CN203951036U - 一种错位叠层式光路模块和一种多管芯半导体激光器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及激光技术领域，尤其涉及一种错位叠层式光路模块和一种多管芯半导体激光器。一种错位叠层式光路模块，包括：一个热沉模块和N个光路单元，其中N为大于等于2的正整数；每个光路单元包括一个带辅助热沉的半导体激光芯片CoS、一个快轴准直透镜和一个慢轴准直透镜；所述热沉模块的一面呈N+1级台阶状，从高到低依次为第一级台阶至第N+1级台阶；相邻两个CoS的输出光束的光轴相互平行，且不在同一垂直平面内。一种多管芯半导体激光器，包括：台阶形底板和多个错位叠层式光路模块。本实用新型实现了多个光路的模块化，保证了工艺重复性和稳定性，提高了多管芯半导体激光器的空间利用率。

Description

一种错位叠层式光路模块和一种多管芯半导体激光器

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，尤其涉及一种错位叠层式光路模块和一种多管芯半导体激光器。

背景技术

目前的多管芯半导体激光器中，通常将多个带辅助热沉的半导体激光芯片(CoS)、多个快轴准直透镜和多个慢轴准直透镜等光学元件全部以焊接的方式集成在同一个底板上，并且为了增大半导体激光器的功率，通常会集成更多的单元器件，这样整个半导体激光器在水平方向占用的空间就会明显增多。因为CoS是焊接在底板上的，如果某个出现故障，就需要重新更换，而底板是采用高导热率的金属制成，更换CoS的过程中，会影响其它单元器件，需要重新对它们进行调校，这种所有单元器件共底板的空间集成方式不能保证产品的工艺重复性和保证不同芯片产品的之间的通用性，并且可拆卸性差，维修成本高，耗费人力，很难实现多管芯半导体激光器的批量化生产。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的技术问题，本实用新型提供了一种错位叠层式光路模块，本实用新型的目的还在于提供一种多管芯半导体激光器。

本实用新型公开了一种错位叠层式光路模块，包括：一个热沉模块和N个光路单元，其中N为大于等于2的正整数；所述N个光路单元依次为第一光路单元至第N光路单元；

每个光路单元包括一个带辅助热沉的半导体激光芯片CoS、一个快轴准直透镜和一个慢轴准直透镜；

所述热沉模块的一面呈N+1级台阶状，从高到低依次为第一级台阶至第N+1级台阶；

第i个光路单元的CoS固定在第i级台阶上；第i个光路单元的慢轴准直透镜固定在第i+1级台阶上，其中i从1至N；

每个光路单元中的快轴准直透镜分别固定在各自光路单元中CoS的前端，所述CoS的前端为CoS输出光束的那一端

每个光路单元中的CoS的输出光束的光轴、快轴准直透镜的光轴和慢轴准直透镜的光轴在同一条直线上；

每个光路单元中的CoS的输出光束只通过光路单元自身的慢轴准直透镜；

相邻两个CoS的输出光束的光轴相互平行，且不在同一垂直平面内。

进一步的，当N＝2时，所述的错位叠层式光路模块包括两个光路单元；所述的两个光路单元分别为第一光路单元和第二光路单元。所述热沉模块的一面呈三级台阶状，从高到低依次为第一级台阶、第二级台阶和第三级台阶；

所述第一光路单元的CoS固定在所述第一级台阶上；所述第一光路单元的慢轴准直透镜固定在所述第二级台阶上；所述第二光路单元的CoS固定在所述第二级台阶上；所述第二光路单元的慢轴准直透镜固定在所述第三级台阶上；

