CN203753949U - 一种玻璃基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种玻璃基板搬送装置，其包括有一机械手臂，该机械手臂上具有至少两个排列设置的叉耙，在至少一个叉耙上设有进气管道，该进气管道上设有多个排气孔，该排气孔开口方向正对着相邻叉耙，叉耙上的进气管道连接至一能输出高压气流的气流输出装置，相邻两个叉耙之间形成高压气帘。本实用新型的玻璃基板搬送装置在使用时，由于高压气帘对玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂导致的取放基板的碎片问题。

Description

一种玻璃基板搬送装置

技术领域

本实用新型有关一种玻璃基板搬送装置，特别是指一种可有效防止玻璃基板弯曲下垂的玻璃基板搬送装置。

背景技术

目前，在FPD（Flat Panel Display，平板显示器）的制造工厂中，玻璃基板的尺寸越来越大，越来越薄。由于玻璃基板大且薄，机械手臂1承托基板时，基板弯曲量很大，当机械手臂1从卡匣（cassette pitch）A中取放玻璃基板时，常因为玻璃基板的弯曲变形，导致玻璃基板破碎，同时由于基板弯曲量变大，机械手臂1就需要更大的活动空间，如图1与图2所示，因此，这就要求卡匣A变大，从而也导致厂房的高度变高，增加了工厂的建筑成本以及运营成本。

为避免由于玻璃基板完曲变形造成撞碎，目前业界主要采用以下三种方式：

1.增加机械手臂叉耙数量，其缺点是费用增加，叉耙数量增多，导致整体水平度下降，与设备干涉较多；

2.增加卡匣高度，其缺点是厂房高度需增加，从而导致建筑成本及运营成本增加；

3.采用特殊机械手臂来降低玻璃基板下垂的影响，如图3所示，在每个叉耙上设有多个与叉耙垂直的条状结构，形成十字交叉结构，这种方式的缺点是导致费用增加，叉耙整体水平度下降，与设备干涉较多。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种结构简单、生产成本低且防止玻璃基板弯曲下垂的玻璃基板搬送装置。

为达到上述目的，本实用新型提供一种玻璃基板搬送装置，其包括有一机械手臂，该机械手臂上具有至少两个排列设置的叉耙，在至少一个叉耙上设有进气管道，该进气管道上设有多个排气孔，该排气孔开口方向正对着相邻叉耙，叉耙上的进气管道连接至一能输出高压气流的气流输出装置，相邻两个叉耙之间形成高压气帘。

与设有所述进气管道的叉耙相邻的叉耙上设有气流收集管道，该气流收集管道上设有多个气流接收孔，叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，叉耙上的所述气流收集管道连接至一气流回收装置，该气流回收装置通过管路连接至所述气流输出装置。

所述叉耙为三个，在其中一侧的叉耙与位于中间的叉耙上均设有所述进气管道，该进气管道上设有多个所述排气孔，位于中间的叉耙与相邻的另一侧的叉耙上均设有所述气流收集管道，该气流收集管道上设有多个气流接收孔，其中一侧叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻中间叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，中间叉耙上进气管道上的排气孔开口方向与相邻另一侧叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，每一叉耙上的排气孔开口方向相同。

所述叉耙为四个，在其中第二个叉耙与相隔的侧边的第四个叉耙上均设有所述进气管道，该进气管道上设有多个所述排气孔，在与该第二个叉耙相邻的第三个叉耙与侧边的第一个叉耙上均设有气流收集管道，该气流收集管道上设有多个所述气流接收孔，其中该第二个叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻第一个叉耙与第三个叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，侧边第四个叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻的第三个叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置。

各所述叉耙设置于同一平面上，相邻两个叉耙之间形成的高压气帘为水平高压气帘。

各所述叉耙相互平行设置。

在所述气流回收装置与所述气流输出装置之间设置有气流过滤装置。

所述气流输出装置上设有压力调节单元。

所述气流接收孔安装有定向阀门。

所述气流输出装置连接一为其补充气流的工厂高压空气系统。

本实用新型的玻璃基板搬送装置在使用时，由于高压气帘对玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂导致的取放基板的碎片问题。

