分别公布了一种实现阴极上下移动和水平往复移动的装置。然而阴极只能在一个方向上作直线移动，不能实现阴极周向移动。所以可能极难实现沉积层表面各部位流场分布和电流密度分布相对均匀。因此，有必要提出一种阴极移动装置，可以最大限度地解决沉积层表面流场和电流密度分布不均的问题。

发明内容

为了克服上述技术的不足，本实用新型提出了一种由平行四边形连杆和顶杆组成的、能实现阴极作周向等距运动的、结构简单且成本低的阴极移动装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于电沉积的阴极移动装置，包括电沉积槽（6）、阴极（8）和阴极移动机构；所述的阴极移动机构包括动力梁（1）、摆杆（2）、（4）、顶杆（5）、（7）和阴极悬挂梁（3）；所述的阴极（8）固定于阴极悬挂梁（3）上；所述的摆杆（2）、（4）的一端分别与阴极悬挂梁（3）活动铰接；所述的摆杆（2）、（4）的另一端分别与动力梁（1）活动铰接于B、C处；所述的动力梁（1）置于电沉积槽（6）上方且可以作水平直线往复振动；所述的顶杆（5）、（7）的一端呈球状，另一端固定于电沉积槽（6）侧壁上。

所述的动力梁（1）、摆杆（2）、（4）、顶杆（5）、（7）和阴极悬挂梁（3）在同一竖直平面内。

所述的铰接点B、C位于同一水平线上。

所述的铰接点B、C的间距和阴极悬挂梁的长度相等，摆杆（2）、（4）的长度相等。

所述的顶杆（5）、（7）的球状几何中心在同一水平面内，且相对于电沉积槽（6）底板的距离可调。

本实用新型的优点是：能在沉积层表面获得相对均匀的流场分布和电流密度分布。

附图说明

图1是一种用于电沉积的阴极移动装置示意图。

图中：1、动力梁；2、摆杆；3、阴极悬挂梁；4、摆杆；5、顶杆；6、电沉积槽；7、顶杆；8、阴极。

具体实施方式

下面结合附图1对本实用新型的实施作进一步描述。

如图1所示，一种用于电沉积的阴极移动装置，包括电沉积槽6、阴极8和阴极移动机构；阴极移动机构包括动力梁1、摆杆2、4、、顶杆5、7和阴极悬挂梁3；阴极8固定于阴极悬挂梁3上；摆杆2、4的一端分别与阴极悬挂梁3活动铰接；摆杆2、4的另一端分别与动力梁1活动铰接于B、C处；动力梁1置于电沉积槽6上方且可以作水平直线往复振动；顶杆5、7的一端呈球状，另一端固定于电沉积槽6侧壁上。

动力梁1、摆杆2、4、、顶杆5、7和阴极悬挂梁3在同一竖直平面内。

铰接点B、C位于同一水平线上。

铰接点B、C的间距和阴极悬挂梁的长度相等，摆杆2、4的长度相等。

顶杆5、7的球状几何中心在同一水平面内，且相对于电沉积槽6底板的距离可调。

 本实用新型工作时，动力梁1在外力作用下向左作水平直线运动并带动与之相连接的摆杆2向左运动，从而带动阴极悬挂梁3和固定于阴极悬挂梁3上的阴极8向左运动；当摆杆2触碰到顶杆7时，摆杆2运动受阻；此时动力梁1继续向左运动，摆杆2在动力梁1的拉力作用下以顶杆7为支点沿逆时针方向摆动，继而推动阴极悬挂梁3向右和向上运动，从而带动固定于阴极悬挂梁3上的阴极8向右和向上运动；当动力梁1在外力作用下返回向右运动时，摆杆2以顶杆7为支点沿顺时针方向摆动，继而推动阴极悬挂梁3向左和向下运动，从而带动固定于阴极悬挂梁3上的阴极8向左和向下运动；当动力梁1继续向右运动时，阴极移动装置重复上述动作。如此这般，阴极悬挂梁3在摆杆2、4的作用下作周向运动，从而带动阴极8作周向运动。通过优化顶杆5、7球状几何中心相对于电沉积槽6底板的距离以及摆杆2、4、连杆3和动力梁1组成的平行四边形的边长关系，可以实现阴极8在竖直平面内作等幅周向运动。

Claims (5)

1.一种用于电沉积的阴极移动装置，包括电沉积槽（6）、阴极（8）和阴极移动机构，其特征在于：所述的阴极移动机构包括动力梁（1）、摆杆（2、4）、顶杆（5、7）和阴极悬挂梁（3）；所述的阴极（8）固定于阴极悬挂梁（3）上；所述的摆杆（2、4）的一端分别与阴极悬挂梁（3）活动铰接；所述的摆杆（2、4）的另一端分别与动力梁（1）活动铰接于B、C处；所述的动力梁（1）置于电沉积槽（6）上方且可以作水平直线往复振动；所述的顶杆（5、7）的一端呈球状，另一端固定于电沉积槽（6）侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的阴极移动装置，其特征在于：所述的动力梁（1）、摆杆（2、4）、顶杆（5、7）和阴极悬挂梁（3）在同一竖直平面内。

3.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的阴极移动装置，其特征在于：所述的铰接点B、C位于同一水平线上。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种用于电沉积的阴极移动装置，其特征在于：所述的铰接点B、C的间距和阴极悬挂梁的长度相等，摆杆（2、4）的长度相等。

5.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的阴极移动装置，其特征在于：所述的顶杆（5）、（7）的球状几何中心在同一水平面内，且相对于电沉积槽（6）底板的距离可调。