CN204101796U - 四维euv反射镜装调装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架、滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装反射镜片，滑动系统包括滑动通道和滑动体，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上；第一调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动；第二调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶滑动体，使滑动体沿着滑动通道滑动。本实用新型能够实现反射镜片和镜片支撑架的一维平动和三维转动的调节。

Description

四维EUV反射镜装调装置

技术领域

本实用新型属于光刻设备技术领域，具体涉及极紫外(Extremeultraviolet，简写为EUV)光刻设备中的反射镜装调装置。

背景技术

极紫外(Extreme ultraviolet，简写为EUV)光刻技术是继193nm浸没式光刻技术之后的下一代光刻机技术，由于极紫外辐射被几乎所有物质(包括空气)强烈吸收，EUV光刻机系统必须置于真空环境中。而且，EUV光刻机的光学系统为反射式光学系统。

EUV反射式光学系统由多组极紫外反射镜片组成。针对每块极紫外反射镜片，在封闭的真空环境中要求稳定的安装；而且在安装完毕后通入EUV辐射调试时，整个系统要求维持在真空环境中，并实现多维可靠的调节。这就对极紫外反射镜片的装调装置提出了较高的要求。

同时，对于能用到极紫外反射镜片的其他系统，如极紫外辐照材料测试系统(参考发明专利CN201310319441或实用新型专利CN201320454021，主要研究在模拟EUV光刻机环境的EUV辐照和真空条件下，不同材料的损伤情况)，也需要实现极紫外反射镜片在封闭真空环境中的稳定安装和多维调节。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型提出了一种新型四维EUV反射镜装调装置，以保护反射镜片并实现极紫外反射镜片在封闭真空环境中的稳定安装和多维调节。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装所述反射镜片，所述装调装置还包括滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，其中，所述滑动系统也固定于真空腔体内，包括一个滑动通道、一个滑动体和一个滑道板(52)，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；所述滑动通道(521)开在所述滑道板上；；所述镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过所述球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上；所述第一调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶所述镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过所述滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动；所述第二调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶所述滑动体，使所述滑动体沿着所述滑动通道滑动。

根据本实用新型的具体实施方式，所述滑动体是球体或圆柱体。

根据本实用新型的具体实施方式，所述第一调节系统至少有三个，且其在伸入所述真空腔体时穿过该真空腔体的壁的位置与所述第二调节系统在伸入所述真空腔体时穿过该真空腔体的壁的位置不在同一直线上，它们所抵顶的位置与所述滑动体的中心在该镜片支撑架的背面上的投影位置不在同一直线上。

根据本实用新型的具体实施方式，每个所述第一调节系统包括两个球铰。

根据本实用新型的具体实施方式，装调装置还包括卡压系统，其用于将所述反射镜片固定于所述镜片支撑架上。

根据本实用新型的具体实施方式，所述卡压系统包括卡压杆和两个离心压头，其中，所述离心压头包括离心压头轴和端盖，离心压头轴呈长圆柱形，端盖为扁圆柱形并固定于离心压头轴的一个端面，所述离心压头轴和端盖的中心轴在一条直线上；在平行于离心压头轴和端盖的中心轴的方向上，穿过离心压头轴和端盖开设一个通孔，所述通孔的中心轴与离心压头轴和端盖的中心轴不在同一直线上，且所述通孔的直径与所述卡压杆的直径一致，以使所述卡压杆的两端分别穿入所述两个离心压头的通孔。

根据本实用新型的具体实施方式，所述镜片支撑架的两个侧面设置有卡压孔，所述反射镜片的侧面开有卡槽，其中，所述卡压杆先由所述镜片支撑架的一个侧面的卡压孔依次穿入所述镜片支撑架并穿过所述反射镜片的卡槽到达所述镜片支撑架的另一侧面的卡压孔。

根据本实用新型的具体实施方式，所述滑动体为滑动球，其切去一部分形成一个端面，该端面用于与所述第二调节系统相连。

根据本实用新型的具体实施方式，所述滑动系统还包括两个连接板，其中所述连接板用于固定所述镜片支撑架，每个连接板的下表面有两个限位球头；所述滑动通道的两侧分别开有一个轴向与该滑动通道的轴向平行的限位通道，所述两个限位通道分别用于承接所述限位球头。

根据本实用新型的具体实施方式，所述滑动系统还包括限位块，其固定在所述限位通道的两端。

(三)有益效果

本实用新型通过引入镜片支撑架，使用卡压系统将反射镜片牢固安装在镜片支撑架上。

本实用新型通过滑动系统和调节系统将镜片支撑架安放在真空腔体上，能够支撑反射镜片和镜片支撑架的重量、实现反射镜片和镜片支撑架的定位；同时通过调整调节系统，能够实现反射镜片和镜片支撑架的四维调节(一维平动和三维转动)。

附图说明

图1是本实用新型提出的极紫外反射镜片的四维装调装置的一个实施例的结构示意图；

图2和图3是图1所示的实施例中的镜片支撑架的示意图，其中图2是正面斜视图，图3是背面斜视图；

图4是图1所示的实施例中的镜片支撑架的反射镜片的示意图；

图5和图6是图1所示的实施例中的镜片支撑架的卡压系统的示意图，其中图5是正面剖视图，图6是侧面剖视图；

图7是图1所示的实施例中的镜片支撑架的离心压头的示意图；

图8是图1所示的实施例中的镜片支撑架的滑动系统示意图；

图9图1所示的实施例中的镜片支撑架的第一调节系统示意图；

图10是图1所示的实施例中的镜片支撑架的第二调节系统的示意图；

图11是图1所示的实施例中的镜片支撑架的运动简图。

具体实施方式

本实用新型提出的四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架、滑动系统、第一调节系统和第二调节系统。本实用新型所述的“四维”装调是指一维方向上的平动和三维方向上的转动。

本实用新型的反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装所述反射镜片，滑动系统也固定于真空腔体内，包括滑动通道和滑动体，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过所述球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上。

第一调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内并抵顶所述镜片支撑架使之绕穿过所述滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线在三维方向上转动，第二调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内并抵顶所述滑动体，使所述滑动体沿着所述滑动通道滑动。

所述滑动体可以是球体(滑动球)或圆柱体。所述第一调节系统至少有三个，且其在伸入所述真空腔体时穿过该真空腔体的壁的位置与所述第二调节系统在伸入所述真空腔体时穿过该真空腔体的壁的位置不在同一直线上，它们所抵顶的位置与所述滑动体的中心在该镜片支撑架的背面上的投影位置不在同一直线上。

由此，通过第一调节系统和第二调节系统，可以实现镜片安装架在三维方向上的转动和一维方向上的平动，从而使反射镜片在三维方向上转动和一维方向上平动。

本实用新型优选为还具有用于固定反射镜片的卡压系统。

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是本实用新型提出的四维EUV反射镜装调装置的一个实施例的结构示意图。如图1所示，该四维装调装置包括真空腔体1、反射镜片2、镜片支撑架3、卡压系统4、滑动系统5、第一调节系统6和第二调节系统7。为了清楚显示的目的，图1中的真空腔体1画成了敞开的形式，实际上他是一个密闭的腔体。

反射镜片2通过镜片支撑架3装配于真空腔体1内，镜片支撑架3装配于滑动系统5上。卡压系统4用于将反射镜片2和镜片支撑架3固定在一起。

图2和图3是镜片支撑架的示意图，图2是正面斜视图，图3是背面斜视图。如图2和图3所示，由于反射镜片一般为圆形，因此镜片支撑架为中部开有圆形凹陷或圆形通孔的框架结构，例如，在该实施例中，镜片支撑架呈现一个方形的框架，中部开有一个圆形的凹陷，凹陷的大小略大于反射镜片2的大小。由此，反射镜片2可以内嵌入该镜片支撑架3并得到支撑。

