CN204315524U - 颗粒度测试仪的夹具装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种颗粒度测试仪的夹具装置，包括夹盘，夹盘上设置有至少三个沿夹盘圆周方向均匀布设的卡杆，卡杆沿夹盘的径向向外悬伸，卡杆上设置有向上凸起的定位台，卡杆的上方插装有定位销，定位销位于夹盘与定位台之间。定位台以及定位销的设置实现在一台颗粒度测试仪上对不同尺寸的晶圆的颗粒度的测试。本实用新型提供的颗粒度测试仪的夹具装置，在半导体晶圆级封装领域，不需要频繁拆卸螺钉就可以方便切换8inch和12inch夹具，以便很快的测量8inch和12inch晶圆。
Description
技术领域
本发明涉及半导体晶圆级封装领域，尤其涉及一种颗粒度测试仪的夹具装置。
背景技术
在半导体晶圆级封装的先进封装技术中需要使用NT Reflex 300这种型号的颗粒度测量设备对晶圆进行表面的颗粒测量，用于评估生产设备内部环境。如图1所示的现有的颗粒度测试仪的8inch夹具的示意图和图2所示的颗粒度测试仪的12inch夹具的示意图，在考虑成本的前提下，一台颗粒度测量设备需要能测量8inch～12inch的晶圆样本，需要频繁的更换夹具，而在切换时需要通过拆卸螺钉频繁的更换相对应的夹盘的夹具，比较耗时，同时也会损坏设备夹盘。
发明内容
在下文中给出关于本发明的简要概述，以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分，也不是意图限定本发明的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。
本发明的目的是提供一种颗粒度测试仪的夹具装置。
本发明提供了一种颗粒度测试仪的夹具装置，包括夹盘，夹盘上设置有至少三个沿夹盘圆周方向均匀布设的卡杆，卡杆沿夹盘的径向向外悬伸，卡杆上设置有向上凸起的定位台，卡杆的上方插装有定位销，定位销位于夹盘与定位台之间。
与现有技术相比，本发明的有益效果是本发明提供的颗粒度测试仪的夹具装置，不需要频繁拆卸螺钉就可以方便切换8inch和12inch夹具，以便很快的测量8inch和12inch晶圆。定位台以及定位销的设置实现在一台颗粒度测试仪上对不同尺寸的晶圆的颗粒度的测试。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有的颗粒度测试仪的8inch夹具的示意图。
图2为现有的颗粒度测试仪的12inch夹具的示意图。
图3为本发明的实施例提供的颗粒度测试仪的夹具装置的结构示意图。
图4为本发明的实施例提供的颗粒度测试仪的夹具装置的俯视图。
图5为本发明的实施例提供的卡杆的俯视图。
图6为本发明的实施例提供的卡杆的剖面图。
图7为本发明的实施例提供定位销的主视图。
图8为本发明的实施例提供定位销的仰视图。
附图标记：
10-夹盘 11-真空吸盘 20-卡杆
21-定位台 22-定位销 221-定位帽
222-插销主体 23-连接板 24-定位孔
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图3所示的本发明的实施例提供的颗粒度测试仪的夹具装置的结构示意图。图4为本发明的实施例提供的颗粒度测试仪的夹具装置的俯视图。如图3、图4所示，本发明提供的颗粒度测试仪的夹具装置，包括夹盘10，夹盘10上设置有至少三个沿夹盘圆周方向均匀布设的卡杆20，卡杆20沿夹盘10的径向向外悬伸，卡杆20上设置有向上凸起的定位台21，卡杆的上方插装有定位销22，定位销22位于夹盘1与定位台21之间。定位台21以及定位销22的设置实现在一台颗粒度测试仪上实现对不同尺寸的晶圆的颗粒度的测试。
进一步地，如图4所示，夹盘10的顶部固定连接有真空吸盘11，通过设置真空吸盘11，用于吸附放置在夹盘10上的晶圆。
进一步地，夹盘10的顶部沿夹盘10的圆周方向均匀设置有三个真空吸盘11，均匀设置三个真空吸盘11，有利于晶圆在被真空吸盘11吸附时各处受力均匀，晶圆平面平整，减少颗粒度测试中的人为误差。
进一步地，夹盘10的顶面与卡杆20的顶面位于同一平面内，便于晶圆平整的放置于夹盘10与卡杆20所在的平面。
进一步地，卡杆20靠近夹盘10的端部一体连接有向下延伸的连接板23，连接板23通过螺钉与夹盘10固定连接。在连接板23上设置螺钉孔用于放置螺钉，方便卡杆20与夹盘10紧固连接。
进一步地，如图5所示，卡杆10为扁平杆，卡杆10的宽度为15mm，定位台21的高度为10mm，当然，根据实际使用需要，此处的宽度及高度可为其它值。
进一步地，卡杆10的长度为110mm，用于形成12inch夹具。
进一步地，定位销22距卡杆靠近夹盘10的端部的距离为64mm，通过将定位销22设置于卡杆20靠近夹盘10的端部64mm的地方，用于形成8inch夹具，直接在12inch夹具上实现8inch夹具的转换。定位销22以及定位台21对晶圆进行定位以及防止测试过程中晶圆被甩出。
进一步地，如图6所示，定位销22包括定位帽221和固定连接于定位冒同侧的两个插销主体222，两个插销主体222的轴线相互平行。
进一步地，如图6所示，卡杆20上设置有两个与插销主体222对应配合的定位孔24，定位孔24为盲孔，两定位孔24的中心连线垂直于卡杆的长度延伸方向。
如图5、图6所示，定位孔24的孔径为2.6mm且两定位孔24的中心距为7.5mm，定位销的高度为9mm。在连接板23上设置螺钉孔用于放置螺钉，方便卡杆20与夹盘10紧固连接,定位销22设置在卡20杆上，可拆卸固定，实现在一台颗粒度测试仪上实现8inch夹具及12inch夹具的转换。
如图7、图8所示，两个插销主体24关于定位帽221的轴线对称，插销主体222的直径为2.5mm。插销主体222的直径小于定位孔24的孔径，便于定位销22的插装于定位孔24内。
本发明提供的颗粒度测试仪的夹具装置，在夹盘10的顶部沿夹盘10的圆周方向均匀设置有三个真空吸盘11，用来吸附8inch的晶圆或者12inch的晶圆，如图6所示的本发明的实施例提供的夹具的剖视图，定位销22或者定位台21均对晶圆进行定位以及防止晶圆被甩出去。
本发明提供的颗粒度测试仪的夹具装置，将8inch夹具和12inch夹具整合到一台颗粒度测量设备上，定位销22插装在卡杆上形成8inch夹具，定位销22取掉则变成12inch夹具，不需要频繁拆卸螺钉就可以方便切换8inch和12inch夹具，以便很快的测量8inch和12inch晶圆。
最后应说明的是：虽然以上已经详细说明了本发明及其优点，但是应当理解在不超出由所附的权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下可以进行各种改变、替代和变换。而且，本发明的范围不仅限于说明书所描述的过程、设备、手段、方法和步骤的具体实施例。本领域内的普通技术人员从本发明的公开内容将容易理解，根据本发明可以使用执行与在此所述的相应实施例基本相同的功能或者获得与其基本相同的结果的、现有和将来要被开发的过程、设备、手段、方法或者步骤。因此，所附的权利要求旨在在它们的范围内包括这样的过程、设备、手段、方法或者步骤。
Claims (10)
1.一种颗粒度测试仪的夹具装置，包括夹盘，其特征在于，所述夹盘上设置有至少三个沿所述夹盘圆周方向均匀布设的卡杆，所述卡杆沿所述夹盘的径向向外悬伸，所述卡杆上设置有向上凸起的定位台，所述卡杆的上方插装有定位销，所述定位销位于所述夹盘与所述定位台之间。
2.根据权利要求1所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述夹盘的顶部固定连接有真空吸盘。
3.根据权利要求2所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述夹盘的顶部沿所述夹盘的圆周方向均匀设置有三个所述真空吸盘。
4.根据权利要求1所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述夹盘的顶面与所述卡杆的顶面位于同一平面内。
5.根据权利要求1所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述卡杆靠近所述夹盘的端部一体连接有向下延伸的连接板，所述连接板通过螺钉与所述夹盘固定连接。
6.根据权利要求1所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述卡杆为扁平杆，所述卡杆的宽度为15mm，所述定位台的高度为10mm。
7.根据权利要求4所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述卡杆的长度为110mm。
8.根据权利要求4所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述定位销距所述卡杆靠近所述夹盘的端部的距离为64mm。
9.根据权利要求1-8任一项所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述定位销包括定位帽和固定连接于所述定位冒同侧的两个插销主体，两个所述插销主体的轴线相互平行。
10.根据权利要求9所述的颗粒度测试仪的夹具装置，其特征在于，所述卡杆上设置有两个与所述插销主体对应配合的定位孔，所述定位孔为盲孔，两所述定位孔的中心连线垂直于所述卡杆的长度延伸方向。
Priority Applications (1)
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| CN201420804445.0U CN204315524U (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 颗粒度测试仪的夹具装置 |
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| CN (1) | CN204315524U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110774313A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-02-11 | 广州供电局有限公司 | 机械臂及其末端推拉杆机构、机器人 |
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2014
- 2014-12-17 CN CN201420804445.0U patent/CN204315524U/zh active Active
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