CN204076543U - 一种硅片切割砂浆循环系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片切割砂浆循环系统，包括硅片切割室、过滤网和砂浆罐，所述过滤网设置在硅片切割室与砂浆罐之间；还包括砂浆纯化装置和砂浆补充罐，所述砂浆纯化装置设置在过滤网与砂浆罐之间，所述砂浆补充罐与砂浆罐通过管道连接；所述硅片切割室、砂浆纯化装置、砂浆罐通过管道依次连接形成循环通路。本系统利用砂浆纯化装置对砂浆进行纯化的同时，补充新的砂浆进入纯化后的砂浆中，使SiC颗粒的保持在有效浓度内，保证生产中切割效率的同时，大大降低了生产成本。

Description

一种硅片切割砂浆循环系统

技术领域

本实用新型涉及一种循环利用系统，特别是，涉及一种硅片切割砂浆循环系统。

背景技术

砂浆在切割一次后，大量硅粉、钢线磨损后的金属化合物混入砂浆里，附着并包围在SiC颗粒上，使SiC颗粒在切割前沿硅块表面打滑，切割力减弱；为了消除硅粉及部分金属化合物，每次切割后需要更换大量的砂浆，但经过扫描电镜观察，一次切割后的废砂浆里，90％以上的SiC仍未充分利用，频繁的更换砂浆，造成生产中原料的浪费，不利于降低生产成本。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片切割砂浆循环系统，利用砂浆纯化装置对砂浆进行纯化的同时，补充新的砂浆进入纯化后的砂浆中，使SiC颗粒的保持在有效浓度内，保证生产中切割效率的同时，大大降低了生产成本。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种硅片切割砂浆循环系统，包括硅片切割室、过滤网和砂浆罐，所述过滤网设置在硅片切割室与砂浆罐之间；还包括砂浆纯化装置和砂浆补充罐，所述砂浆纯化装置设置在过滤网与砂浆罐之间，所述砂浆补充罐与砂浆罐通过管道连接；所述硅片切割室、砂浆纯化装置、砂浆罐通过管道依次连接形成循环通路。

优选的，所述砂浆纯化装置为高速离心机。

优选的，所述沙浆纯化装置内设有用于检测SiC颗粒浓度的检测模块。

优选的，所述砂浆罐与砂浆纯化装置、砂浆补充罐之间的管路上设有阀门。

优选的，还包括过滤罐，所述过滤罐设置在砂浆罐与硅片切割室之间的管道上。

优选的，所述过滤罐由罐体、罐盖和内置过滤网组成，所述内置过滤网设置在罐体内，所述罐盖通过螺接设置在罐体顶端，所述罐体两侧分别设置有进出口。

优选的，所述砂浆罐内设置有用于砂浆混匀的旋转机构。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型利用砂浆纯化装置对砂浆进行纯化的同时，补充新的砂浆进入纯化后的砂浆中，使SiC颗粒的保持在有效浓度内，保证生产中切割效率的同时，大大降低了生产成本；

2、本实用新型在砂浆纯化装置设置SiC颗粒浓度检测模块，在SiC颗粒浓度低于80％时启动砂浆纯化装置，同时注入SiC颗粒浓度稍高的新的砂浆液，保证了砂浆良好的切割性能；

3、本实用新型在砂浆罐后设置可拆卸的过滤罐，保证进入硅片切割室砂浆的纯度，避免大颗粒杂质对切割的影响，而且便于日常维护。

附图说明

图1为本实用新型中硅片切割砂浆循环系统结构示意图；

其中，1为硅片切割室，2为过滤网，3为砂浆罐，4为砂浆纯化装置，5为砂浆补充罐，6为过滤罐。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，为硅片切割砂浆循环系统，包括硅片切割室1、过滤网2和砂浆罐3，过滤网2设置在硅片切割室1与砂浆罐3之间；还包括砂浆纯化装置4和砂浆补充罐5，砂浆纯化装置4设置在过滤网2与砂浆罐3之间，砂浆补充罐5与砂浆罐3通过管道连接；硅片切割室1、砂浆纯化装置4、砂浆罐3通过管道依次连接形成循环通路；还包括过滤罐6，过滤罐6设置在砂浆罐3与硅片切割室1之间的管道上。

在一个具体实施例中，所述砂浆纯化装置4为高速离心机，高速离心机内设有用于检测SiC颗粒浓度的检测模块，当检测到砂浆浓度低于80％时，启动高速离心机进行纯化。过滤罐6由罐体、罐盖和内置过滤网组成，所述内置过滤网设置在罐体内，所述罐盖通过螺接设置在罐体顶端，所述罐体两侧分别设置有进出口。砂浆罐3内设置有用于砂浆混匀的旋转机构。

使用时，硅片切割室1内砂浆经过管道上过滤网2过滤后进入砂浆纯化装置4，经检测装置检测，确定是否启动纯化，如不需要纯化则砂浆直接流入砂浆罐3内，砂浆补充罐5管道上阀门处于关闭状态；如需要纯化，则启动砂浆纯化装置4，同时砂浆补充罐5管道上阀门开启，经处理后的砂浆流入砂浆罐3，并在砂浆罐3内进行混匀。硅片切割室1需要砂浆时，砂浆罐3内的砂浆经过过滤罐6过滤后进入硅片切割室1。

对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种硅片切割砂浆循环系统，包括硅片切割室(1)、过滤网(2)和砂浆罐(3)，所述过滤网(2)设置在硅片切割室(1)与砂浆罐(3)之间；其特征在于，还包括砂浆纯化装置(4)和砂浆补充罐(5)，所述砂浆纯化装置(4)设置在过滤网(2)与砂浆罐(3)之间，所述砂浆补充罐(5)与砂浆罐(3)通过管道连接；所述硅片切割室(1)、砂浆纯化装置(4)、砂浆罐(3)通过管道依次连接形成循环通路。

2.如权利要求1所述的硅片切割砂浆循环系统，其特征在于，所述砂浆纯化装置(4)为高速离心机。

3.如权利要求1所述的硅片切割砂浆循环系统，其特征在于，所述沙浆纯化装置(4)内设有用于检测SiC颗粒浓度的检测模块。

4.如权利要求1所述的硅片切割砂浆循环系统，其特征在于，所述砂浆罐(3)与砂浆纯化装置(4)、砂浆补充罐(5)之间的管路上设有阀门。

5.如权利要求1-4任一项所述的硅片切割砂浆循环系统，其特征在于，还包括过滤罐(6)，所述过滤罐(6)设置在砂浆罐(3)与硅片切割室(1)之间的管道上。

6.如权利要求5所述的硅片切割砂浆循环系统，其特征在于，所述过滤罐(6)由罐体、罐盖和内置过滤网组成，所述内置过滤网设置在罐体内，所述罐盖通过螺接设置在罐体顶端，所述罐体两侧分别设置有进出口。

7.如权利要求6所述的硅片切割砂浆循环系统，其特征在于，所述砂浆罐(3)内设置有用于砂浆混匀的旋转机构。