CN203910772U - 晶圆承盘结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆承盘结构，包括：承盘本体，具有一顶端面板及一底端面板，在顶端面板成型有一承载槽，承载槽用以供晶圆容置，在底端面板成型有至少一连通贯孔，连通贯孔与承载槽连通，每一连通贯孔供复数推杆通过，各推杆用以推抵晶圆，使晶圆离开承盘本体。本是实用新型能在不影响晶圆于承盘内的放置及定位的前提下，使复数个推杆同时通过一连通贯孔，能降低承盘在成型时的困难度；此外，通过复数个推杆穿过连通贯孔后推抵晶圆，辅助晶圆离承盘本体，能使晶圆能轻易地被取出。

Description

晶圆承盘结构

技术领域

本实用新型涉及一种电子组件的承盘结构，特别是涉及一种晶圆承盘结构。

背景技术

随着高科技制造产业的发展，晶圆在运送的过程中大多依赖自动化输送系统来运送。而在晶圆的制造流程或搬运过程中，通常是将晶圆容置于一承盘的容槽内，通过承盘来防止晶圆受到外力撞击而受到损伤。

在将承盘连同晶圆运送至定位后，要将晶圆取出时，现有大多是系自承盘上方的开口将晶圆自承盘内取出。然而，承盘为了确保芯片即晶圆能够平稳置放，其容槽会尽可能地设计成与晶圆的形状大小相符，也因此，往往使得晶圆不易取出，特别是承盘上的水气、静电或制造过程中剩余的残胶，将使得芯片与承盘的表面吸附，不但使得晶圆不易取出，甚至于取出时易造成晶圆背面损伤或其他缺陷。因此，如何使承盘在保持具有固定晶圆位置及防止晶圆刮伤的前提下，使晶圆易于从承盘中取出，成为业者急欲改良的重点。

因此，有业者开发出于承盘的容槽内预先开设复数孔洞，当承盘连同晶圆运送至定位后，自各孔洞内分别穿设一推柱，藉此通过所述推柱将晶圆推抵出容槽者。

然而，此类承盘必须针对每一推柱均开设孔洞，故结构较为复杂，成型困难，且各孔洞若太小会妨碍推柱通过，孔洞若太大则会影响晶圆的置放定位。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶圆承盘结构，结构简单易于成型，能在不影响晶圆于承盘内的放置及定位的前提下，在晶圆通过承盘运送至定位后，使晶圆能轻易地被取出。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶圆承盘结构包括：

承盘本体，具有一顶端面板及一底端面板，所述承盘本体于所述顶端面板成型有一承载槽，所述承载槽用以供晶圆容置，所述承盘本体于底端面板成型有至少一连通贯孔，所述连通贯孔与所述承载槽连通，每一所述连通贯孔供复数推杆通过，各所述推杆用以推抵所述晶圆，使所述晶圆离开所述承盘本体。

进一步的改进是，从所述顶端面板往所述底端面板的方向上观察，所述承载槽为四角形，并于其角端均成型有一让槽。

进一步的改进是，所述承载槽具有一上侧面、一下侧面及连接所述上侧面及所述下侧面的二连接侧面；所述承盘本体的所述底端面板上成型有一贯孔，所述贯孔位于邻近所述上侧面处并与所述承载槽连通，所述贯孔仅供一推杆通过；所述连通贯孔的数量为二，每一个所述承载槽的所述连接侧面底部都形成有一个所述连通贯孔，各所述连通贯孔分布在所对应的所述连接侧面内侧和所述承载槽连通。

进一步的改进是，所述连通贯孔包括一连通部及一缓冲部，所述连通部与所述承载槽连通，所述缓冲部则受所对应的所述承载槽的所述连接侧面遮挡而不与所述承载槽连通。

进一步的改进是，从所述底端面板到所述顶端面板的方向上，所述贯孔的尺寸逐渐缩小，所述贯孔的侧面为倾斜结构。

进一步的改进是，所述承载槽具有一上侧面、一下侧面及连接所述上侧面及所述下侧面的二连接侧面；从所述顶端面板到所述底端面板的方向上，所述承载槽的尺寸逐渐缩小，所述上侧面、所述下侧面及所述二连接侧面均为倾斜结构。

进一步的改进是，从所述底端面板到所述顶端面板的方向上，所述连通贯孔的尺寸逐渐缩小，所述连通贯孔的侧面为倾斜结构。

进一步的改进是，从所述底端面板往所述顶端面板的方向上观察所述连通贯孔呈长条形，且供三推杆并排地通过。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过连通贯孔的设置，每一连通贯孔都是供复数个推杆同时通过，所以本实用新型结构简单、易于成型，能降低承盘在成型时的困难度，且不影响晶圆在承盘内的放置及定位。

本实用新型通过复数个推杆穿过连通贯孔后推抵晶圆，辅助晶圆离承盘本体，使晶圆能轻易地被取出。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是本实用新型实施例的立体图；