在该实施例中，考虑承重和初步定位，镜片支撑架3与反射镜片2的下部分直接接触；镜片支撑架的凹陷的下部具有向凹陷中心凸起的两个凸台31。凸台31的形状和位置关于镜片支撑架3的竖直方向的中轴线对称。由此，反射镜片直接通过两个相互对称的凸台与镜片支撑架3接触。

优选的，凸台31表面为圆弧面，能够与反射镜片的外表面贴合；除凸台31外的凹陷的周向为向外扩张的锥形面，以方便反射镜片2的卡入。镜片支撑架的凸台31还可以是凹陷的下部(竖直方向上的)的一个或者是凹陷的周向布置的多个。凹陷的除凸台31外的周向还可以是直径大于反射镜片的圆柱形面。优选的，镜片支撑架3水平方向的两侧开有两个凹槽32，凹槽32与所述圆形的凹陷相连接，以便于将反射镜片2安放到底，也便于反射镜片2的拆卸。

镜片支撑架3的凹陷的底面布置有顶丝孔33(一个或者多个，图中显示4个)。顶丝孔33供顶丝从镜片支撑架3的背面穿入，以方便的将反射镜片2顶起以脱离镜片支撑架3，以防止反射镜片2吸附在镜片支撑架3上不方便拆卸。

镜片支撑架3的侧面设置有卡压孔34，其连通凹陷与侧面的外部。卡压孔34用于与卡压系统4相连，卡压系统4通过卡压孔34卡压反射镜片2的侧边。卡压孔34的位置可设置于反射镜片2的侧边上呈对称的位置，例如两侧边均设有上下两个卡压孔34。

镜片支撑架3的背部开有调节系统安装孔35。调节系统安装孔35，用于与第一、第二调节系统6、7相连，其位置和数量与调节系统对应，例如如图3所示，共有A、B、C、D、E五个调节系统安装孔，分别对应镜片支撑架背部的正中和四周。

镜片支撑架3的底部(竖直方向的下部)开有底部固定孔36及底部球窝37，其均用于与滑动系统5相连。

该实施例反射镜片2如图4所示。其侧面对称开有凹形的上卡槽21和下卡槽22，用于与卡压系统4配合来将反射镜片2牢固安装在镜片支撑架3上。装配时要将其工作表面23朝向凹陷的外侧，其背面则需紧密地贴靠在镜片支撑架3的凹陷的底部，以便于将反射镜片2上的热量传导到镜片支撑架3上并导出，避免长时间工作引起反射镜片的热量积累、温度升高、从而影响反射镜片的性能。

图5和图6是该实施例的卡压系统的结构示意图，图5是正面剖视图，图6是侧面剖视图。如图5和图6所示，其由卡压杆41和两个离心压头42组成。离心压头42如图7所示，其包括离心压头轴421和端盖422，离心压头轴421呈长圆柱形，端盖422为扁圆柱形，固定于离心压头轴421的一个端面，且离心压头轴421和端盖422的中心轴在一条直线上。

在平行于离心压头轴421和端盖422的中心轴的方向上，穿过离心压头轴421和端盖422开设一个通孔423，通孔423的中心轴与离心压头轴421和端盖422的中心轴不在同一直线上。通孔423的直径与卡压杆41直径一致，以使卡压杆41的两端分别穿入两个离心压头42的通孔。离心压头42的端盖422上开有三个长孔424，其用于旋转离心压头42并安装固定离心压头。

镜片支撑架3的卡压孔34的中间部分的直径大于卡压杆41直径，以便于穿过卡压杆41；镜片支撑架3的卡压孔34两端部分的直径与离心压头轴421的外径一致。这样，卡压杆41先由镜片支撑架的一个侧面的卡压孔34依次穿入镜片支撑架3并穿过反射镜片2的卡槽21或22到达镜片支撑架3的另一侧面的卡压孔34，再将离心压头42内部的偏心通孔423穿过卡压杆41，同时使离心压头轴421插入镜片支撑架3的卡压孔34中。当卡压杆41、两端的两个离心压头42均就位后，同时朝同一方向旋转该二个离心压头42，使在镜片支撑架3中的卡压杆41发生位置移动。需注意的是，二个离心压头42的旋转方向需要使卡压杆41远离反射镜片2的工作表面23，即向反射镜片2的背面移动，直至移动到卡压杆41与反射镜片的卡槽21或22的斜侧面相切，此时确保反射镜片2的背面紧贴在镜片支撑架3的凹陷内表面上；保持此时离心压头42的位置不变，或者根据需要再继续在离心压头42上加一定扭矩使卡压杆以一定的预压力压在反射镜片上，用螺钉通过离心压头端盖422上的三个长孔424将离心压头42固定在镜片支撑架上，从而将反射镜片2牢固安装在镜片支撑架3上。

