CN203957173U - 硅片多线切割机的减振装置及硅片多线切割机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片多线切割机的减振装置,包括滚筒结构和位于滚筒结构两侧的支撑结构,滚筒结构包括滚筒轴和包覆在滚筒轴外侧的滚筒,支撑结构包括固定板、支撑件和弹性件,支撑件与固定板转动连接,同时支撑件和滚筒轴相固定,弹性件安装在固定板上,同时与支撑件相抵接。该硅片多线切割机的减振装置在宽轴距的多线切割设备上使用金刚线切割时,支撑件依靠弹性件的弹力保持其与固定板成一定状态,支撑件支撑滚筒,使滚筒与金钢线线网相抵接,使得金刚线在高速运动时产生的一部分振动被弹性件吸收,从而降低金刚线从导轮槽中跳出的几率,解决因跳线造成断线的问题。本实用新型同时涉及一种硅片多线切割机。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工领域,特别是涉及硅片多线切割机的减振装置及使用该减振装置的硅片多线切割机。
背景技术
目前,太阳能领域的硅片切割工艺中,太阳能级电池硅片是通过多线切割机将硅块或硅棒切割而成,根据当前产业的发展趋势,金刚线多线切割技术将成为未来多线切割的主流。然而,当前游离的多线切割设备装载量大、轴距宽,传统的游离态多线切割机100如图1所示,带有四个工位工作台110,在此类设备上直接使用金刚线切割时,因其切割速度低,进给慢,金钢线速度慢,从而金钢线振动频率低,振幅小,线网线弓小,此时大跨距不影响切割。然而当金刚线高速切割时,钢线的振动频率大、振幅大,容易造成金刚线从导轮槽中跳出,引起金刚线之间互相摩擦,从而造成断线。
实用新型内容
基于此,有必要针对在宽轴距的多线切割设备上使用金刚线切割,容易导致金刚线从导轮槽中跳出造成断线的问题,提供一种硅片多线切割机的减振装置及使用该减振装置的硅片多线切割机。
一种硅片多线切割机的减振装置,包括滚筒结构和位于所述滚筒结构两侧的支撑结构,所述滚筒结构包括滚筒轴和包覆在所述滚筒轴外侧的滚筒,所述支撑结构包括固定板、支撑件和弹性件,所述支撑件与所述固定板转动连接,同时所述支撑件和所述滚筒轴相固定,所述弹性件安装在所述固定板上,同时与所述支撑件相抵接。
在其中一个实施例中,所述支撑件为一端封闭的壳状结构,所述滚筒轴的端部、所述固定板和所述弹性件设置在所述支撑件的内部。
在其中一个实施例中,所述固定板通过转轴与所述支撑件相连。
在其中一个实施例中,所述弹性件包括第一端部和第二端部,所述第一端部固定连接于所述固定板,所述第二端部与所述支撑件相抵接。
在其中一个实施例中,所述弹性件的第一端部用螺栓固定连接于所述固定板上。
在其中一个实施例中,所述弹性件为板簧或橡胶垫。
一种硅片多线切割机,包括工位工作台、至少两个导轮、线网和上述的减振装置,所述工位工作台位于两个所述导轮的中间外侧,所述线网环绕设置在所述导轮外侧,所述工位工作台和所述减振装置安装在所述线网的两侧。
在其中一个实施例中,所述减振装置包括滚筒,所述滚筒与所述线网相抵接。
在其中一个实施例中,所述线网为金刚线。
上述硅片多线切割机的减振装置,包括滚筒结构、固定板、支撑件和弹性件,在宽轴距的多线切割设备上使用金刚线切割时,支撑件依靠弹性件的弹力保持其与固定板成一定状态,支撑件支撑滚筒,使滚筒与金钢线线网相抵接,使得金刚线在高速运动时产生的一部分振动被弹性件吸收,从而降低金刚线从导轮槽中跳出的几率,解决因跳线造成断线的问题。
附图说明
图1为传统的游离态多线切割机的示意图;
图2为本实用新型实施例中金刚线多线切割机的示意图;
图3为本实用新型实施例中金刚线多线切割机的主视图;
图4为本实用新型实施例中减振装置的示意图。