所述第二光路单元中的CoS的输出光束的光轴平行于所述第一光路单元中的CoS的输出光束的光轴，且不在同一垂直平面内。

进一步的，所述热沉模块上设置有两个沉孔，用于将所述错位叠层式光路模块固定到多管芯半导体激光器的台阶形底板上。

进一步的，所述第一级台阶上设置有一个侧边条，为第一侧边条；

所述第一光路单元中的CoS通过所述第一侧边条定位固定在所述第一级台阶上；

所述第二级台阶上设置有矩形凸台；

所述矩形凸台上设置有一个侧边条，为第二侧边条；

所述第二光路单元中的CoS通过所述第二侧边条定位固定在所述第二级台阶的矩形凸台上；

所述第一光路单元中的慢轴准直透镜设置在所述矩形凸台和第三级台阶之间；

所述的两个沉孔，一个设置在第一级台阶上，另一个设置在第二级台阶上。

进一步的，所述第一级台阶上设置有矩形凸台，为第一矩形凸台；

所述第一矩形凸台上设置有一个侧边条，为第一侧边条；

所述第一光路单元中的CoS通过所述第一侧边条定位固定在所述第一级台阶的第一矩形凸台上；

所述第二级台阶上设置有矩形凸台，为第二矩形凸台；

所述第二矩形凸台上设置有一个侧边条，为第二侧边条；

所述第二光路单元中的CoS通过所述第二侧边条定位固定在所述第二级台阶的第二矩形凸台上；

所述第一光路单元中的慢轴准直透镜设置在所述第一级台阶和所述第二矩形凸台之间，

所述的两个沉孔，一个设置在第一级台阶上，另一个设置在第二级台阶上。

进一步的，所述错位叠层式光路模块还包括体布拉格光栅、热敏电阻、防反片中的一种或多种；所述热沉模块采用高导热率金属制成。

本实用新型还公开了一种多管芯半导体激光器，包括：台阶形底板和多个所述的错位叠层式光路模块；

多个错位叠层式光路模块分别固定在台阶形底板的不同台阶上，每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上设置有至少两个固定孔，用于固定错位叠层式光路模块。

进一步的，所述台阶形底板采用高导热率金属制成，所述台阶形底板中相邻两个台阶的高度差为第一高度差与第一宽度之和；其中：

所述第一高度差为每个错位叠层式光路模块中第一光路单元中的CoS和第二光路单元中的CoS的高度差；

所述第一宽度为CoS的输出光束经过快轴准直透镜后的光束在垂直方向上的宽度。

进一步的，所述每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上设置有两个固定孔，所述两个固定孔都为螺纹孔；每个错位叠层式光路模块上的两个沉孔与每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上的两个固定孔的位置相对应；

所述多个错位叠层式光路模块分别以螺纹连接的方式固定在台阶形底板的台阶上。

进一步的，还包括：多个反射镜、一个耦合镜和一条耦合光纤；

每个错位叠层式光路模块与两个反射镜相对应，且与每个错位叠层式光路模块相对应的两个反射镜沿对应错位叠层式光路模块中CoS的输出光束的传播方向分别依次垂直固定在所述对应错位叠层式光路模块所在的台阶上，且两个反射镜的高度逐渐增高，用于将所述对应错位叠层式光路模块上的每个光路单元中的CoS的输出光束反射至耦合镜的入射面；

所述耦合光纤位于所述耦合镜的出射面所在的一侧，且所述耦合镜的轴线与所述耦合光纤的轴线位于同一直线上

与现有技术相比，本实用新型的技术效果为：

本实用新型通过将CoS、快轴准直透镜和慢轴准直透镜集成在同一热沉模块上，并且在避免干涉的情况下，将它们在垂直方向和水平方向上合理分布，组成一个独立的半导体激光单元器件，即错位叠层式光路模块，从而实现了多个光路的模块化，在垂直方向和水平方向上充分利用了有效空间，从而最大限度的压缩了占用的空间，在装调过程中可以保证很高的工艺重复性和稳定性，简化了工人操作，提升生产效率。和自动化的耦合设备相比，错位叠层式光路模块的装调具备更多的灵活性，比自动化设备耦合效率更高，并且实现了错位叠层式半导体激光器的批量化生产，提高了多管芯半导体激光器的空间利用率，解决了不同多管芯产品之间产品组件通用性问题，减少产品在开发和生产过程中的成本。

附图说明

图1是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例一的结构示意图；

图2是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例一的俯视图；

图3是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例二的结构示意图；

图4是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例二的俯视图；

图5是本实用新型实施例中的多管芯半导体激光器中台阶形底板的结构示意图；

图6是本实用新型实施例中的多管芯半导体激光器的结构示意图；

图7是本实用新型实施例中的多管芯半导体激光器的俯视图；

图中：错位叠层式光路模块100、200；热沉模块101、201；带辅助热沉的半导体激光芯片CoS102、202；快轴准直透镜103、203；慢轴准直透镜104、204；第一级台阶105、205；第二级台阶106、206；第三级台阶107、207；第一侧边条108、208；第二侧边条109、209；矩形凸台110；沉孔112、212；电极引线113、213；第二矩形凸台210；第一矩形凸台211；台阶形底板300；固定孔301；反射镜401；耦合镜402；耦合光纤403。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