本实用新型的该实施例如图所示地包含上下两个卡压系统，以更加稳定可靠的将反射镜片牢固安装在镜片支撑架上；实际上，任何数量及形式的卡压系统也能起到固定作用，都应属于本实用新型保护范畴内。

图8是上述实施例的滑动系统的示意图。如图8所示，滑动系统5包括两个连接板51、一个滑道板52、一个滑动球53和四个限位块56。连接板51上开有螺纹孔，以将镜片支撑架3固定在连接板51上(通过图3所示的底部固定孔36)；每个连接板51的一个主平面(下表面)焊接(或胶接或螺接)有两个限位球头511，这样，四个限位球头511分别布置在镜片支撑架3的四角。

滑道板52上的一个主面平面(上表面)的中部开有一个滑动通道521，如但不限如的举例，滑动通道521的轴向沿着反射镜片2工作表面23的法线方向。滑动通道521的两侧分别开有一个轴向与滑动通道的轴向平行的限位通道522。以上各通道都为圆弧型凹槽。滑道板52上开有螺纹孔，用于将滑道板52固定在真空腔体1的内部底板上。所述两个限位通道分别用于承接所述连接板51的限位球头511。

滑动球53置于滑道板52的滑动通道521上并能够在滑动通道521上滑动。滑动球53切去一部分形成一个端面，端面上形有螺纹孔，用于与第二调节系统7的双头螺杆相连(将在后面说明)。

滑道板52上滑动通道521的圆弧半径与滑动球53的半径一致，这样，滑动球53与滑道板52上滑动通道521的圆弧贴合；同时，滑动球53的半径与镜片支撑架3的球窝37(如图3所示)的半径一致，这样滑动球53与镜片支撑架3的球窝37的球面贴合，镜片支撑架(含反射镜片)的重量通过滑动球53压在滑道板52上，从而压在真空腔体1上。

当镜片支撑架3(含反射镜片)正压在滑动球53上时，限位通道522的圆弧面与连接板51上的限位球头511有一定间距，该间距能够容许镜片支撑架3(含反射镜片2)发生三个旋转方向要求的旋转角度，同时当超过要求的旋转角度时，限位球头511触碰到限位通道522的弧面，使镜片支撑架3(含反射镜片2)不再发生旋转，从而保证整个旋转运动在安全范围内。

另外，四个限位块56通过螺钉固定在滑道板52的两条限位通道522的两端；当镜片支撑架3(含反射镜片2)处于平移运动的中间位置时，限位块56与连接板51上的限位球头511有一定间距，该间距能够容许镜片支撑架3(含反射镜片2)发生沿反射镜片2工作表面法线方向的平移运动范围，同时当超过要求的位移量时限位球头触碰到限位块，使镜片支撑架3(含反射镜片2)不再发生平移从而保证整个平移运动在安全范围内。

图8中，滑动球53与滑道板52上滑动通道521的圆弧贴合，这样产生线滑动摩擦，优点是摩擦力较小、比较容易推动，缺点是容易失稳；也可以将滑动球53底部改为圆弧柱面，使之与滑动通道521圆弧柱面贴合，这样产生面滑动摩擦(保持滑动球上部与镜片支撑架球窝球面贴合)，缺点是摩擦力较大、比较难推动，优点是更加稳定；它们都在本专利保护范畴内。