图中:游离态多线切割机100,工位工作台110,金刚线多线切割机200,第一工位工作台210,第二工位工作台220,第一导轮230,第二导轮240,第三导轮250,第四导轮260,第一晶棒310,第二晶棒320,金刚线线网400,减振装置500,滚筒结构520,滚筒轴522,滚筒524,支撑结构540,固定板542,支撑件544,板簧546,第一端部5462,第二端部5464,喷嘴600。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本实用新型实施例中金刚线多线切割机200的示意图和主视图分别如图2和图3所示,包括两个工位工作台、四个导轮、金刚线和减振装置。两个工位工作台分别为第一工位工作台210和第二工位工作台220。四个导轮分别为第一导轮230、第二导轮240、第三导轮250和第四导轮260。由图3可知,第一工位工作台210位于第一导轮230和第二导轮240的中间上方位置,第一晶棒310固定在第一工位工作台210上。第二工位工作台220位于第三导轮250和第四导轮260的中间上方位置,第二晶棒320固定在第二工位工作台220上。金刚线布线时,将其依次环绕设置在第一导轮230、第二导轮240、第三导轮250和第四导轮260的外侧,构成不交叉的金刚线线网400。减振装置500分别安装在第一工位工作台210和第一导轮230之间、第一工位工作台210和第二导轮240之间、第二工位工作台220和第三导轮250之间以及第二工位工作台220和第四导轮260之间。如图所示,第一工位工作台210在金刚线线网400围成区域的外侧,而图中上面两个位于第一导轮230和第二导轮240之间的减振装置500在金刚线线网400围成区域的内侧。与此相反,第二工位工作台220在金刚线线网400围成区域的内侧,而图中下面两个位于第三导轮250和第四导轮260之间的减振装置500在金刚线线网400围成区域的外侧。同时,每个减振装置500均位于金刚线线网400中与其相抵接部分的线网下面。另外,如图所示,为了提高切割质量,可以在金刚线多线切割机200的第一导轮230、第二导轮240、第三导轮250和第四导轮260的一侧分别设置一个喷嘴600。在切割过程中,首先将切削液输送到喷嘴600,随后喷洒在金刚线线网400上,可有效带走切割过程中产生的大量热量,使金刚线线网400切割均匀,提高了产品的表面质量。该切削液优选为水基冷却液,降低了后期切削液的处理难度,可减少对环境的影响,更清洁、环保、有利于后期处理。
布好金刚线线网400初始,金刚线线网400呈水平状态,如图3中位置A的状态。金刚线线网400进行切割时,可在第一导轮230、第二导轮240、第三导轮250和第四导轮260的带动下沿特定方向转动。第一工位工作台210和第二工位工作台220将快速进给,此时第一晶棒310和第二晶棒320会对金刚线线网400施加压力,金刚线线网400受力后会产生线弓,此时,在没有设置减振装置500时,金刚线线网400的位置如图3中C的状态,线弓比较大。
然而,由于改造后的金刚线多线切割机200安装了减振装置500,当金刚线线网400进行切割时,金刚线线网400产生的线弓将部分被减振装置500吸收,降低了金刚线线网400振动的振幅,线弓比较小,此时金刚线线网400的位置如图3中B的状态。
本实施例中的减振装置500如图4所示,包括滚筒结构520和位于滚筒结构520两侧的支撑结构540。滚筒结构520包括滚筒轴522和包覆在滚筒轴外侧的滚筒524。支撑结构540包括固定板542、支撑件544和板簧546。支撑件544为一端封闭的壳状结构,滚筒轴522的端部、固定板542和板簧546设置在支撑件544的内部。支撑件544与固定板542转动连接,同时支撑件544和滚筒轴522相固定。板簧546包括第一端部5462和第二端部5464,第一端部5462的第一端部5462固定连接于固定板542上,第二端部5464与支撑件544相抵接。减振装置500的固定板542的作用是定位整个减振装置500,以及安装板簧546。