本实用新型公开了一种错位叠层式光路模块，包括：一个热沉模块和N个光路单元，其中N为大于或等于2的正整数；N个光路单元依次为第一光路单元至第N光路单元；每个光路单元包括一个带辅助热沉的半导体激光芯片CoS、一个快轴准直透镜和一个慢轴准直透镜；热沉模块的一面呈N+1级台阶状，从高到低依次为第一级台阶至第N+1级台阶；第i个光路单元的CoS固定在第i级台阶上；第i个光路单元的慢轴准直透镜固定在第i+1级台阶上，其中i从1至N；每个光路单元中的快轴准直透镜分别固定在各自光路单元中CoS的前端，CoS的前端为CoS输出光束的那一端每个光路单元中的CoS的输出光束的光轴、快轴准直透镜的光轴和慢轴准直透镜的光轴在同一条直线上；每个光路单元中的CoS的输出光束只通过光路单元自身的慢轴准直透镜；相邻两个CoS的输出光束的光轴相互平行，且不在同一垂直平面内；每个光路单元中的CoS的输出光束经过快轴准直透镜后的光束在垂直方向上的宽度相等。

现以当N＝2时，即一种错位叠层式光路模块，包括：一个热沉模块和两个光路单元的实施例，作进一步详细描述。

错位叠层式光路模块实施例一

图1是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例一的结构示意图；图2是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例一的俯视图。如图1和图2所示，本实用新型实施例一公开了一种错位叠层式光路模块100，包括：一个热沉模块101和两个光路单元；两个光路单元分别为第一光路单元和第二光路单元；每个光路单元包括一个带辅助热沉的半导体激光芯片CoS102、一个快轴准直透镜103和一个慢轴准直透镜104。热沉模块101的一面呈三级台阶状，从高到低依次为第一级台阶105、第二级台阶106和第三级台阶107，这样设置可以方便光学元件的安装和避免不同光路单元中的光束之间产生干涉，并且有利于散热，每阶台阶的宽度可以根据各个光学元件的几何尺寸和它们在台阶上的安装位置确定，台阶之间的高度差还要根据具体的情况来确定，以确保两个光路单元中的光学元件之间不会产生干扰，如某个光路单元中的CoS的输出光束不能被某个光元件所遮挡。

第一光路单元的CoS102固定在第一级台阶105上，第一光路单元的慢轴准直透镜104固定在第二级台阶106上；第二光路单元的CoS102固定在第二级台阶106上，第二光路单元的慢轴准直透镜104固定在第三级台阶107上。

第一级台阶上105设置有一个侧边条，为第一侧边条108，侧边条为条状突起。第一光路单元中的CoS102通过第一侧边108条定位固定在第一级台阶105上；第二级台阶106上设置有矩形凸台110，矩形凸台110上设置有一个侧边条，为第二侧边条109；第二光路单元中的CoS102通过第二侧边条109定位固定在第二级台阶106的矩形凸台110上；第一光路单元中的慢轴准直透镜104设置在矩形凸台110和第三级台阶107之间，即第一光路单元中的慢轴准直透镜104位于第二光路单元中的CoS102和第二光路单元中的慢轴准直透镜104之间。

热沉模块101上设置有两个沉孔112，其中一个设置在第一级台阶105上，另一个设置在第二级台阶106上，用于将错位叠层式光路模块100固定到多管芯半导体激光器中的台阶形底板上。

每个光路单元中的快轴准直透镜103分别固定在各自光路单元中CoS102的前端，CoS102的前端为CoS102输出光束的那一端；每个光路单元中的CoS102的输出光束只通过光路单元自身的慢轴准直透镜；每个光路单元中的快轴准直透镜103和慢轴准直透镜104都只设置在该光路单元自身的CoS102的输出光束的传播路径上，可以通过选择合适尺寸的慢轴准直透镜来保证不会挡住其它光路单元的光束。安装CoS102、快轴准直透镜103和慢轴准直透镜104时，可以通过微调架，使每个光路单元中的CoS102的输出光束的光轴、快轴准直透镜的光轴和慢轴准直透镜的光轴在同一条直线上，这样可以避免光学元件的离轴引入光学相差，造成光束质量下降，影响后续的耦合效率。第二光路单元中的CoS102的输出光束的光轴平行于第一光路单元中的CoS102的输出光束的光轴，且不在同一垂直平面内，第一光路单元中的CoS102和第二光路单元中的CoS102在水平方向上的距离和垂直方向上的距离要保证第一光路单元中的CoS102的输出光束不能被第二光路单元中的CoS102上的电极引线113遮挡，本实用新型通过调整两个光路单元在垂直方向的高度差和水平方向上错开的距离，保证每光路单元中的CoS102发出的光束彼此不干涉，大幅度减少错位叠层式光路模块在直水平方向上的高度，大大提高了空间利用率。

