CN203774356U - 一种带有菱形卡点的石墨舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有菱形卡点的石墨舟，它包括石墨舟、陶瓷杆、电池片槽和电极，其特征在于：它还包括：菱形块、凸块和石墨舟槽，所述的菱形块固设于凸块上形成菱形卡点，石墨舟上设有石墨舟槽，凸块与石墨舟槽通过配合连接的方式紧固。该带有菱形卡点的石墨舟在保持设备最小的变动前提下对石墨舟进行改造，达到提高产能并降低返工率的作用。

Description

一种带有菱形卡点的石墨舟

技术领域

本实用新型涉光一种硅基太阳能电池领域，具体是一种带有菱形卡点的石墨舟。

背景技术

氮化硅减反射膜的制备是太阳电池制作流程中一道重要的工序，工业化生产中通过改造石墨舟，增加舟片数量，即将舟片数量由19片增加到21片的方法达到扩大单舟产能的目的，目前，改造石墨舟的主要方法有2种，一种是使用圆形工艺卡点，维持舟片间距，即保持11mm不变，在原19片舟片的石墨舟外侧增加两片舟片，产能由每舟216片增加为240片，这种改造方法简单、易操作，但直接在石墨舟上加2片舟片，石墨舟整体变宽，并需要加高，导致不能满足机械手自动上下料，石墨舟在周转小车上易侧翻，而且增加的两片舟片距离炉管壁太近，使得沉积的氮化硅膜较中间舟片明显偏厚；另一种改造方法为使用原圆形工艺卡点，缩短石墨舟舟片间距为10mm，石墨舟整体大小与改造前相当，同时避免了最外侧舟片镀膜明显偏厚的现象。但使用这种改造方式的石墨舟会导致工艺卡点附近区域a、b、c明显偏厚，与正常区域膜厚差在7nm以上，而且，由于舟片间距变小，使用现有镀膜工艺容易出现硅片中心区域附近d出现膜厚严重偏薄的现象。 

实用新型内容

实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种带有菱形卡点的石墨舟，在保持设备最小的变动前提下对石墨舟进行改造，达到提高产能并降低返工率的作用。

技术方案：本实用新型所述的一种带有菱形卡点的石墨舟，它包括石墨舟、陶瓷杆、电池片槽和电极，其特征在于：它还包括：菱形块、凸块和石墨舟槽，所述的菱形块固设于凸块上形成菱形卡点，石墨舟上设有石墨舟槽，凸块与石墨舟槽通过配合连接的方式紧固。

所述的凸块与石墨舟槽通过过渡配合连接的方式紧固。

所述的凸块的厚度和石墨舟槽的深度相同。

有益效果：本实用新型所述的一种带有菱形卡点的石墨舟，与现有技术相比，具有以下优点：

1、在现有产能基础上增加11%的产能。

2、增加片内卡点附近区域与硅片表面的片内均匀性，可达到0~2nm以内。

3、该实用新型不需要对机台本身硬件做任何改动。人员操作，机台运行不会受到影响。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2.为菱形卡点的局部放大图；

图3为硅片插入石墨舟后的局部示图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

如图1、图2所示，本实用新型所述的一种带有菱形卡点的石墨舟，它包括菱形块11、凸块12、石墨舟2、陶瓷杆3、电池片槽4、电极7和石墨舟槽5。

菱形块11固设于凸块12上形成菱形卡点1，石墨舟2上设有石墨舟槽5，凸块12与石墨舟槽5通过过渡配合连接的方式紧固，凸块12的厚度和石墨舟槽5的深度相同，当凸块12嵌入石墨舟槽5后，菱形块11凸在石墨舟2的表面，如图3所示，将硅片6卡在菱形卡点1内，并通过手动调节，将菱形块11长对角线方向与硅片6边缘垂直，从而实现菱形卡点1对硅片6的固定，通过使用带有菱形卡点的石墨舟，减小电池片表面的遮挡面积，增加电池片的受光面积，同时可减小菱形卡点1附近区域与正常区域的膜厚差。

Claims (3)

1.一种带有菱形卡点的石墨舟，它包括石墨舟（2）、陶瓷杆（3）、电池片槽（4）和电极（7），其特征在于：它还包括：菱形块（11）、凸块（12）和石墨舟槽（5），所述的菱形块（11）固设于凸块（12）上形成菱形卡点（1），石墨舟（2）上设有石墨舟槽（5），凸块（12）与石墨舟槽（5）通过配合连接的方式紧固。

2.根据权利要求1所述的一种带有菱形卡点的石墨舟，其特征在于：所述的凸块（12）与石墨舟槽（5）通过过渡配合连接的方式紧固。

3.根据权利要求1所述的一种带有菱形卡点的石墨舟，其特征在于：所述的凸块（12）的厚度和石墨舟槽（5）的深度相同。