CN204058584U - 一种掩模板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种掩模板。该掩模板包括第一膜层和第二膜层，第二膜层覆叠在第一膜层上，第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。该掩模板通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示产品的成膜技术领域，具体地，涉及一种掩模板。
背景技术
应用有机电致发光二极管(OLED，Organic Light-EmittingDiode)的显示器也被称为OLED显示器或者是有机电致发光显示器，它是一种新型的平板显示器，因其具有主动发光、对比度高以及响应速度快等优点，而得到广泛应用。
在制作OLED显示器的过程中需要将有机材料蒸镀到玻璃基板表面，而蒸镀有机材料的过程中需要采用掩模板，以便在玻璃基板上得到所需的图案。
目前，掩模板一般采用金属掩模板，金属掩模板通常包括框架以及通过该框架支撑的设置有成膜图案的掩模。框架和掩模的材质一般为Invar(因瓦合金，即含有35.4％镍的铁合金)，Invar的膨胀系数为1.2×10-6℃，密度为8.1g/cm3，热传导系数为10W/m.k，比热为515J/kg，抗拉伸强度为590Mpa，Invar的上述物理特性使其很适合用作掩模板。
为了使设置有成膜图案的掩模具有较高的平坦度，需要将掩模拉伸后固定在框架上，并通过框架张紧，所以框架需要有能满足掩模张紧的强度，为此框架通常需要具备一定的厚度和重量。框架的材质一般为Invar或SUS材料，这些材料的密度相对较大。当框架需要对面积较大的掩模进行张紧时，框架本身的重量通常也会比较大，此时，很容易导致机械手在传送框架时受到限制。
另外，采用Invar的框架对掩模进行张紧支撑形成的掩模板平坦度不高，如掩模表面不同位置的高度差会达到100um～150um。当掩模板尺寸较大时，其平坦度会进一步下降，对成膜工艺产生比较严重的阴影影响，从而影响OLED的性能。
同时，掩模板属于消耗品，当使用一定次数精度下降时，就需要废弃处理，而Invar材料及加工的价格非常高昂，导致在大规模生产中掩模板的成本在产品成本中占有非常大的比重。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种掩模板。该掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度。
本实用新型提供一种用于成膜的掩模板，包括第一膜层和第二膜层，所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上，所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板，所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。
优选地，所述第一膜层和所述第二膜层的材质密度均小于8.1g/cm3，膨胀系数均小于1.2×10-6/℃，热传导系数均小于10W/m·k。
优选地，所述无纺布的耐受温度范围为400℃以内，所述陶瓷板的耐受温度范围为1400℃以内。
优选地，所述无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。
优选地，所述第二膜层的厚度范围为1-1000μm。
优选地，还包括覆叠在所述第二膜层上的第三膜层，所述第三膜层采用UV固化胶或热固化胶。
优选地，所述掩模板上设置有镂空的成膜图案，对应在所述成膜图案的边缘，所述第三膜层完全包覆所述第一膜层和所述第二膜层。
优选地，所述第三膜层的厚度范围为50-3000μm。
优选地，其特征在于，所述热固化胶的固化温度范围为10℃-200℃。
优选地，还包括粘贴层，所述粘贴层设置在所述第一膜层的背对所述第二膜层的一侧，且位于所述第一膜层的边缘。
本实用新型的有益效果：本实用新型所提供的掩模板，通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。
附图说明
图1为本实用新型实施例1中掩模板的结构俯视图；
图2为图1中掩模板沿A1A2剖切线进行剖切的剖视图。
其中的附图标记说明：
1.第一膜层；2.第二膜层；3.第三膜层；4.成膜图案；41.一次切割后的成膜图案边缘；42.二次切割后的成膜图案边缘；5.粘贴层。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型所提供的一种掩模板作进一步详细描述。