错位叠层式光路模块实施例二

图3是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例二的结构示意图；图4是本实用新型中的错位叠层式光路模块实施例二的俯视图。如图3和图4所示，本实用新型实施例

实施例二公开了一种错位叠层式光路模块200，包括：一个热沉模块201和两个光路单元；两个光路单元分别为第一光路单元和第二光路单元。每个光路单元包括一个带辅助热沉的半导体激光芯片CoS202、一个快轴准直透镜203和一个慢轴准直透镜204；热沉模块201的一面呈三级台阶状，从高到低依次为第一级台阶205、第二级台阶206和第三级台阶207，本实用新型实施例二中台阶的作用和台阶的具体设计原则和实施例一中的相同。

第一光路单元的CoS202固定在第一级台阶205上；第一光路单元的慢轴准直透镜204固定在第二级台阶206上；第二光路单元的CoS202固定在第二级台阶206上；第二光路单元的慢轴准直透镜204固定在第三级台阶207上。

第一级台阶205上设置有矩形凸台，为第一矩形凸台211，第一矩形凸台211上设置有一个侧边条，为第一侧边条208；第一光路单元中的CoS202通过第一侧边条208定位固定在第一级台阶205的第一矩形凸台211上。

第二级台阶上212设置有矩形凸台，为第二矩形凸台210，第二矩形凸台210上设置有一个侧边条，为第二侧边条209；第二光路单元中的CoS202通过第二侧边条209定位固定在第二级台阶206的第二矩形凸台210上。

第一光路单元中的慢轴准直透镜204设置在第一级台阶205和第二矩形凸台210之间，即即第一光路单元中的慢轴准直透镜204位于第一光路单元中的CoS202和第二光路单元中的CoS202之间。

热沉模块201上设置有两个沉孔212，其中一个设置在第一级台阶205上，另一个设置在第二级台阶206上，用于将所述错位叠层式光路模块200固定到多管芯半导体激光器中的台阶形底板上。

本实用新型实施例二的每个光路单元中的快轴准直透镜的固定位置与本实用新型实施例一中快轴准直透镜的固定位置相同。

本实用新型实施例二中每个光路单元中的CoS、快轴准直透镜和慢轴准直透镜的具体的安装方式和安装要求与本实用新型实施例一中的相同。

本实用新型实施例二中第一光路单元中的CoS202和第二光路单元中的CoS202在水平方向上的距离和垂直方向上的距离也要保证第一光路单元中的CoS202的输出光束不能被第二光路单元中的CoS202上的电极引线213遮挡。

在本实用新型实施例二中，为了节约慢轴准直透镜的成本，第一光路单元的慢轴准直透镜204还以固定在第一级台阶205上。

本实用新型实施例一和实施例二中的侧边条为突起的矩形条，具体的尺寸根据具体的情况确定，两个沉孔的具体位置也可以根据实际情况来决定。本实用新型实施例一和实施二例中的错位叠层式光路模块还包括体布拉格光栅、热敏电阻、防反片中的一种或多种；热沉模块可以采用高导热率金属制成。

本实用新型实施例一和实施例二中主要的区别是调换第一光路单元中的慢轴准直透镜和第二光路单元的CoS的相对位置，从而变换出多种结构，提高了空间利用率。本实用新型实施例一和实施例二还可以增加台阶的级数，设置更多的光路单元，使每个光路单元在垂直方向和水平方向相互交错分布。

以下进一步具体描述包括7个错位叠层式光路模块的多管芯半导体激光器的实施例。

多管芯半导体激光器实施例

图5是本实用新型实施例中的多管芯半导体激光器中台阶形底板的结构示意图，图6是本实用新型实施例中的多管芯半导体激光器的结构示意图，图7是本实用新型实施例中的多管芯半导体激光器的俯视图。如图5—7所示，本实用新型实施例公开了一种多管芯半导体激光器，包括：台阶形底板300和7个错位叠层式光路模块100；7个错位叠层式光路模块100分别以螺纹连接的方式固定在台阶形底板300的不同台阶上。每个固定有错位叠层式光路模块100的台阶上设置有至两个固定孔301，用于固定错位叠层式光路模块，两个固定孔都为螺纹孔；每个错位叠层式光路模块上的两个沉孔112与每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上的两个固定孔301的位置相对应。