附图说明

图1为现有技术中机械手臂搬送玻璃基板的实施状态图；

图2为现有技术中机械手臂搬送玻璃基板的俯视图；

图3为现有技术中另一种机械手臂搬送玻璃基板的俯视图；

图4为本实用新型玻璃基板搬送装置的实施例一结构示意图；

图5为本实用新型玻璃基板搬送装置的实施例二结构示意图；

图6为本实用新型玻璃基板搬送装置的实施例三结构示意图；

图7为本实用新型玻璃基板搬送装置的实施例四结构示意图；

图8为本实用新型玻璃基板搬送装置的实施例五结构示意图。

具体实施方式

为便于对本实用新型的结构及达到的效果有进一步的理解，现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。

如图4所示，本实用新型的玻璃基板搬送装置包括一机械手臂，该机械手臂上具有三个位于同一平面上的叉耙10，在其中一侧的叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有多个排气孔20，该中间叉耙10上同样设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，其中一侧叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向正对相邻中间叉耙10，中间叉耙10上进气管道2上的排气孔20开口方向正对相邻另一侧叉耙10。其中一侧叉耙10上的进气管道2与相邻中间叉耙10上的进气管道2连接至气流输出装置4。

当机械手臂接到取基板指令时，触发气流输出装置4向两路进气管道2输出高压气流，叉耙10上的排气孔20喷出高压气流，高压气流沿水平方向到达相邻叉耙10，因此在相邻两个叉耙10之间形成高压气帘21，高压气流流向如图中箭头方向所示，通过高压气帘21对玻璃基板进行承托，以避免玻璃基板下垂。

如图5所示，本实用新型的玻璃基板搬送装置包括一机械手臂，该机械手臂上具有三个平行设置的叉耙10，在其中一侧的叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，该中间叉耙10上设有进气管道2与气流收集管道3，该进气管道2上设有排气孔20，该气流收集管道3上设有多个气流接收孔30，另一侧的叉耙10上设有气流收集管道3，该气流收集管道3上设有气流接收孔30。一侧叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向与相邻中间叉耙10上气流收集管道3的气流接收孔30开口方向相向设置，中间叉耙10上进气管道2上的排气孔20开口方向与相邻另一侧叉耙10上气流收集管道3的气流接收孔30开口方向相向设置，每一叉耙10上的排气孔20开口方向相同。其中一侧叉耙10上的进气管道2与相邻中间叉耙10上的进气管道2连接至气流输出装置4，中间叉耙10上的气流收集管道3与相邻另一侧叉耙10上的气流收集管道3连接至气流回收装置5，该气流回收装置5通过管路连接至该气流输出装置4。

当机械手臂接到取基板指令时，触发气流输出装置4向两路进气管道2输出高压气流，叉耙10上的排气孔20喷出高压气流，高压气流沿水平方向到达相邻叉耙10的气流接收孔30，在相邻两个叉耙10之间形成高压气帘21，通过高压气帘21对玻璃基板进行承托，以避免玻璃基板下垂。气流经过两路气流收集管道3回到气流回收装置5，气流再通过管路传送到气流输出装置4，气流输出装置4经过进气管道2再经排气孔20排出形成循环。

本实用新型中的机械手臂并不限于具有三个叉耙，还可以有四个或更多个，如图6所示，以四个叉耙为例，其中在第二个叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，在与其相隔的侧边的第四个叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，其中第二个叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向正对两相邻两个叉耙10（即第一个叉耙与第三个叉耙），侧边的第四个叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向正对两相邻第三个叉耙10。其中第二个叉耙10上的进气管道2与第四个叉耙10上的进气管道2连接至气流输出装置4。当机械手臂接到取基板指令时，触发气流输出装置4向两路进气管道2输出高压气流，叉耙10上的排气孔20喷出高压气流，高压气流沿水平方向到达相邻叉耙10，形成气帘21，高压气流的方向如图6中箭头方向所示。

如图7所示，本实用新型中以四个叉耙为例，在第二个叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，在与其相隔的侧边的第四个叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，在与第二个叉耙10相邻的第一个叉耙10与第三个叉耙10上均设有气流收集管道3，该气流收集管道3上设有气流接收孔30，其中第二个叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向与相邻第一个叉耙10与第三个叉耙10上气流收集管道3的气流接收孔30开口方向相向设置，侧边第四个叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向与相邻第三个叉耙10上气流收集管道3的气流接收孔30开口方向相向设置。其中第二个叉耙10上的进气管道2与第四个叉耙10上的进气管道2连接至气流输出装置4，第一个叉耙10上的气流收集管道3与第三个叉耙10上的气流收集管道3连接至气流回收装置5，该气流回收装置5通过管路连接至该气流输出装置4。当机械手臂接到取基板指令时，触发气流输出装置4向两路进气管道2输出高压气流，叉耙10上的排气孔20喷出高压气流，高压气流沿水平方向到达相邻叉耙10的气流接收孔30，形成气帘21，高压气流的方向如图7中箭头方向所示。气流由气流接收孔30经过两路气流收集管道3回到气流回收装置5，气流再通过管路传送到气流输出装置4，气流输出装置4经过进气管道2再经排气孔20排出形成循环。