图9是第一调节系统6的示意图。如图9所示，其包括旋转导入器61、法兰62、第一球铰63和第二球铰64。旋转导入器61从真空腔体1的外部穿过真空腔体壁伸入真空腔体1的内部，其位于真空腔体1的外部的部分包括一个旋钮，穿过真空腔体1伸入到其内部的部分为一个可伸缩的轴。

旋转导入器61能将真空腔体外的旋钮的旋转运动转化为真空腔体内的轴的直线运动，并通过伸缩波纹管来确保运动过程中真空腔体内外的环境相互隔离；旋转导入器为成熟产品，如pfeiffer公司的Bellows-sealedPrecision Linear Feedthrough系列。

法兰62焊接在真空腔体1上，用于将旋转导入器61固定在真空腔体1上。第一球铰63和第二球铰64由球头和球窝成对配合组成，能实现相互旋转运动；第一球铰63的一端(球头或球窝)与旋转导入器61在真空腔体内的轴端通过螺纹固连，第一球铰63的另一端通过螺纹连接第二球铰64的一端(球头或球窝)，第二球铰64的另一端通过螺纹连接镜片支撑架3(通过图3所示的调节系统安装孔35)。

图10是第二调节系统7的示意图。如图10所示，包括旋转导入器71、法兰72、一个双头螺杆73。旋转导入器71与第一调节系统6的类似，能将真空腔体外旋钮的旋转运动转化为真空腔体内轴的直线运动，并通过伸缩波纹管来确保运动过程中真空腔体内外的环境相互隔离。法兰72焊接在真空腔体1上，用于将旋转导入器71固定在真空腔体1上。双头螺杆73的一端与旋转导入器71在真空腔体内的轴端通过螺纹固定连接，另一端与滑动系统5的滑动球53的端面上的螺纹孔相连。

优选的可以在第一调节系统6和第二调节系统7的各螺纹连接处用锁紧螺母锁死以确保运动过程中不发生螺纹松动。

如图1所示，该实施例有三组第一调节系统6，分别连接于镜片支撑架背部的调节系统安装孔35上。如图3所示，共有A、B、C、D、E五个调节系统安装孔位置，分别对应镜片支撑架3的背部的正中和上、下、左、右的位置。该三组第一调节系统6可与五个安装孔位置中的任何三个相连。如但不限如的举例，与A、B、C三个相连，且AB、AC间距为反射镜片的半径。也可以AB、AC间距不为反射镜片半径，或者三组第一调节系统6与五个安装孔位置中的其余任何三个相连，或者安装孔在镜片支撑架背部的其他位置，都在本专利保护范畴内。但是，应当注意，为了保证在三个维度上调节镜片支撑架，与三个第一调节系统6连接的三个安装孔的位置与滑动球53的中心在镜片支撑架3背面上的投影位置不在同一直线上，即，在该实施例中，若底部球窝37的中心(即滑动球53的中心)在镜片支撑架背面上(即图3中ABCDE确定的平面)的投影位置与A、B、E在同一直线上，则三个第一调节系统6不应当连接A、B、E这三个安装孔。

这样，旋转三个第一调节系统6的旋转导入器61的旋钮，使第一调节系统6中的球铰63和球铰64的位置发生改变，从而带动镜片支撑架3(含反射镜片2)实现绕三个相互垂直轴的旋转运动，且该三个相互垂直轴都通过滑动球53的球心。

旋转第二调节系统7的旋转导入器71的旋钮，使滑动球53在滑动通道521中的位置发生改变，从而通过与滑动球53贴合的镜片支撑架3的底部球窝带动镜片支撑架3(含反射镜片2)实现三个相互垂直转动轴的原点平动。这样，通过在真空腔体1外部的四个旋钮配合调节，能够实现镜片支撑架3(含反射镜片2)的沿滑动通道521方向(反射镜片工作表面法线方向)的平移运动、绕三个过滑动球球心的相互垂直轴的旋转运动。

