CN203799128U - 二维角度选择激光滤波器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种二维角度选择激光滤波器,包括用于对入射光进行第一次衍射的第一体布拉格光栅以及对从所述第一体布拉格光栅出射的衍射光进行第二次衍射的第二体布拉格光栅,所述第一体布拉格光栅与第二体布拉格光栅的光栅矢量相互正交。本实用新型的二维角度选择激光滤波器根本不同于使用透镜和针孔的传统空间滤波器,直接在激光传输近场实现高质量的空间滤波;结构紧凑;实现对各光谱成分优秀的低通滤波能力;可承载的激光功率较高。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学滤波技术领域,特别是涉及一种兼具角度选择滤波能力和低频损耗率的二维角度选择激光滤波器。
背景技术
先进激光装置的总体设计及建设过程中的诸多边界条件直接限制了其输出能力。其一,先进激光装置的“功率受限条件”;其二,先进激光装置的能量受限条件,即装置在长脉冲(≥3ns)工作条件下的光学元件的损伤阈值。一个实际光束的光强分布不可能是完全均匀和光滑的,总是或多或少地带有无规则的调制和起伏。通常在光束总体发生自聚焦之前,由于在这些调制和起伏处各自形成了一些小的自感应透镜,这些调制和起伏使光束发生了局部的自聚焦,这种小尺度自聚焦(Small-scale self-focusing)的对装置的危害程度远大于整体光束的自聚焦,并造成光束分裂、导致介质的光束成丝、光谱超加宽等效应。
在先进激光装置中,空间滤波器是必不可少的关键器件。基于傅里叶变换原理的传统空间滤波器(“4f”系统)是最常用的滤波器。它首先对光束聚焦,利用透镜的傅里叶变换作用分开激光中不同的空间频率成分,空间频率高的发散角大,然后利用针孔(或单模光纤)选取所需的角谱分量,去除有害光噪音。聚焦光斑大小由透镜焦距、入射光波长口径、波长以及发散角决定,针孔直径控制滤波的程度,实现低通空间滤波。但是,传统空间滤波器在先进激光装置中的应用中具有极大的局限性:除了准直困难,造价高昂外,高功率激光聚焦可能会产生“堵孔效用”甚至损坏并产生一个新的针孔,在外光路中亦可使空气电离,影响光束质量,甚至破坏激光系统;还有聚焦后 非线性效应的增长等。
针对下一代先进激光装置,拟采用全新的光束传输控制技术取代传统的空间滤波技术。体布拉格光栅由于其具有优秀的角度和光谱选择性,对光束传输和空间滤波技术具有革命性的意义。基于体布拉格光栅的二维角度选择激光滤波技术不同于传统的空间滤波技术,由于直接在强激光束近场实施空间滤波,省去了聚焦过程,因此传统空间滤波的诸多固有缺陷得到根本解决。同时可以有效地消除中高频调制对光束的影响、降低传统空间滤波器的截止频率和低频损耗率,有效控制放大自发辐射的传输以及激光的近场光束分布,极大地提高系统的可靠性,降低装置的体积和成本,是当今先进激光技术发展的主要单元技术之一,对于促进先进激光技术的发展具有重要的意义。
国内可见一种体全息光栅整形装置,其用途是对超短脉冲激光束进行整形(中国专利200610024096.0);可见一种窄带光滤波器,由一块透射式体布拉格光栅和一块反射式体布拉格光栅组合而成的公开专利报道(中国专利200910089834.3),获得皮米量级激光输出;可见一种高功率激光衍射型空间滤波器,使用了分离式体积布拉格光栅或双片集成式光栅的公开专利报道(中国专利200910312157.7)。可见一种超短脉冲激光滤波装置,由同光轴依次设置的第一1/4波片、第一正透镜、小孔光阑、非线性正色散透明固体材料、第二正透镜、第二1/4波片和检偏器构成,所述非线性正色散透明固体材料为BK7玻璃的公开专利报道(中国专利200710038661.3)。可见国防科技大学光电科学与工程学院郑光威等人发表的公开文献报道(郑光威,何焰蓝等,“透射型体相位光栅对连续激光束的空间低通滤波”,《光学学报》,2009年29卷第4期;郑光威,刘莉等,“透射型体光栅对超短脉冲高斯光束衍射特性研究”,《光学学报》,2009年29卷第1期;郑光威,谭吉春等,“反射型体光栅对超短脉冲高斯光束衍射特性分析”,《光学学报》,2009年第12期)研究了体相位光栅对激光的衍射特性,这与应用体光栅制作成滤波器有关联性;可 见用于实现空间滤波的体布拉格光栅的制备,用全息法在光致聚合物中记录了体布拉格光栅,完成了激光光束二维空间低通滤波的实验的公开文献报道(郑浩斌,何焰蓝等,“用于实现空间滤波的体布拉格光栅的制备”,《光电工程》,2009年第1期)。
因此,针对上述技术问题,有必要提供一种二维角度选择激光滤波器。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的是针对现有的传统空间滤波器截止频率难以降低,易发生堵孔效应、反馈以及光路偏移等局限性,提供一种兼具低截止频率和低频损耗率的二维角度选择激光滤波器,在光束近场直接实现高质量的空间滤波。
为了实现上述目的,本实用新型实施例提供的技术方案如下:
一种二维角度选择激光滤波器,所述二维角度选择激光滤波器包括用于对入射光进行第一次衍射的第一体布拉格光栅以及对从所述第一体布拉格光栅出射的衍射光进行第二次衍射的第二体布拉格光栅,所述第一体布拉格光栅与第二体布拉格光栅的光栅矢量相互正交。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅均为透射型光栅,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅为位相型体布拉格光栅。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅为均匀周期体光栅。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅为双块组合式透射型位体布拉格光栅。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅均由两块光栅栅纹正交的子体光栅组合而成。
作为本实用新型的进一步改进,所述两块子体光栅的光栅厚度或周期不同。
作为本实用新型的进一步改进,所述两块子体光栅的光栅厚度或周期相同。
本实用新型具有以下有益效果:
1、本实用新型使用体布拉格光栅的良好的角度选择性,在强激光传输近场直接实现空间滤波,从根本上解决了传统空间滤波器“堵孔效应”、光路偏移等固有局限性;
2、本实用新型中,体布拉格光栅的角度选择性可通过选择光栅参数(厚度,周期,光栅矢量倾斜角和光栅折射率调制度)精确控制,意味着相比于传统空间滤波器可以获得更低的截止频率,提高滤波能力。针对不同的目标波长,截止频率小于1mm-1;
3、本实用新型中采用的体布拉格光栅峰值衍射效率大于98%,对目标光束中的低频成分损耗小,相比于传统空间滤波器,可有效降低频损耗率。
4、本实用新型中采用光致热敏折射率玻璃制备的体布拉格光栅热稳定性好,对可见光至近红外波段的高透过率,可承载的激光功率较高,光栅器件损伤阈值大于20J/cm2(5-10ns);
5、在本实用新型的二维角度选择激光滤波器相比于传统空间滤波器结构简单、紧凑,准直方便,低成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其 他的附图。
图1为本实用新型一具体实施例中二维角度选择激光滤波器的结构示意图;
图2为二维角度选择激光滤波器的滤波前后光束近场剖面曲线(光束中空间调制为2mm-1,4mm-1,6mm-1……);
图3为二维角度选择激光滤波器的滤波前后光束的PSD曲线(光束中空间调制为2mm-1,4mm-1,6mm-1……);
图4为二维角度选择激光滤波器的滤波前后光束的PSD曲线(光束中空间调制为3mm-1,6mm-1,9mm-1……);
图5为体布拉格光栅内的光波矢量关系示意图。
具体实施方式
下面结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了一种通过体布拉格光栅优秀的角度选择特性,构成在激光传输近场实现空间滤波的二维角度选择激光滤波器。本实用新型二维角度选择激光滤波器,有效解决了传统空间滤波器的诸多固有限制,同时突破了传统空间滤波器小孔对截止频率和低频损耗率的限制,结构简单,效率高。
在图1所示的本实用新型的二维角度选择激光滤波器的实施例的结构示意图中,二维角度选择激光滤波器包括第一体布拉格光栅1和第二体布拉格光栅2。第一体布拉格光栅1用于对入射光x方向进行第一次角度选择滤波;第二体布拉格光栅2用于对入射光y方向进行第二次角度选择滤波,第一体 布拉格光栅与第二体布拉格光栅的光栅矢量相互正交。
优选地,体布拉格光栅为透射型光栅,且为位相型体布拉格光栅。体布拉格光栅为均匀周期体光栅。体布拉格光栅为双块组合式透射型位体布拉格光栅,由两块光栅栅纹正交的子体光栅组合而成,两块子体光栅的光栅厚度或周期可以不同,光栅厚度或周期也可以相同。
体布拉格光栅均由光致热敏折射率玻璃制备而成,光致热敏折射率玻璃为掺杂有铈、银以及氟的硅酸盐玻璃。
第一体布拉格光栅1、第二体布拉格光栅2用作角度选择滤波元件具有优秀的角度、波长选择特性以及高的衍射效率,被认为是理想的光谱和角度选择器件,具有很高的可调性。入射角、衍射角、中心波长、角度(光谱)选择性等参数,可以通过改变光栅厚度、折射率调制度、光栅周期、光栅矢量倾斜角等光栅结构参数来调节。第一体布拉格光栅1、第二体布拉格光栅2优秀的光学性能主要表现在:
(1)角度选择达0.1~10mrad(透射型),或10~100mrad(反射型);
(2)光谱选择性达0.3~20nm(透射型),或0.01~10nm(反射型);
(3)衍射效率高,633nm到1550nm范围可达99%(透射型)或97%(反射型);
(4)损伤阈值高,对于1ns的YAG激光,损伤阈值可以达到7~10J/cm2,对于8~10ns的激光可达30~40J/cm2;
(5)损耗小,光栅损耗小于2.5%。
传统空间滤波器由于聚焦透镜面型、入射光发散角以及近场均匀性的限,难以获得足够理想的聚焦光斑,聚焦光斑普遍存在相当数量的裙边区域。在先进激光装置领域,裙边区域同样具有足够高的功率,当其与小孔边缘相互作用时产生的等离子体,会使得空间滤波器发生“堵孔效应”与反馈回射,同时会提高空间滤波器的低频损耗率,对整个激光系统造成极大的危害。通常为 了抑制所述现象的产生,空间滤波器的小孔直径取值较大,这使得无法获得理想的截止频率,降低空间滤波器的滤波能力。
体布拉格光栅角度滤波的原理:体布拉格光栅具有极好的角度选择性。当入射角偏离布拉格条件时,体布拉格光栅衍射效率迅速降低。正是由于这一特性,体布拉格光栅是角选择滤波技术中的关键元件。根据傅里叶光学,任意分布光束可展开为无数个不同传播方向的平面波的叠加。由于体布拉格光栅具有良好的角度敏感性和选择性,因此光束中不同的空间频率成分经过体布拉格光栅之后的衍射特性不同。中高频成分发散角偏离布拉格角大,几乎不能被体布拉格光栅衍射,因此在衍射光束中中高频成分基本被滤除。
详细分析如下:
由Kogelnik的耦合波理论,有吸收的位相型体布拉格光栅的衍射效率为:
其中负指数项为吸收因子,CR、CI为倾斜因子。
布拉格入射,所以参量Г=0;栅线倾斜,有CR≠CI。公式(1)中,
衍射效率公式化简为:
在吸收系数α0很小的情况下,假设则有:
设则
所以,
衍射效率:
其中, CR=cosψ, 各矢量关系如图5所示。
ψ为照明光波在介质中的入射角,φ为光栅矢量与z轴的夹角,光栅倾斜角为θ1,布拉格角θb=ψb+θ1。
因为, 故
考虑到实际光栅倾斜角很小,以532nm体光栅为例,其倾斜角为0.03°,若取近似:
sinθ1≈0,
则,
衍射效率公式(3)简化为:
其中,ψ=θb-θ1(定义布拉格入射时照明光波矢与光栅峰值强度面的夹角为布拉格角)。
公式(4)的约束条件:
由于入射体光栅的光束始终满足其布拉格条件,所以参量
即
若不取近似,衍射效率公式即为公式(3),公式中各参量的表达式在上文中陆续已有交代,现归纳如下:
其中,α0为吸收常数;δ为光栅厚度,n1为折射率调制度,λ为空气中的波长,ψ为光波在介质中的入射角,Λ为光栅周期,θ1为光栅倾斜角(相对于z轴)。由推导所得的衍射效率公式可以指导体光栅结构参数的设计,以实现所需的衍射带宽。
在本实用新型一实施例中,采用的第一体布拉格光栅1的光栅周期为0.96μm,平均折射率为1.49,折射率调制度为560ppm,光栅厚度为2.9mm,光栅矢量倾斜角为0.03°。第一体布拉格光栅1的光栅周期为0.96μm,平均折射率为1.49,折射率调制度为560ppm,光栅厚度为2.5mm,光栅矢量倾斜角为0.03°。
在入射光波长为532nm时第一体布拉格光栅1在入射角与布拉格角无偏移量(16.2°)时衍射效率峰值为97%,角度选择性的FWFZ(Full Width First Zero:第一零值全宽)约为1mrad。此第一体布拉格光栅1的参数为:布拉格波长532nm,光栅厚度2.9mm,光栅周期为0.96μm,光栅矢量倾斜角为0.03°。体布拉格光栅在x方向上具有极好的角选择特性,但在y方向上,由于完全 没有角选择特性,因此单块体光栅无法实现像传统空间滤波器一样的二维空间滤波。
将两块体布拉格光栅叠加放置,且光栅矢量相互垂直,构成二维角度选择激光滤波器。在入射光波长为532nm时第一体布拉格光栅1和第二体布拉格光栅2叠加后在x-y方向上均可实现高质量的角度选择特性。
二维角度选择激光滤波器滤波前后光束近场强度分布,原始光斑具有极好的均匀性,几乎没有空间调制。首先在x-y方向均对光束引入100%的深空间调制,在光束经过第一体布拉格光栅后,x方向上的调制被滤除。在光束经过第二体布拉格光栅后,x、y方向上的调制均被滤除。
图2所示为二维角度选择激光滤波器的滤波前后光束近场剖面曲线(光束中空间调制为2mm-1,4mm-1,6mm-1……)。图2(a)所示为x、y方向上原始均匀光束,可见原始光斑的空间分布非常均匀;图2(b)所示为在光束x、y轴上均由调制光栅引入大量100%的深空间调制;图2(c)所示为经过两块体布拉格光栅分别对光束中的x、y轴进行空间滤波后的光斑强度分布。可见,二维角选择滤波器可对光束进行极好的二维空间滤波。
二维角度选择激光滤波器的滤波前后光束远场分布(光束中空间调制为1mm-1~10mm-1),在均匀超高斯光束中引入丰富的频谱信息,在x和y方向均有大量复杂的空间频率分布。调制光束经过第一体布拉格光栅1之后,x方向上大量空间频率成分已经被滤除。调制光束经过第二体布拉格光栅2之后,x-y方向上大量空间频率成分均已经被滤。实现了高质量的二维空间滤波。
图3和图4为各光斑分布对应的功率谱密度函数曲线(PSD)。PSD是一种基于傅里叶变换的描述方法,它反映的是各频率分量的傅里叶频谱强度,可以对频谱成分进行定量分析。如图3(a)(b)所示,光束x和y轴上均存在大量的2mm-1、4mm-1和6mm-1特征频率。经过二维角度选择激光滤波器,调制光束在x-y轴方向上的各特征频率明显被滤除,只残留了少量的2mm-1 的空间频率,而4mm-1和6mm-1的空间频率均被完全滤除,如图7(c)(d)所示;如图4(a)(b)所示,光束x和y轴上均存在大量的3mm-1、6mm-1和9mm-1特征频率。经过二维角度选择激光滤波器,调制光束在x-y轴方向上的各特征频率明显被滤除,如图4(c)(d)所示。
参表1所示为二维角度选择激光滤波器滤波光束近场对比度与近场调制度。原始光束调制度为1.06、对比度为1.66%;经过2lp/mm和3lp/mm调制后光束调制度为3.67和3.39、对比度为119%和97%;调制光束经二维角选择滤波器滤波后光斑调制度为1.14和1.16,对比度为2.64%和2.93%。对于各种空间调制光束,经过光束经二维角选择激光滤波器滤波后近场调制度和对比度均提高数倍,光束近场质量满足先进激光装置的要求。
表1:
本实用新型的光束经二维角选择激光滤波器滤波后可实现更低的截止频率和低频损耗率,大大提升传统空间滤波器的滤波能力,有效克服传统空间滤波器固有的缺陷。针对不同目标波长,可通过选择所述第一体布拉格光栅1、第二体布拉格光栅2的结构参数设计,获得优秀的体布拉格光栅,实现各种二维角选择激光滤波器的实际应用。
作为本实用新型的二维角选择激光滤波器的优选实施例,第一体布拉格 光栅1、第二体布拉格光栅2均为透射型光栅,第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅均为位相型体布拉格光栅。透射型光栅可以很好的实现宽新型低截止频率空间滤波器并且位相型体布拉格光栅可以实现位相的调制。
作为本实用新型的二维角选择激光滤波器的优选实施例,第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅不是用普通全息材料(卤化物银感光乳液、二色性凝胶、感光性树脂等)制备的,这些材料在热处理过程中会收缩,对于湿度也很敏感,不能承受高功率激光辐照。本实用新型所用的体布拉格光栅1、2是以光致热敏折射率(Photo-Thermo-Refractive:PTR)玻璃为材料制备而成。PTR玻璃是目前制备体布拉格光栅的理想材料,其独特的光学特性主要表现在:
(1)工作波长范围400~2700nm,适合近紫外到近红外的各种应用;
(2)折射率调制度可达1200ppm;
(3)空间频率0~10000mm-1;
(4)热稳定性好,可达400℃,空间畸变小于10-4;
(5)表面激光破坏阈值高,达32~40J/cm2(脉宽8ns),或8~10J/cm2(脉宽1ns)。
本实施方式与现有空间滤波技术相比具有以下有益效果:
1、本实用新型使用体布拉格光栅的良好的角度选择性,在强激光传输近场直接实现空间滤波,从根本上解决了传统空间滤波器“堵孔效应”、光路偏移等固有局限性;
2、本实用新型中,体布拉格光栅的角度选择性可通过选择光栅参数(厚度,周期,光栅矢量倾斜角和光栅折射率调制度)精确控制,意味着相比于传统空间滤波器可以获得更低的截止频率,提高滤波能力。针对不同的目标波长,截止频率小于1mm-1;
3、本实用新型中采用的体布拉格光栅峰值衍射效率大于98%,对目标光 束中的低频成分损耗小,相比于传统空间滤波器,可有效降低频损耗率。
4、本实用新型中采用光致热敏折射率玻璃制备的体布拉格光栅热稳定性好,对可见光至近红外波段的高透过率,可承载的激光功率较高,光栅器件损伤阈值大于20J/cm2(5-10ns);
5、在本实用新型的二维角度选择激光滤波器相比于传统空间滤波器结构简单、紧凑,准直方便,低成本。
综上所述,本实用新型二维角选择激光滤波器具有以下有益效果:
1、采用体布拉格光栅作为角度选择元件,在光束传输近场直接实现高质量的空间滤波,有效解决传统空间滤波器诸多固有限制;
2、采用光致热敏折射率玻璃作为制备体光栅的材料,可承载的激光功率较高;
3、不改变入射光的偏振态;
4、插入损耗低,衍射效率高;
5、结构简单,容易实现;
6、稳定性好,抗干扰能力强。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也 可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述二维角度选择激光滤波器包括用于对入射光进行第一次衍射的第一体布拉格光栅以及对从所述第一体布拉格光栅出射的衍射光进行第二次衍射的第二体布拉格光栅,所述第一体布拉格光栅与第二体布拉格光栅的光栅矢量相互正交。
2.根据权利要求1所述的二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅均为透射型光栅,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅为位相型体布拉格光栅。
3.根据权利要求1所述的二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅为均匀周期体光栅。
4.根据权利要求1所述的二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅为双块组合式透射型位体布拉格光栅。
5.根据权利要求4所述的二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅均由两块光栅栅纹正交的子体光栅组合而成。
6.根据权利要求5所述的二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述两块子体光栅的光栅厚度或周期不同。
7.根据权利要求5所述的二维角度选择激光滤波器,其特征在于,所述两块子体光栅的光栅厚度或周期相同。
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CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
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Granted publication date: 20140827 Termination date: 20171129 |