台阶形底板300中所有相邻两个台阶的高度差都相等；台阶形底板300中相邻两个台阶的高度差为第一高度差与第一宽度之和；其中：第一高度差为每个错位叠层式光路模块中第一光路单元中的CoS102和第二光路单元中的CoS102的高度差；第一宽度为一个CoS102的输出光束经过快轴准直透镜后的光束在垂直方向上的宽度。

多管芯半导体激光器，还包括：多个反射镜401、一个耦合镜402和一条耦合光纤403；每个错位叠层式光路模块100与两个反射镜401相对应，且与每个错位叠层式光路模块100相对应的两个反射镜401沿对应错位叠层式光路模块中CoS102的输出光束的传播方向分别依次垂直固定在对应错位叠层式光路模块100所在的台阶上，且两个反射镜401的高度逐渐增高，每个反射镜401的反射面和与之相对应的错位叠层式光路模块100上的快轴准直透镜的光轴和慢轴准直透镜的光轴所在的直线所成的夹角为45°，用于将对应错位叠层式光路模块100上的每个光路单元中的CoS102的输出光束反射至耦合镜402的入射面；为保证每个错位叠层式光路模块100中的两条光束都由各自对应的反射镜401进行反射，反射镜401的高度要根据实际情况来确定。

耦合光纤403位于耦合镜402的出射面所在的一侧，且耦合镜402的轴线与耦合光纤403的轴线位于同一直线上。

为了保证良好的散热性，台阶形底板300可以采用高导热率金属制成，例如：铜。

本实用新型的另一个实施例中，多管芯半导体激光器的台阶形底板还可根据实施例二中的错位叠层式光路模块200的具体尺寸来设计台阶形底板中台阶的高度和固定孔的位置，并将实施例二中的多个错位叠层式光路模块200分别固定安装在台阶上，组装成多管芯半导体激光器。每个错位叠层式光路模块200与两个反射镜相对应。相对应的两个反射镜的高度和位置关系与包括错位叠层式光路模块100的多管芯半导体激光器实施例确定的方法相同。

综上所述，本实用新型通过将CoS、快轴准直透镜和慢轴准直透镜集成在同一热沉模块上，组成错位叠层式光路模块，从而实现了多个光路的模块化，在装调过程中可以保证很高的工艺重复性和稳定性。通过调整错位叠层式光路模块中光路单元之间在垂直方向的高度差和水平方向上错开的距离，充分利用了有效空间，实现了多芯片半导体激光器的批量化生产，提高了多管芯半导体激光器的空间利用率，解决了不同多芯片产品之间多芯片产品组件通用性问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种错位叠层式光路模块，其特征在于，包括：一个热沉模块和N个光路单元，其中N为大于等于2的正整数；所述N个光路单元依次为第一光路单元至第N光路单元； 

每个光路单元包括一个带辅助热沉的半导体激光芯片CoS、一个快轴准直透镜和一个慢轴准直透镜； 

所述热沉模块的一面呈N+1级台阶状，从高到低依次为第一级台阶至第N+1级台阶； 

第i个光路单元的CoS固定在第i级台阶上；第i个光路单元的慢轴准直透镜固定在第i+1级台阶上，其中i从1至N； 

每个光路单元中的快轴准直透镜分别固定在各自光路单元中CoS的前端，所述CoS的前端为CoS输出光束的那一端； 

每个光路单元中的CoS的输出光束的光轴、快轴准直透镜的光轴和慢轴准直透镜的光轴在同一条直线上； 

每个光路单元中的CoS的输出光束只通过光路单元自身的慢轴准直透镜； 

相邻两个CoS的输出光束的光轴相互平行，且不在同一垂直平面内。 

2.根据权利要求1所述的错位叠层式光路模块，其特征在于，当N＝2时，所述的错位叠层式光路模块包括两个光路单元；所述的两个光路单元分别为第一光路单元和第二光路单元；所述热沉模块的一面呈三级台阶状，从高到低依次为第一级台阶、第二级台阶和第三级台阶； 