如图8所示，本实用新型中在其中一侧叉耙10上设有进气管道2，该进气管道2上设有排气孔20，另一侧叉耙10上设有气流收集管道3，该气流收集管道3上设有气流接收孔30，中间两个叉耙10上均设有进气管道2与气流收集管道3，该进气管道2上设有排气孔20，该气流收集管道3上设有气流接收孔30，每一叉耙10上的进气管道2上的排气孔20开口方向与相邻叉耙10上气流收集管道3的气流接收孔30开口方向相向设置，每一叉耙10上的排气孔20开口方向相同。当机械手臂接到取基板指令时，触发气流输出装置4向三路进气管道2输出高压气流，叉耙10上的排气孔20喷出高压气流，高压气流沿水平方向到达相邻叉耙10的气流接收孔30，形成气帘21，高压气流方向如图中箭头方向所示。气流由气流接收孔30经过三路气流收集管道3回到气流回收装置5，气流再通过管路传送到气流输出装置4，气流输出装置4经过进气管道2再经排气孔20排出形成循环。

本实用新型中还可以在气流回收装置5与气流输出装置4之间设置气流过滤装置6，以便对气流中的浮沉杂质等进行过滤。本实用新型中的气流输出装置4可设有压力调节单元（图中未示出），可视能否把玻璃基板支撑来调节气流压力。气流接收孔30可加装定向阀门（图中未示出），使得气流只进不出。为使气流输出装置4能输出足够多的气流，该气流输出装置4可连接一工厂CDA（高压空气）系统7，作为气体循环的气流补充。

本实用新型的玻璃基板搬送装置在使用时，由于高压气帘对玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂导致的取放基板的碎片问题，同时减少与装置干涉，降低机械手臂取放基板所需空间，节约建筑成本，本实用新型可同时回收气流，降低运营成本。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求范围所界定者为准。

Claims (10)

1.一种玻璃基板搬送装置，其包括有一机械手臂，该机械手臂上具有至少两个排列设置的叉耙，其特征在于，在至少一个叉耙上设有进气管道，该进气管道上设有多个排气孔，该排气孔开口方向正对着相邻叉耙，叉耙上的进气管道连接至一能输出高压气流的气流输出装置，相邻两个叉耙之间形成高压气帘。

2.如权利要求1所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，与设有所述进气管道的叉耙相邻的叉耙上设有气流收集管道，该气流收集管道上设有多个气流接收孔，叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，叉耙上的所述气流收集管道连接至一气流回收装置，该气流回收装置通过管路连接至所述气流输出装置。

3.如权利要求2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，所述叉耙为三个，在其中一侧的叉耙与位于中间的叉耙上均设有所述进气管道，该进气管道上设有多个所述排气孔，位于中间的叉耙与相邻的另一侧的叉耙上均设有所述气流收集管道，该气流收集管道上设有多个气流接收孔，其中一侧叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻中间叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，中间叉耙上进气管道上的排气孔开口方向与相邻另一侧叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，每一叉耙上的排气孔开口方向相同。

4.如权利要求2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，所述叉耙为四个，在其中第二个叉耙与相隔的侧边的第四个叉耙上均设有所述进气管道，该进气管道上设有多个所述排气孔，在与该第二个叉耙相邻的第三个叉耙与侧边的第一个叉耙上均设有气流收集管道，该气流收集管道上设有多个所述气流接收孔，其中该第二个叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻第一个叉耙与第三个叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置，侧边第四个叉耙上的进气管道上的排气孔开口方向与相邻的第三个叉耙上气流收集管道的气流接收孔开口方向相向设置。

5.如权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，各所述叉耙设置于同一平面上，相邻两个叉耙之间形成的高压气帘为水平高压气帘。

6.如权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，各所述叉耙相互平行设置。

7.如权利要求2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，在所述气流回收装置与所述气流输出装置之间设置有气流过滤装置。

8.如权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，所述气流输出装置上设有压力调节单元。

9.如权利要求2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，所述气流接收孔安装有定向阀门。

10.如权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于，所述气流输出装置连接一为其补充气流的工厂高压空气系统。