图2是本实用新型实施例的前视图；

图3是本实用新型实施例的后视图；

图4是沿图2的虚线44处的剖视图；

图5是图2的使用状态的局部放大图；

图6是沿图5的虚线66处的剖视图。

具体实施方式

如图1至图6所示，本实用新型实施例晶圆承盘结构，包括：

承盘本体20，具有一顶端面板201及一底端面板202；

一承载槽30，成型于所述承盘本体20的顶端面板201，所述承载槽30用以供晶圆70容置，且所述承载槽30的大小为大于或等于所述晶圆70的大小。

本发明实施例中，从所述顶端面板往所述底端面板的方向上观察，所述承载槽30为四角形，但不做限定；所述承载槽30的外观形状可配合预定置放的晶圆70形状而有所不同，所述承载槽30具有一上侧面31、一下侧面32及连接所述上侧面31及所述下侧面32的二连接侧面33，所述承载槽30自槽顶至槽底为渐缩也即从所述顶端面板到所述底端面板的方向上所述承载槽的尺寸逐渐缩小，所述上侧面31、所述下侧面32及所述二连接侧面33均为倾斜结构，使得所述承载槽30的槽口较宽敞而槽底较窄小，这样会便于晶圆70放置定位，且易于成型，所述承载槽30于其角端均成型有一圆形的让槽34。

一连通贯孔40，成型于所述承盘本体20的底端面板202，所述连通贯孔40与所述承载槽30相连通，每一连通贯孔40供复数推杆72通过，各所述推杆72用以推抵所述晶圆70，使所述晶圆70离开所述承盘本体20。本实用新型实施例中，所述连通贯孔40的数量为二，且所述二连通贯孔40分别与所述承载槽30的二连接侧面33连通，也即每一个所述承载槽30的所述连接侧面33底部都形成有一个所述连通贯孔40、各所述连通贯孔40分别在所对应的所述连接侧面33内侧和所述承载槽30连通。所述连通贯孔40包括一连通部41及一缓冲部42，所述连通部41与所述承载槽30连通，所述缓冲部42则受所述承载槽30的连接侧面33遮挡而不与所述承载槽30连通，所述连通贯孔40自其外端至内端为渐缩也即从所述底端面板到所述顶端面板的方向上所述连通贯孔的尺寸逐渐缩小，所述连通贯孔40的侧面为倾斜结构，这样会便于推杆72定位，且易于成型；从所述底端面板往所述顶端面板的方向上观察所述连通贯孔40为长条形，且供三推杆72连成一直线地并排通过，所述连通贯孔40能根据实际使用需求的不同而有不同的态样，例如呈「形。

一贯孔35，成型于所述承盘本体20的底端面板202上，所述贯孔35仅供一推杆72通过。本实用新型实施例中，所述贯孔35位于邻近所述上侧面31处并与所述承载槽30连通。所述贯孔35自其外端至内端系为渐缩即从所述底端面板到所述顶端面板的方向上所述贯孔的尺寸逐渐缩小，使所述贯孔的侧面为倾斜结构，这样会便于推杆72定位，且易于成型。

以上所述为本实用新型实施例主要构件及其组态说明。至于本实用新型实施例的使用方式及功效，请参阅图5及图6并配合图1至图4，可看出，所述贯孔35仅供一推杆72通过，而所述二连通贯孔40则能同时供三推杆72通过，所以能通过复数推杆72将晶圆70推顶，使晶圆70离开承盘本体20。此外，由于本实用新型并未特别变更承载槽30的结构，故不会影响晶圆70于承载槽30内的放置及定位。

以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆承盘结构，其特征在于，包括：

承盘本体，具有一顶端面板及一底端面板，所述承盘本体于所述顶端面板成型有一承载槽，所述承载槽用以供晶圆容置，所述承盘本体于底端面板成型有至少一连通贯孔，所述连通贯孔与所述承载槽连通，每一所述连通贯孔供复数推杆通过，各所述推杆用以推抵所述晶圆，使所述晶圆离开所述承盘本体。

2.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：从所述顶端面板往所述底端面板的方向上观察，所述承载槽为四角形，并于其角端均成型有一让槽。

3.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：所述承载槽具有一上侧面、一下侧面及连接所述上侧面及所述下侧面的二连接侧面；

所述承盘本体的所述底端面板上成型有一贯孔，所述贯孔位于邻近所述上侧面处并与所述承载槽连通，所述贯孔仅供一推杆通过；

所述连通贯孔的数量为二，每一个所述承载槽的所述连接侧面底部都形成有一个所述连通贯孔，各所述连通贯孔分布在所对应的所述连接侧面内侧和所述承载槽连通。

4.如权利要求3所述的晶圆承盘结构，其特征在于：所述连通贯孔包括一连通部及一缓冲部，所述连通部与所述承载槽连通，所述缓冲部则受所对应的所述承载槽的所述连接侧面遮挡而不与所述承载槽连通。

5.如权利要求3所述的晶圆承盘结构，其特征在于：从所述底端面板到所述顶端面板的方向上，所述贯孔的尺寸逐渐缩小，所述贯孔的侧面为倾斜结构。

6.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：所述承载槽具有一上侧面、一下侧面及连接所述上侧面及所述下侧面的二连接侧面；

从所述顶端面板到所述底端面板的方向上，所述承载槽的尺寸逐渐缩小，所述上侧面、所述下侧面及所述二连接侧面均为倾斜结构。

7.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：从所述底端面板到所述顶端面板的方向上，所述连通贯孔的尺寸逐渐缩小，所述连通贯孔的侧面为倾斜结构。

8.如权利要求1所述的晶圆承盘结构，其特征在于：从所述底端面板往所述顶端面板的方向上观察所述连通贯孔呈长条形，且供三推杆并排地通过。