CN204337987U - 一种有毒废气净化塔 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种有毒废气净化塔，塔体的顶部设置有排气口，塔体内部的上部设置有第二喷淋系统，第二喷淋系统的下部设置有喷淋系统，喷淋系统为上下设置的双层结构，在喷淋系统的上下两层结构之间设置有填料；塔体设置在所述支架上部，塔体的底部为第一水箱，其中弯管一端为进气口，另一端设置在所述第一水箱内部；弯管设置在第一水箱内的一段设置有鼓泡器。采用双喷淋系统结构，其中喷淋系统与循环水泵连接，主要用于回收净化废气；第二喷淋系统外接自来水，可以及时清洗掉附着在填料表面的净化结晶物；在弯管处于水箱的内部设置鼓泡器，当设备内部有负压时，从进气口进入有毒气体通过鼓泡器产生大量的气泡，提高废气的净化效率。

Description

一种有毒废气净化塔

技术领域

本实用新型涉及一种有毒废气回收装置，尤其涉及一种有毒废气净化塔。

背景技术

在半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体中需要用到砷烷，工业上生产的砷烷用于有机合成。在半导体集成电路制造中会产生磷烷，砷烷和磷烷都是有剧毒的易燃气体，需要经过净化、回收。目前采用的喷淋水洗式净化处理设备，由于结构设计中存在的不足导致净化效果较差，造成污染。

有鉴于上述现有的废气净化塔存在的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型有毒废气净化塔，使其更具有实用性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的废气净化塔存在的缺陷，而提供一种新型有毒废气净化塔，提高废气净化效率，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的有毒废气净化塔，包括有塔体、喷淋系统、第二喷淋系统、进气口、排气口、填料、第一水箱、支架、弯管和鼓泡器；

所述塔体的顶部设置有排气口，所述塔体内部的上部设置有第二喷淋系统，所述第二喷淋系统的下部设置有喷淋系统，所述喷淋系统为上下设置的双层结构，在所述喷淋系统的上下两层结构之间设置有填料；

所述塔体设置在所述支架上部，所述塔体的底部为第一水箱，其中弯管一端为进气口，另一端设置在所述第一水箱内部；

所述弯管设置在第一水箱内的一段设置有鼓泡器。

更进一步的，前述的有毒废气净化塔，还包括有底部和排污口，其中底部为第一水箱的底部，所述底部为锥形结构，在锥形结构的中间位置设置有排污口。

更进一步的，前述的有毒废气净化塔，还包括有第二水箱和管道，所述第二水箱设置在所述支架的一侧，所述第二水箱通过管道与所述第一水箱相连接。

更进一步的，前述的有毒废气净化塔，所述第二水箱上设置有循环泵。

更进一步的，前述的有毒废气净化塔，所述塔体内部第二喷淋系统的上部设置有收水器。

更进一步的，前述的有毒废气净化塔，所述塔体一侧靠近第二喷淋系统的侧面设置有检修孔。

更进一步的，前述的有毒废气净化塔，所述塔体一侧靠近填料的侧面设置有检修孔。

借由上述技术方案，本实用新型的有毒废气净化塔至少具有下列优点：

本实用新型的有毒废气净化塔，采用双喷淋系统结构，其中喷淋系统与循环水泵连接，主要用于回收净化废气；第二喷淋系统外接自来水，可以及时清洗掉附着在填料表面的净化结晶物；在弯管处于水箱的内部设置鼓泡器，当设备内部有负压时，从进气口进入有毒气体通过鼓泡器产生大量的气泡，提高废气的净化效率；双水箱结构设计，加大了水的循环，便于在第一水箱内部沉积固体颗粒物；第一水箱底部的锥形结构设计，方便固体颗粒物的及时收集与排出。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型有毒废气净化塔的结构示意图；

图中标记含义：10.排气口，11.收水器，12.检修孔，13.填料，14.喷淋系统，15.第二喷淋系统，16.进气口，17.第一水箱，18.鼓泡器，19.底部，20.支架，21.排污口，22.第二水箱，23.循环泵，24.管道，25.塔体，26.弯管。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型的具体实施方式详细说明如后。