下面参照图11说明本实用新型的极紫外反射镜片四维装调装置的具体四维调节分析。图11是本实用新型的极紫外反射镜片四维装调装置的运动简图。如图11所示，第一调节系统6在真空腔室1上安装点分别为D1(a1，b1，c1)、D2(a2，b2，c2)、D3(a3，b3，c3)；第二调节系统7在真空腔室上安装点为D4(a4，b4，c4)；镜片支撑架上调节系统安装孔为A1(x1，y1，z1)、A2(x2，y2，z2)、A3(x3，y3，z3)；滑动球球心位置(即镜片支撑架各旋转轴的交点)为A4(x4，y4，z4)；D1、D2、D3、D4四点在同一平面上，A1、A2、A3、A4四点在同一平面上；杆A1B1、A2B2、A3B3均与平面A1A2A3A4垂直，杆D1C1、D2C2、D3C3、A4D4均与平面D1D2D3D4垂直。

对任意坐标系，在四维调节过程中，D1、D2、D3、D4四点固定不变则空间坐标已知；B1C1、B2C2、B3C3、A1B1、A2B2、A3B3的距离为杆的长度，保持不变且已知；D1C1、D2C2、D3C3、A4D4的距离由第一调节系统和第二调节系统来确定，可视为已知输入量。

每根杆与平面垂直，即与平面上任意不重合的两直线垂直，可以列出相互独立的两个方程。以杆A1B1与平面A1A2A3A4垂直为例，设和不在同一直线上，则故

因 故：

(x₁′-x₁)(x₂-x₁)+(y₁′-y₁)(y₂-y₁)+(z₁′-z₁)(z₂-z₁)＝0

(x₁′-x₁)(x₃-x₁)+(y₁′-y₁)(y₃-y₁)+(z₁′-z₁)(z₃-z₁)＝0

这样，由杆D1C1、D2C2、D3C3、A4D4与平面D1D2D3D4垂直，可以列出相互独立的8个方程；D1C1、D2C2、D3C3、A4D4的距离为已知输入量，可以列出相互独立的4个方程；联立该12个方程，可以解出C1、C2、C3、A4四点的空间坐标。

同理，由杆A1B1、A2B2、A3B3均与平面A1A2A3A4垂直，可以列出相互独立的6个方程；B1C1、B2C2、B3C3、A1B1、A2B2、A3B3的距离为已知量，可以列出相互独立的6个方程；在平面A1A2A3A4中，A1、A2、A3、A4四点中任意两点的距离为已知量，可以列出相互独立的6个方程；联立该18个方程，可以解出A1、A2、A3、B1、B2、B3六点的空间坐标。

所以，由三个第一调节系统和一个第二调节系统，能够唯一确定镜片支撑架(含反射镜片)的空间位置，从而能够唯一确定镜片支撑架(含反射镜片)相对于真空腔室的一维平动和三维转动。

但是，应当注意，A1、A2、A3与A4不应在同一直线上，因为若它们在同一条直线上，就不能唯一确定平面A1A2A3A4，则与等价，不能列出相互独立的和 两个方程，就不能求解出全部未知空间坐标因而不能唯一确定镜片支撑架(含反射镜片)的空间位置。同理，D1、D2、D3与D4也不应在同一直线上。

更加直接地，由图11所示，以D4为原点、为x轴正向、为z轴正向建立坐标系XYZ绑定在真空腔室上；以A4为原点、为x’轴正向、为z’轴正向建立坐标系X’Y’Z’绑定在镜片支撑架上；这两个空间直角坐标系之间可以相互转换，转换关系式是一维平动位移和三维转动位移的函数，具体为：

$\left[\begin{array}{c}{X}^{\′}\\ Y^{\′}\\ Z^{\′}\end{array}\right]=\left[\begin{array}{c}0\\ 0\\ \mathrm{\ΔZ}\end{array}\right]+R\left({\mathrm{\ϵ}}_x\right)R\left({\mathrm{\ϵ}}_y\right)R\left({\mathrm{\ϵ}}_z\right)\left[\begin{array}{c}X\\ Y\\ Z\end{array}\right]$

