CN204018160U - 硅片涂硼装置 - Google Patents
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 28
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims abstract description 18
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。本实用新型的有益效果是：结构简单，方便人工操作，能够较为快速将硼均匀涂抹在硅片上，提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片涂硼装置。
背景技术
目前，在半导体硅片加工过程中，需要将硼涂抹在硅片上，然后进行扩散工艺，这需要一片一片的硅片手工涂抹，但由于硅片比较薄，用手不方便拿气，而且一只手拿硅片，另一只手涂抹操作不方便，而且涂抹不太均匀，工作效率比较低。
发明内容
为解决以上技术上的不足，本实用新型提供了一种方便操作，涂抹均匀的硅片涂硼装置。
本实用新型是通过以下措施实现的：
本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。
上述托盘的直径小于硅片的直径。
上述相邻两个爪部之间的夹角相同。
本实用新型的有益效果是： 结构简单，方便人工操作，能够较为快速将硼均匀涂抹在硅片上，提高了工作效率。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图。
其中：1托盘，2爪部，3边框，4转轴，5轴承座，6电机，7脚踏开关。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细的描述：
如图1所示，本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座5，轴承座5内穿有转轴4，转轴4顶部设置有圆形的托盘1，托盘1边缘向外水平延伸有三个爪部2，爪部2边缘上方设置有弧形的边框3，三个爪部2的边框3均位于托盘1的同心圆的圆周上；转轴4下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机6，电机6连接有脚踏开关7。托盘1的直径小于硅片的直径。相邻两个爪部2之间的夹角相同。
使用时，将硅片放在托盘1上，由于硅片的直径大于托盘1的直径，所以方便硅片的取放，硅片的边缘被爪部2上的边框3卡住，工人用脚踩脚踏开关7，电机6得电并带动托盘1转动，硅片也随之转动，爪部2的边框3可以防止硅片飞出。在硅片在旋转过程中工人手持沾有硼的毛笔在硅片上涂抹即可。
以上所述仅是本专利的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本专利的保护范围。
Claims (3)
1.一种硅片涂硼装置，其特征在于：包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。
2.根据权利要求1所述硅片涂硼装置，其特征在于： 所述托盘的直径小于硅片的直径。
3.根据权利要求1所述硅片涂硼装置，其特征在于：相邻两个爪部之间的夹角相同。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420449218.0U CN204018160U (zh) | 2014-08-11 | 2014-08-11 | 硅片涂硼装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420449218.0U CN204018160U (zh) | 2014-08-11 | 2014-08-11 | 硅片涂硼装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204018160U true CN204018160U (zh) | 2014-12-17 |
Family
ID=52058072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420449218.0U Expired - Lifetime CN204018160U (zh) | 2014-08-11 | 2014-08-11 | 硅片涂硼装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204018160U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107961956A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-04-27 | 安徽蓝博玻璃有限公司 | 一种用于玻璃打胶的移动小车 |
-
2014
- 2014-08-11 CN CN201420449218.0U patent/CN204018160U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107961956A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-04-27 | 安徽蓝博玻璃有限公司 | 一种用于玻璃打胶的移动小车 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 272100 Yanyan Road North (tianqimiao Village West), Yanzhou District, Jining City, Shandong Province Patentee after: SHANDONG XINNUO ELECTRONIC TECHNOLOGY CO.,LTD. Address before: North of Yanyan Road, Yanzhou District, Jining City, Shandong Province, 272100 Patentee before: SHANDONG XINNUO ELECTRONIC SCIENCE & TECHNOLOGY CO.,LTD. |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20141217 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |