CN203736950U - 一种药液箱及光刻胶剥离设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光刻胶剥离技术领域，特别涉及一种药液箱及光刻胶剥离设备，用于提高光刻胶剥离的稼动率。本实用新型公开的药液箱包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于箱体内对从回液口流向出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在箱体的底部开设有可将滤网组件滤出的杂质排出箱体的第一排废料口。本实用新型同时还公开了一种光刻胶剥离设备，包括上述技术方案所提的药液箱。循环使用的剥离药液先在药液箱内过滤，从而减少了光刻胶剥离设备中过滤器所滤出的杂质，使得过滤器不易发生堵塞，从而减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。

Description

一种药液箱及光刻胶剥离设备

技术领域

本实用新型涉及光刻胶剥离技术领域，特别涉及一种药液箱及光刻胶剥离设备。

背景技术

光刻胶剥离设备是光刻工艺中必不可少的设备，用于去除残留在产品表面的光刻胶。现有的光刻胶剥离设备包括：存储有剥离药液的药液箱，与药液箱连通的过滤器，以及分别与过滤器和药液箱连通的剥离装置；在进行去除残留在产品表面上的光刻胶作业时，剥离药液首先经过滤器过滤后进入剥离装置中，使放置在剥离装置中的待剥离产品的表面上的光刻胶溶解，然后回流到药液箱中。

因上述剥离药液是循环使用的，因此，在剥离药液中会混有一些杂质，如未完全溶解的光刻胶残片等，这些杂质的存在，很容易造成过滤器堵塞，导致清理或更换过滤器的次数较多，而清理或更换过滤器的过程比较复杂，耗时较长，严重影响光刻胶剥离设备的稼动率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种药液箱及光刻胶剥离设备，用于提高光刻胶剥离的稼动率。

为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种药液箱，包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于所述箱体内对从所述回液口流向所述出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在所述箱体的底部开设有可将所述滤网组件滤出的杂质排出所述箱体的第一排废料口。

优选地，所述箱体为长方体形箱体，所述回液口和所述出液口分别开设于所述箱体的两个相对的侧壁上，所述滤网组件横设在所述回液口和所述出液口之间，所述第一排废料口位于所述滤网组件和所述回液口之间。

较佳地，所述箱体的底部还开设有第二排废料口，所述第二排废料口位于所述出液口和所述滤网组件之间。

较佳地，所述箱体上还开设有补液口，所述补液口位于所述滤网组件朝向所述出液口的一侧。

优选地，所述箱体为圆柱体形箱体，在位于所述回液口和所述出液口之间的两个相对的侧壁上各设置有一个插槽结构，所述滤网组件插设于两个所述插槽中。

优选地，所述滤网组件包括：

挡板，所述挡板的中间区域开设有贯穿所述挡板厚度的开口；

固定安装在所述挡板的开口处的第一滤网。

进一步地，上述药液箱还包括：设置于所述箱体内且位于所述挡板的上边缘的第一液位传感器，以及与所述第一液位传感器信号连接的第一控制器，所述第一控制器在所述箱体内所述滤网组件朝向所述回液口一侧的剥离药液的液位超出所述挡板的上边缘时，根据所述第一液位传感器所反馈的液位信息发出报警信号。

优选地，所述滤网组件包括：边框，固定安装在所述边框上的第二滤网。

进一步地，上述药液箱还包括：

设置于所述箱体内的两个第二液位传感器，两个所述第二液位传感器漂浮在所述滤网组件两侧的剥离药液上；

以及分别与两个所述第二液位传感器信号连接的第二控制器，所述第二控制器根据两个所述第二液位传感器所检测的所述滤网组件两侧的剥离药液的液位，计算获得所述滤网组件两侧的剥离药液的液位之差，并在所述液位之差大于等于设定值时发出报警信号。

本实用新型同时还提供了一种光刻胶剥离设备，包括：过滤器，与所述过滤器连通、上述技术方案所提的任一种药液箱。

本实用新型提供的药液箱，通过设置在箱体内的滤网组件对从回液口流向出液口的剥离药液进行过滤，滤出的杂质可从第一排废口排出箱体，因此，当光刻胶剥离设备采用该药液箱时，循环使用的剥离药液在进入过滤器中之前，由箱体内的滤网组件进行过滤，使得剥离药液在经过过滤器时被滤出的杂质明显减少，从而减少过滤器发生堵塞的次数，也就减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。此外，循环使用的剥离药液在经过过滤器之前进行过滤，可以明显减轻过滤器的过滤压力，从而可以延长过滤器的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的药液箱的主视剖视图；

图2为本实用新型具体实施例一提供的药液箱的主视剖视图；

图3为本实用新型具体实施例一提供的药液箱的侧视剖视图；

图4为图1中一种结构组成的滤网组件的侧视剖视图；

图5为图1中另一种结构组成的滤网组件的侧视剖视图；

图6为本实用新型具体实施例二提供的药液箱的主视剖视图；

图7为图5中滤网组件的主视剖视图。

附图标记：

10-箱体，              11-回液口，

12-出液口，            13-第一排废料口，

14-第二排废料口，      15-补液口，

16-插槽结构，          20-滤网组件，

21-挡板，              22-第一滤网，

23-边框，              24-第二滤网，

31-第一液位传感器，      32-第二液位传感器。

具体实施方式

为了提高光刻胶剥离设备的稼动率，本实用新型对光刻胶剥离设备中的药液箱进行了改进，在药液箱中增设了滤网组件，以对循环使用剥离药液进行过滤，从而可以减少清理或更换过滤器的次数，进而提高光刻胶剥离设备的稼动率。

为了使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合说明书附图对本实用新型实施例进行详细的描述。

请参阅图1，为本实用新型实施例一提供的药液箱的主视剖视图；本实用新型实施例提供的药液箱包括：具有回液口11和出液口12的箱体10，设置于箱体10内对从回液口11流向出液口12的剥离药液进行过滤的滤网组件20，且在箱体10的底部开设有可将滤网组件20滤出的杂质排出箱体10的第一排废料口13。

在上述实施例中，通过设置在箱体10内的滤网组件20对从回液口11流向出液口12的剥离药液进行过滤，滤出的杂质（如未完全溶解的光刻胶残片）从第一排废口13排出箱体10，杂质从箱体10中排除方便，因此，当光刻胶剥离设备采用该药液箱时，循环使用的剥离药液可以先在药液箱内过滤，会明显减少剥离药液中混有的杂质，从而减少了光刻胶剥离设备中过滤器所滤出的杂质，使得过滤器不易发生堵塞，从而减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。此外，循环使用的剥离药液在经过过滤器之前进行过滤，可以明显减轻过滤器的过滤压力，从而可以延长过滤器的使用寿命。

请参阅图2和图3，其中，图2为本实用新型具体实施例一提供的药液箱的主视剖视图；图3为本实用新型具体实施例一提供的药液箱的侧视剖视图。具体实施时，箱体10可以为长方体形箱体或圆柱体形箱体，当箱体10为圆柱体形箱体时箱体横放（卧式）；从制作成本方面和安装便利性方面考虑，优选地，箱体10为长方体形箱体。当箱体10为长方体形箱体时，回液口11和出液口12可以开设于箱体10相对的两个侧壁上，也可以开设于相邻的两个侧壁上，优选地，回液口11和出液口12分别开设于箱体10的两个相对的侧壁上，滤网组件20横设在回液口11和出液口12之间，第一排废料口13位于滤网组件20和回液口11之间。需要说明的是，当箱体10为圆柱体形箱体时，出液口12和回液口11优选分别开设于圆柱体形箱体的两端壁上，第一排废料口13开设于圆柱体形箱体的筒壁上，且位于筒壁的底部。

当剥离药液长时间循环使用时，在箱体10的底部位于出液口12和滤网组件20之间区域内也会沉积一些杂质，这些杂质的存在会影响光刻胶剥离效果，因此，为了清理沉积在箱体10的底部位于出液口12和滤网组件20之间区域内的杂质，优选地，在箱体10的底部还开设有第二排废料口14，第二排废料口14位于出液口12和滤网组件20之间。

剥离药液在循环使用的过程中以及在将沉积在箱体10的底部的杂质排出箱体10的过程中，剥离药液会有一定的损耗，因此，需要向箱体10内补充剥离药液。如图2所示，一种优选实施方式中，箱体10上还开设有补液口15，补液口15位于滤网组件20朝向出液口12的一侧；通过该补液口15可以向箱体10内补充新的剥离药液，此外，因补液口15位于滤网组件20朝向出液口12的一侧，可以避免新添加剥离药液与未过滤的剥离药液混合，从而可以减轻滤网组件20的过滤压力。

请参阅图4，为图1中一种结构组成的滤网组件的侧视剖视图；滤网组件20包括：挡板21，挡板21的中间区域开设有贯穿挡板21厚度的开口；以及固定安装在挡板21的开口处的第一滤网22；如此设计，可以利用第一滤网22对剥离药液进行过滤，利用挡板21使滤出的杂质沉积在箱体10的底部，为了进一步提高过滤效果，在挡板21的开口处可以设置两层第一滤网22，设置方式如图5所示，为图1中另一种结构组成的滤网组件的侧视剖视图，在挡板21的开口处可以设置两层第一滤网22。

在上述实施例一中，滤网组件20位于出液口12和回液口11之间，将箱体10内部空间分隔成两部分，位于滤网组件20朝向出液口12一侧的剥离药液为过滤后的剥离药液，位于滤网组件20朝向回液口11一侧的剥离药液为未过滤的剥离药液。如图2所示，滤网组件20将箱体10内部空间分隔成左、右两部分，位于滤网组件20左侧空间内的剥离药液为过滤后的剥离药液，位于滤网组件20右侧空间内的剥离药液为未过滤的剥离药液。

继续参阅图3，一种优选实施方式中，箱体10为圆柱体形箱体，在位于回液口11和出液口12之间的两个相对的侧壁上各设置有一个插槽结构16，滤网组件20插设于两个插槽结构16中；如此设计，可以便于更换和清理滤网组件20。

滤网组件20的形状可以为圆形、方形或椭圆形，具体由箱体10的形状、以及出液口12、回液口11的位置而定。例如，箱体10为圆柱体形箱体，且出液口12和回液口11分别开设于圆柱体形箱体的两端壁上时，滤网组件20为与圆柱体形箱体相匹配的圆形结构；又如，当箱体10为长方体形箱体，出液口12和回液口11开设于箱体10的相邻的两个侧壁上时，滤网组件20为L形结构。在实施例一中，因箱体10为长方体形箱体，出液口12和回液口11开设于箱体10的相对的两个侧壁上，滤网组件20为平板形结构。

继续参阅图2，为了尽早地发现滤网组件20中的第一滤网22是否发生堵塞情况，以免影响滤网组件20的过滤效果，进一步地，上述药液箱还包括：设置于箱体10内且位于挡板21的上边缘的第一液位传感器31，以及与第一液位传感器31信号连接的第一控制器（图中未画出），所述第一控制器在箱体10内滤网组件20朝向回液口11一侧的剥离药液的液位超出挡板21的上边缘时，根据第一液位传感器所反馈的液位信息发出报警信号。具体地，当第一滤网22发生堵塞后，位于滤网组件20朝向回液口11一侧的液位会升高，使得未过滤的剥离药液从挡板21的上边缘流过，从而触发第一液位传感器31，第一控制器根据第一液位传感器所反馈的液位信息发出报警信号，提醒操作人员停机以进行清理或更换滤网组件20。

请参阅图6和图7，其中，图6为本实用新型具体实施例二提供的药液箱的主视剖视图；图7为图5中滤网组件的主视剖视图。实施例二所提供的药液箱，箱体10的结构、滤网组件20在箱体10中的位置、以及安装方式与实施例一相同，在此不再赘述。

实施例二中的滤网组件20的结构与实施例一中的滤网组件20的结构不同，包括：边框23，固定安装在边框23上的第二滤网24；与实施例一中的滤网组件20相比，第二滤网24的面积较大，过滤效果更佳。

为了尽早发现滤网组件20中的二滤网24是否发生堵塞情况，以免影响滤网组件20的过滤效果，上述药液箱还包括：设置于箱体10内的两个第二液位传感器32，两个第二液位传感器32漂浮在滤网组件20两侧的剥离药液上；以及分别与两个第二液位传感器32信号连接的第二控制器（图中未画出），第二控制器根据两个第二液位传感器32所检测的滤网组件20两侧的剥离药液的液位，计算获得滤网组件20两侧的剥离药液的液位之差，并在所述液位之差大于等于设定值时发出报警信号；提醒操作人员停机以进行清理或更换滤网组件20。

本实用新型实施例同时还提供了一种光刻胶剥离设备，包括：过滤器，与过滤器连通、上述技术方案所提的任一种药液箱。因在药液箱中设置有滤网组件，使得剥离药液在经过过滤器之前被药液箱中的滤网组件过滤，会明显减少剥离药液混有的杂质，从而减少了光刻胶剥离设备中过滤器所滤出的杂质，使得过滤器不易发生堵塞，从而减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。此外，剥离药液在经过过滤器之前由药液箱中的滤网组件进行过滤，可以明显减轻过滤器的过滤压力，从而提高过滤器的使用寿命。

综上所述，在光刻胶剥离设备中采用本实用新型提供的药液箱，可以减少过滤器堵塞情况发生，从而减少了清理或更换过滤器的次数，进而提高了光刻胶剥离设备的稼动率。此外，剥离药液在经过过滤器之前由药液箱中的滤网组件进行过滤，可以明显减轻过滤器的过滤压力，从而提高过滤器的使用寿命。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种药液箱，应用在光刻胶剥离设备中，其特征在于，包括：具有回液口和出液口的箱体，设置于所述箱体内对从所述回液口流向所述出液口的剥离药液进行过滤的滤网组件，且在所述箱体的底部开设有可将所述滤网组件滤出的杂质排出所述箱体的第一排废料口。

2.如权利要求1所述的药液箱，其特征在于，所述箱体为长方体形箱体，所述回液口和所述出液口分别开设于所述箱体的两个相对的侧壁上，所述滤网组件横设在所述回液口和所述出液口之间，所述第一排废料口位于所述滤网组件和所述回液口之间。

3.如权利要求2所述的药液箱，其特征在于，所述箱体的底部还开设有第二排废料口，所述第二排废料口位于所述出液口和所述滤网组件之间。

4.如权利要求2所述的药液箱，其特征在于，所述箱体上还开设有补液口，所述补液口位于所述滤网组件朝向所述出液口的一侧。

5.如权利要求1所述的药液箱，其特征在于，所述箱体为圆柱体形箱体，在位于所述回液口和所述出液口之间的两个相对的侧壁上各设置有一个插槽结构，所述滤网组件插设于两个所述插槽中。

6.如权利要求1-5任一所述的药液箱，其特征在于，所述滤网组件包括：

挡板，所述挡板的中间区域开设有贯穿所述挡板厚度的开口；

固定安装在所述挡板的开口处的第一滤网。

7.如权利要求6所述的药液箱，其特征在于，还包括：设置于所述箱体内且位于所述挡板的上边缘的第一液位传感器，以及与所述第一液位传感器信号连接的第一控制器，所述第一控制器在所述箱体内所述滤网组件朝向所述回液口一侧的剥离药液的液位超出所述挡板的上边缘时，根据所述第一液位传感器所反馈的液位信息发出报警信号。

8.如权利要求1-5任一所述的药液箱，其特征在于，所述滤网组件包括：边框，固定安装在所述边框上的第二滤网。

9.如权利要求8所述的药液箱，其特征在于，还包括：

设置于所述箱体内的两个第二液位传感器，两个所述第二液位传感器漂浮在所述滤网组件两侧的剥离药液上；

以及分别与两个所述第二液位传感器信号连接的第二控制器，所述第二控制器根据两个所述第二液位传感器所检测的所述滤网组件两侧的剥离药液的液位，计算获得所述滤网组件两侧的剥离药液的液位之差，并在所述液位之差大于等于设定值时发出报警信号。

10.一种光刻胶剥离设备，其特征在于，包括：过滤器，与所述过滤器连通、如权利要求1-9任一所述的药液箱。