如图1所示本实用新型的有毒废气净化塔的结构示意图，包括有排气口10、收水器11、检修孔12、填料13、喷淋系统14、第二喷淋系统15、进气口16、第一水箱17、鼓泡器18、底部19、支架20、排污口21、第二水箱22、循环泵23、管道24、塔体25、弯管26。

塔体25的顶部设置有排气口10，在塔体25内部设置的第二喷淋系统15的上部与排气口10之间设置有收水器11，用于再次净化废气，其中塔体25的一侧面靠近第二喷淋系统15的侧面处设置有检修孔12，方便第二喷淋系统15的日常检修、维护；塔体25一侧靠近填料13的侧面设置有检修孔12，方便维护。

塔体25内部第二喷淋系统15的下部设置有双层结构的喷淋系统14，在上下两层喷淋系统14之间设置有填料13，如高锰酸钾或次氯酸钠，其中塔体25内喷淋系统14下层结构的下部一侧面设置有弯管26一端的进气口16，弯管26的另一端设置在下部的第一水箱17内，其中在第一水箱17中设置的弯管26内部设置有鼓泡器18，鼓泡器18为多个互相平行设置的管道，所述第一水箱17的底部19为锥形结构，在锥形结构的顶部设置有管状排污口21。

塔体25的整体结构设置在框架结构的支架20上部，其中排污口21位于支架20的内部中空位置。在塔体25的一侧面设置有第二水箱22，其中第二水箱22通过管道24与第一水箱17相连接，在第二水箱22的上部设置有循环泵23。

需要净化的有毒废气，主要成分为砷烷和磷烷。经由进气口16进入到塔体25内，开启有毒废气净化塔装置，鼓泡器18开始工作，在第一水箱17内部产生大量气泡，喷淋系统14和第二喷淋系统15工作，有毒废气经由填料13回收净化，随后在填料13外表面产生的结晶物由第二喷淋系统外接自来水，及时清洗掉，保证回收净化彻底；锥形底部19方便将产生的固体颗粒物及时排除，最终净化的废气经由排气口10排出。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种有毒废气净化塔，其特征在于：包括有塔体(25)、喷淋系统(14)、第二喷淋系统(15)、进气口(16)、排气口(10)、填料(13)、第一水箱(17)、支架(20)、弯管(26)和鼓泡器(18)；

所述塔体(25)的顶部设置有排气口(10)，所述塔体(25)内部的上部设置有第二喷淋系统(15)，所述第二喷淋系统(15)的下部设置有喷淋系统(14)，所述喷淋系统(14)为上下设置的双层结构，在所述喷淋系统(14)的上下两层结构之间设置有填料(13)；

所述塔体(25)设置在所述支架(20)上部，所述塔体(25)的底部为第一水箱(17)，其中弯管(26)一端为进气口(16)，另一端设置在所述第一水箱(17)内部；

所述弯管(26)设置在第一水箱(17)内部的一段设置有鼓泡器(18)。

2.根据权利要求1所述的有毒废气净化塔，其特征在于：还包括有底部(19)和排污口(21)，其中底部(19)为第一水箱(17)的底部(19)，所述底部(19)为锥形结构，在锥形结构的中间位置设置有排污口(21)。

3.根据权利要求1或2所述的有毒废气净化塔，其特征在于：还包括有第二水箱(22)和管道(24)，所述第二水箱(22)设置在所述支架(20)的一侧，所述第二水箱(22)通过管道(24)与所述第一水箱(17)相连接。

4.根据权利要求3所述的有毒废气净化塔，其特征在于：所述第二水箱(22)上设置有循环泵(23)。

5.根据权利要求1或2所述的有毒废气净化塔，其特征在于：所述塔体(25)内部第二喷淋系统(15)的上部设置有收水器(11)。

6.根据权利要求1或2所述的有毒废气净化塔，其特征在于：所述塔体(25)一侧靠近第二喷淋系统(15)的侧面设置有检修孔(12)。

7.根据权利要求1或2所述的有毒废气净化塔，其特征在于：所述塔体(25)一侧靠近填料(13)的侧面设置有检修孔(12)。