实施例1：
本实施例提供一种用于成膜的掩模板，如图1和图2所示，包括第一膜层1和第二膜层2，第二膜层2覆叠在第一膜层1上，第一膜层1采用无纺布，第二膜层2采用UV固化胶或热固化胶。
其中，第一膜层1和第二膜层2的材质密度均小于8.1g/cm3，膨胀系数均小于1.2×10-6/℃，热传导系数均小于10W/m·k。
由于第一膜层1和第二膜层2的材质密度均小于8.1g/cm3，该密度为目前掩模板通常采用的材质：因瓦合金的密度，所以在体积相同的情况下，本实施例中掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度；第一膜层1和第二膜层2的膨胀系数均小于1.2×10-6/℃、热传导系数均小于10W/m·k，能使第一膜层1和第二膜层2不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。
本实施例中，采用满足上述物理参数性能的无纺布、UV固化胶或热固化胶材料制成的掩模板既能确保重量轻，又能保证成膜所需要满足的平坦度和精密度。其中，无纺布的耐受温度范围为400℃以内，而通常成膜的环境温度在180℃范围内，热固化胶的固化温度范围为10℃-200℃，UV固化胶的固化温度低于热固化胶的固化温度，因此该耐受温度能够确保无纺布在掩模板制作以及成膜过程中不会因温度超出了其耐受温度范围而损坏或变形。另外，采用无纺布、UV固化胶或热固化胶形成掩模板还大大节约了成本。
本实施例中，无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。这些材料中任意一种的物理性能均满足上述第一膜层1的参数性能。
其中，第二膜层2的厚度范围为1-1000μm。第二膜层2的厚度越厚，则掩模板的强度越好，如此能够进一步确保掩模板的平坦度，从而进一步确保采用该掩模板成膜的平坦度和精密度。
本实施例中，掩模板还包括覆叠在第二膜层2上的第三膜层3，第三膜层3采用UV固化胶或热固化胶。该UV固化胶或热固化胶的物理性能满足上述第二膜层2的参数性能。
本实施例中，掩模板上设置有镂空的成膜图案4，对应在成膜图案4的边缘，第三膜层3完全包覆第一膜层1和第二膜层2。由于成膜图案4通过激光切割首先在第一膜层1和第二膜层2中形成，经激光切割后的第一膜层1也即无纺布膜层在成膜图案4的边缘(即图1中一次切割后的成膜图案边缘41)容易出现毛边，所以通常还要在第二膜层2上涂布第三膜层3，并在经过二次切割后的成膜图案4的边缘(即图1和图2中二次切割后的成膜图案边缘42)，第三膜层3完全包覆第一膜层1和第二膜层2，这能确保最终形成的成膜图案4的边缘精度在5μm以下，从而提高了成膜的精度和质量。
其中，第三膜层3的厚度范围为50-3000μm。第三膜层3的厚度越厚，则掩模板的强度越好，如此能够进一步确保掩模板的平坦度，从而进一步确保采用该掩模板成膜的平坦度和精密度。
本实施例中，热固化胶的固化温度范围为10℃-200℃，UV固化胶的固化温度低于热固化胶的固化温度，通常，采用掩模板进行成膜的环境温度一般在180℃范围内，热固化胶或UV固化胶的固化温度一方面能够确保掩模板在成膜过程中，热固化胶或UV固化胶不仅不会被熔化，而且能确保热固化胶或UV固化胶呈具有一定强度的固体状态，从而确保成膜过程中掩模板能够正常发挥其作用；另一方面还能确保热固化胶或UV固化胶在固化过程中不会对无纺布造成损坏。
本实施例中，掩模板还包括粘贴层5，粘贴层5设置在第一膜层1的背对第二膜层2的一侧，且位于第一膜层1的边缘。通常在成膜工艺中，需要将掩模板与成膜基板对位贴合在一起，以便通过蒸镀或溅射的方法在成膜基板上形成包括成膜图案4的膜层，粘贴层5的设置，便于掩模板与成膜基板之间的对位贴合，从而确保了成膜的平坦度和精密度。
其中，粘贴层5可以采用双面胶等具有粘附作用的材料。将粘贴层5设置在第一膜层1的边缘，既能使掩模板与成膜基板对位贴合在一起，又不会影响成膜图案4区域的正常成膜。
本实施例中的掩模板的制备方法包括如下步骤：
步骤1：在无纺布上均匀涂布一层UV固化胶或热固化胶材料。
UV固化胶或热固化胶能够限制无纺布的延展性，并使掩模板具有一定的强度。通常将无纺布的尺寸设置为与成膜基板的尺寸相同。
步骤2：UV固化胶或热固化胶固化后，在镀膜无纺布上进行激光切割，切割出尺寸略大于成膜图案4的图案(如图1中一次切割后的成膜图案边缘41)，且该图案的形状与成膜图案4的形状相同。
其中，激光切割需要进行高功率快速切割，以免造成无纺布、UV固化胶或热固化胶切割边缘烧蚀。