所述第一光路单元的CoS固定在所述第一级台阶上；所述第一光路单元的慢轴准直透镜固定在所述第二级台阶上；所述第二光路单元的CoS固定在所述第二级台阶上；所述第二光路单元的慢轴准直透镜固定在所述第三级台阶上； 

所述第二光路单元中的CoS的输出光束的光轴平行于所述第一光路单元中的CoS的输出光束的光轴，且不在同一垂直平面内。 

3.根据权利要求2所述的错位叠层式光路模块，其特征在于，所述热沉 模块上设置有两个沉孔，用于将所述错位叠层式光路模块固定到多管芯半导体激光器的台阶形底板上。 

4.根据权利要求3所述的错位叠层式光路模块，其特征在于， 

所述第一级台阶上设置有一个侧边条，为第一侧边条； 

所述第一光路单元中的CoS通过所述第一侧边条定位固定在所述第一级台阶上； 

所述第二级台阶上设置有矩形凸台； 

所述矩形凸台上设置有一个侧边条，为第二侧边条； 

所述第二光路单元中的CoS通过所述第二侧边条定位固定在所述第二级台阶的矩形凸台上； 

所述第一光路单元中的慢轴准直透镜设置在所述矩形凸台和第三级台阶之间； 

所述的两个沉孔，一个设置在第一级台阶上，另一个设置在第二级台阶上。 

5.根据权利要求3所述的错位叠层式光路模块，其特征在于， 

所述第一级台阶上设置有矩形凸台，为第一矩形凸台； 

所述第一矩形凸台上设置有一个侧边条，为第一侧边条； 

所述第一光路单元中的CoS通过所述第一侧边条定位固定在所述第一级台阶的第一矩形凸台上； 

所述第二级台阶上设置有矩形凸台，为第二矩形凸台； 

所述第二矩形凸台上设置有一个侧边条，为第二侧边条； 

所述第二光路单元中的CoS通过所述第二侧边条定位固定在所述第二级台阶的第二矩形凸台上； 

所述第一光路单元中的慢轴准直透镜设置在所述第一级台阶和所述第二矩形凸台之间； 

所述的两个沉孔，一个设置在第一级台阶上，另一个设置在第二级台阶上。 

6.根据权利要求1-5中任一所述的错位叠层式光路模块，其特征在于，所述错位叠层式光路模块还包括体布拉格光栅、热敏电阻、防反片中的一种或多种；所述热沉模块采用高导热率金属制成。 

7.一种多管芯半导体激光器，其特征在于，包括：台阶形底板和多个如权利要求3-5中任一所述的错位叠层式光路模块； 

多个错位叠层式光路模块分别固定在台阶形底板的不同台阶上，每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上设置有至少两个固定孔，用于固定错位叠层式光路模块。 

8.根据权利要求7所述的多管芯半导体激光器，其特征在于，所述台阶形底板采用高导热率金属制成，所述台阶形底板中相邻两个台阶的高度差为第一高度差与第一宽度之和；其中： 

所述第一高度差为每个错位叠层式光路模块中第一光路单元中的CoS和第二光路单元中的CoS的高度差； 

所述第一宽度为CoS的输出光束经过快轴准直透镜后的光束在垂直方向上的宽度。 

9.根据权利要求8所述的多管芯半导体激光器，其特征在于，所述每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上设置有两个固定孔，所述两个固定孔都为螺纹孔；每个错位叠层式光路模块上的两个沉孔与每个固定有错位叠层式光路模块的台阶上的两个固定孔的位置相对应； 

所述多个错位叠层式光路模块分别以螺纹连接的方式固定在台阶形底板的台阶上。 

10.根据权利要求9所述的多管芯半导体激光器，其特征在于，还包括：多个反射镜、一个耦合镜和一条耦合光纤； 

每个错位叠层式光路模块与两个反射镜相对应，且与每个错位叠层式光路模块相对应的两个反射镜沿对应错位叠层式光路模块中CoS的输出光束的传播方向分别依次垂直固定在所述对应错位叠层式光路模块所在的台阶上，且两个反射镜的高度逐渐增高，用于将所述对应错位叠层式光路模块上的每 个光路单元中的CoS的输出光束反射至耦合镜的入射面； 

所述耦合光纤位于所述耦合镜的出射面所在的一侧，且所述耦合镜的轴线与所述耦合光纤的轴线位于同一直线上。