将减振装置500安装于金刚线多线切割机200的机架上时,先使减振装置500的固定板542固定于设备机体。初始状态时,固定板542保持相对支撑件544的静止状态,在固定板542上安装板簧546,板簧546的第一端部5462用两个半圆头螺栓固定连接于固定板542上,板簧546的第二端部5464与支撑件544相抵接,通过板簧546的弹性保持支撑件544固定,此时支撑件544支撑的滚筒524在板簧546的弹力作用下与金刚线线网400相抵接。
金刚线多线切割机200的切割过程中,金刚线线网400高速运转,产生振动,板簧546的弹力将抵消部分由第一工位工作台210和第二工位工作台220进给时施加的压力,从而线网的线弓将减小。此时滚筒524的作用是使金刚线线网400相对改造前跨度变窄。没有设置减振装置500前,跨度大,造成钢线振动振幅大,容易导致金刚线线网400跳线。在金刚线多线切割机200上设置减振装置500后,通过滚筒524对金刚线线网400施加的力,降低了金刚线线网400振动的振幅。
上述硅片多线切割机的减振装置500,包括滚筒结构520、固定板542、支撑件544和板簧546,在宽轴距的多线切割设备上使用金刚线切割时,支撑件544依靠板簧546的弹力保持其与固定板542成一定状态,支撑件544支撑滚筒524,使滚筒524与金钢线线网400相抵接,使得金刚线线网400在高速运动时产生的一部分振动被板簧546吸收,从而降低金刚线线网400从导轮槽中跳出的几率,解决因跳线造成断线的问题。
需要说明的是,上述实施例中用板簧546来吸收金刚线线网400的振动,但并不限于板簧546,也可以是其他能够吸收金刚线线网400在高速运动时产生的一部分振动的弹性件,例如橡胶垫。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种硅片多线切割机的减振装置,其特征在于,包括滚筒结构和位于所述滚筒结构两侧的支撑结构,所述滚筒结构包括滚筒轴和包覆在所述滚筒轴外侧的滚筒,所述支撑结构包括固定板、支撑件和弹性件,所述支撑件与所述固定板转动连接,同时所述支撑件和所述滚筒轴相固定,所述弹性件安装在所述固定板上,同时与所述支撑件相抵接。
2.根据权利要求1所述的硅片多线切割机的减振装置,其特征在于,所述支撑件为一端封闭的壳状结构,所述滚筒轴的端部、所述固定板和所述弹性件设置在所述支撑件的内部。
3.根据权利要求1所述的硅片多线切割机的减振装置,其特征在于,所述固定板通过转轴与所述支撑件相连。
4.根据权利要求1所述的硅片多线切割机的减振装置,其特征在于,所述弹性件包括第一端部和第二端部,所述第一端部固定连接于所述固定板,所述第二端部与所述支撑件相抵接。
5.根据权利要求4所述的硅片多线切割机的减振装置,其特征在于,所述弹性件的第一端部用螺栓固定连接于所述固定板上。
6.根据权利要求4或5所述的硅片多线切割机的减振装置,其特征在于,所述弹性件为板簧或橡胶垫。
7.一种硅片多线切割机,其特征在于,包括工位工作台、至少两个导轮、线网和如权利要求1~6中任一项所述的减振装置,所述工位工作台位于两个所述导轮的中间外侧,所述线网环绕设置在所述导轮外侧,所述工位工作台和所述减振装置安装在所述线网的两侧。
8.根据权利要求7所述的硅片多线切割机,其特征在于,所述减振装置包括滚筒,所述滚筒与所述线网相抵接。
9.根据权利要求7所述的硅片多线切割机,其特征在于,所述线网为金刚线。
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