步骤3：在切割完成后的UV固化胶或热固化胶上再涂布一层UV固化胶或热固化胶材料，待胶固化后进行第二次激光切割，最终切割形成成膜图案4(如图1和图2中二次切割后的成膜图案边缘42)。
步骤4：在无纺布侧边缘区域贴附双面胶。
至此，掩模板制备完毕。成膜时，通过双面胶将掩模板对应贴附到成膜基板上即可。
实施例2：
本实施例提供一种掩模板，与实施例1不同的是，本实施例中的第一膜层采用陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。
其中，陶瓷板、UV固化胶或热固化胶的物理性能均满足实施例1中第一膜层和第二膜层的参数性能，因此采用陶瓷板和UV固化胶或热固化胶材质制成的掩模板既能确保重量轻，又能保证成膜所需要满足的平坦度和精密度。其中，陶瓷板的耐受温度范围为1400℃以内，该耐受温度能够确保陶瓷板在掩模板制作以及成膜过程中不会因温度超出了其耐受温度范围而损坏或变形。
本实施例中掩模板的其他结构、材质及制备方法与实施例1中相同，此处不再赘述。
实施例3：
本实施例提供一种掩模板，与实施例1-2不同的是，本实施例中的掩模板不包括第三膜层。
只要确保第一膜层在成膜图案的边缘的平整度不会严重影响到成膜图案的精密度即可。
相应地，本实施例中掩模板的制备方法只需三个步骤，步骤1与实施例1-2任一中的步骤1相同。步骤2只需在UV固化胶或热固化胶固化后，在镀膜无纺布或镀膜陶瓷板上进行激光切割，最终切割形成成膜图案。步骤3与实施例1-2任一中的步骤4相同。
本实施例中掩模板的其他结构、材质及制备方法与实施例1-2任意一个中相同，此处不再赘述。
实施例4：
本实施例提供一种掩模板，与实施例1-3不同的是，本实施例中的掩模板不包括粘贴层。
如：掩模板与成膜基板之间可以通过静电吸附装置进行对位贴合。
相应地，掩模板的制备方法中也不再包括步骤：在无纺布或陶瓷板侧边缘区域贴附双面胶。
本实施例中掩模板的其他结构、材质及制备方法与实施例1-3任意一个中相同，此处不再赘述。
实施例1-4的有益效果：实施例1-4所提供的掩模板通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种用于成膜的掩模板，包括第一膜层和第二膜层，所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上，其特征在于，所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板，所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。
2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一膜层和所述第二膜层的材质密度均小于8.1g/cm3，膨胀系数均小于1.2×10-6/℃，热传导系数均小于10W/m·k。
3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述无纺布的耐受温度范围为400℃以内，所述陶瓷板的耐受温度范围为1400℃以内。
4.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。
5.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第二膜层的厚度范围为1-1000μm。
6.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，还包括覆叠在所述第二膜层上的第三膜层，所述第三膜层采用UV固化胶或热固化胶。
7.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板上设置有镂空的成膜图案，对应在所述成膜图案的边缘，所述第三膜层完全包覆所述第一膜层和所述第二膜层。
8.根据权利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述第三膜层的厚度范围为50-3000μm。
9.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述热固化胶的固化温度范围为10℃-200℃。
10.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，还包括粘贴层，所述粘贴层设置在所述第一膜层的背对所述第二膜层的一侧，且位于所述第一膜层的边缘。
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