ΔZ为平动位移参数，R(ε_x)、R(ε_y)、R(ε_z)为与空间转动位移参数ε_x、ε_y、ε_z相关的旋转矩阵。

如前所述，在坐标系XYZ中，由已知输入量|D_iC_i|可以唯一确定点C_i的空间坐标(i＝1，2，3)；同理，在坐标系X’Y’Z’中，A_i、B_i的空间坐标也保持不变(i＝1，2，3)；由已知输入量|D₄A₄|可以唯一确定点A₄的空间坐标，即确定坐标系转换关系式中的ΔZ；通过坐标系转换关系式可以求出C_i(i＝1，2，3)在坐标系X’Y’Z’中的空间坐标，再在坐标系X’Y’Z’中，利用B_iC_i(i＝1，2，3)距离不变可列出三个独立方程，可以求解出三个空间转动位移参数。由此，一个平动位移参数和三个转动位移参数都由三个第一调节系统和一个第二调节系统位移确定。

本实用新型提出的装调装置的对象是用于极紫外波段的圆柱形反射镜片，但不排除其他形状，如棱形、方形等，对镜片支撑架的镜片装载槽形做出相应的改动即可，都在本专利保护范畴内。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装所述反射镜片，其特征在于：所述装调装置还包括滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，其中， 

所述滑动系统也固定于真空腔体内，包括一个滑动通道、一个滑动体和一个滑道板(52)，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；所述滑动通道(521)开在所述滑道板上； 

所述镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过所述球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上； 

所述第一调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶所述镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过所述滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动； 

所述第二调节系统从所述真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶所述滑动体，使所述滑动体沿着所述滑动通道滑动。 

2.如权利要求1所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，所述滑动体是球体或圆柱体。 

3.如权利要求1所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，所述第一调节系统至少有三个，其分别抵顶镜片支撑架上的不同的位置，且其在伸入所述真空腔体时穿过该真空腔体的壁的位置与所述第二调节系统在伸入所述真空腔体时穿过该真空腔体的壁的位置不在同一直线上，它们所抵顶的位置与所述滑动体的中心在该镜片支撑架的背面上的投影位置不在同一直线上。 

4.如权利要求3所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，每个所述第一调节系统包括两个球铰。 

5.如权利要求1所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，还包括卡压系统，其用于将所述反射镜片固定于所述镜片支撑架上。 

6.如权利要求5所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，所述卡压系统包括卡压杆(41)和两个离心压头(42)，其中， 

所述离心压头(42)包括离心压头轴(421)和端盖(422)，离心压头轴呈长圆柱形，端盖为扁圆柱形并固定于离心压头轴的一个端面，所述离心压头轴和端盖的中心轴在一条直线上； 

在平行于离心压头轴和端盖的中心轴的方向上，穿过离心压头轴和端盖开设一个通孔，所述通孔的中心轴与离心压头轴和端盖的中心轴不在同一直线上，且所述通孔的直径与所述卡压杆的直径一致，以使所述卡压杆的两端分别穿入所述两个离心压头的通孔。 

7.如权利要求6所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，所述镜片支撑架的两个侧面设置有卡压孔(34)，所述反射镜片的侧面开有卡槽，其中，所述卡压杆先由所述镜片支撑架的一个侧面的卡压孔依次穿入所述镜片支撑架并穿过所述反射镜片的卡槽(21，22)到达所述镜片支撑架的另一侧面的卡压孔。 

8.如权利要求1所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，所述滑动体为滑动球(53)，其切去一部分形成一个端面，该端面用于与所述第二调节系统(7)相连。 

9.如权利要求8所述的四维EUV反射镜片的装调装置，其特征在于，所述滑动系统还包括两个连接板(51)，其中 

所述连接板用于固定所述镜片支撑架，每个连接板的下表面有两个限位球头(511)； 

所述滑动通道的两侧分别开有一个轴向与该滑动通道的轴向平行的限位通道(522)，所述两个限位通道分别用于承接所述限位球头。 

10.如权利要求8所述的四维EUV反射镜装调装置，其特征在于，所述滑动系统还包括限位块(56)，其固定在所述限位通道的两端。