CN203700516U - 一种用于气体预热与气体分配的组合工装 - Google Patents
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Abstract
一种用于气体预热与气体分配的组合工装，多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板和多个具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板依次间隔的叠放在底板的上表面。外孔气流扰动板和内孔气流扰动板叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量叠放2～5层。通气面板置于位于顶层的内孔气流扰动板的上表面。在通气面板的上表面安装有分流面板。多个料柱套分别放置在分流面板上表面的料柱套安装孔内，支撑板安放在各料柱套上端面。本实用新型克服了由于目标气体预热之后中心气体温度高于周边气体温度，从而导致预制产品中心密度高于外围密度，使预置体内部形成致密层，从而使得预制产品无法很好的进行渗透性沉积的缺陷。
Description
技术领域
本发明属于化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种用于制造碳刹车盘的化学气相沉积用的气体预热工装。
背景技术
化学气相沉积技术（CVD）是气态物质经过高温化学反应而获得固态沉积物的一种制备方法，目前使用的碳刹车盘80%以上是通过该技术获得的。过程描述如下：有机气体（甲烷、丙烷、丙烯等）通过送气装置进入沉积炉内，在一定高温下进行裂解、聚合，并不断向盘型预置体中扩散、渗透，最终以热解碳的形式沉积于预置体纤维之上，达到增密化的效果，最终获得碳/碳复合材料刹车盘。其中一项关键因素是有机气体在进入反应区之前必须达到适当的温度，并在盘与盘之间形成有效流场，这样才能提高致密化效率，因此，预热装置将起到以上作用：加热气体并对气场的合理流动进行干预性布局。
多孔板叠加式预热装置是目前气相沉积领域生产中所广泛使用的预热装置，但是气体在其中的流程较短，因此受到的热辐射、热传导作用时间短，对气体的预热能力有限，使得有机气体在进入沉积区域前未达到分解的临界温度，具体表现在使碳刹车盘料柱底部1/3段增密效果减弱；同时现有预热装置出口设计简单，为单通气孔，不能形成有效气场。具体表现在使碳盘顶部1/3段增密效果减弱。
在公布号为CN10236387A的发明创造中，公开了一种化学气相沉积炉预热装置，该发明创造中介绍了一种化学气相沉积炉预热装置，该装置包括盖板、底座、热电偶、基座和底板。其特征在于还包括扰动面板和气流板，底座安放在基座的上表面，气流板逐层叠放在底座的上表面，并且各层之间180°交错，扰动面板置于最顶层气流板的上表面，在扰动面板的上表面安放预制体，在扰动面板和气流板的中心有热电偶的过孔，在扰动面板的中心有圆形的凹槽，在该凹槽内环有热电偶过孔并且均布扰动孔，扰动孔的中心线与扰动面板表面之间夹角为70°～85°，扰动孔的倾斜方向均向扰动面板外圆周方向，在气流板的上表面中心有圆形凹面，凹面上分布有多条相互平行的气流槽。该发明实际应用中存在的不足之处在于气体预热之后中心气体温度高于周边气体温度从而导致预制产品中心密度高于外围密度使预置体无法很好的进行渗透性沉积。
发明内容
为克服现有技术中存在的预置体无法很好的进行渗透性沉积和碳盘顶部1/3段增密效果减弱的不足，本发明提出了一种用于气体预热与气体分配的组合工装。
本发明包括垫板、底板、外孔气流扰动板、内孔气流扰动板、通气面板、分流面板、料柱套和支撑板。其中，垫板安放在炉体基座的上表面。底板安放在垫板的上表面。多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板和多个具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板依次间隔的叠放在底板的上表面。所述的外孔气流扰动板和内孔气流扰动板叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量叠放2～5层。所述外孔气流扰动板与内孔气流扰动板的数量相同。通气面板置于位于顶层的内孔气流扰动板的上表面。在通气面板的上表面安装有分流面板。多个料柱套分别放置在分流面板上表面的料柱套安装孔内。所述料柱套的数量根据料柱的数量确定，支撑板安放在各料柱套上端面。
叠放外孔气流扰动板和内孔气流扰动板时，当气体流量≤1500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为2层；当气体流量1500L/h～2500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为3层；当气体流量≥2500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为4层或者5层。
所述底板的上表面有气流槽，该气流槽的直径比底板外径小20mm，气流槽深度为4～8mm。在底板的中心有底板气流通孔，该底板气流通孔的孔径为80～100mm。
所述外孔气流扰动板上表面有深度为4～8mm的气流流动槽。在所述外孔气流扰动板的下表面中心有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与底板上表面气流槽的直径相同，并通过嵌套的方式装入底板上表面气流槽内。在所述外孔气流扰动板上表面的气流流动槽内的外缘均布有若干贯通的外孔气流扰动气流孔，并且所述若干外孔气流扰动气流孔在气流流动槽内环形分布。所述外孔气流扰动气流孔的孔径为10～20mm，相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距为40～60mm。所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8。
所述在所述内孔气流扰动板上表面有气流流动槽，该气流流动槽的深度和直径均与底板上的气流流动凹槽的深度和直径相同。在内孔气流扰动板上表面的气流流动凹槽内分布有若干贯通的内孔气流扰动气流孔，并且所述内孔气流扰动气流孔分布在气流流动凹槽内中部。所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8。所述内孔气流扰动气流孔的孔径和相邻内孔气流扰动气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同。在内孔气流扰动板的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与外孔气流扰动板上表面气流流动凹槽的直径相同，并通过嵌套的方式装入外孔气流扰动板上表面气流槽内。
所述在所述通气面板上表面有气流流动凹槽，该气流流动凹槽的深度和直径均与底板上的气流流动凹槽的深度和直径相同。在所述通气面板上表面的气流流动凹槽内均布有若干贯通的通气气流孔。所述通气面板的通气气流孔的孔径和相邻通气气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同。在通气面板的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台装入内孔气流扰动板上表面气流槽内。
所述在该分流面板上均布多个直径为80～120mm的料柱套安装孔。所述料柱套安装孔的数量与产品料柱的数量相同，所述料柱套安装孔的布局与产品料柱的布局相同。各料柱套安装孔均匀分布在通气面板的气流流动凹槽范围内，以保证气体流动的畅通性。在分流面板的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台装入通气面板上表面气流槽内。
所述料柱套的一个端面有气流流动槽，该气流流动槽的直径为200～300mm；在所述料柱套的另一个端面有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与为80～120mm，能够嵌装入分流面板上的料柱套安装孔内。在所述料柱套的中心有贯通的气流孔，该气流孔的孔径为60～100mm。
所述底板、外孔气流扰动板、内孔气流扰动板、通气面板、分流面板和支撑板的外圆周上有位置相对应的吊装槽。
由于采取了上述技术方案，本发明克服了化学气相沉积炉实际生产过程中由于目标气体预热之后中心气体温度高于周边气体温度从而导致预制产品中心密度高于外围密度使预置体内部形成致密层从而使得预制产品无法很好的进行渗透性沉积这一瓶颈。本发明之所以能攻克这一瓶颈问题是其原理造成的。本发明中目标气体通过基座气流导入孔进入本发明的垫板中的空腔，利用炉体基座和垫板之间的空腔温度使目标气体在这一空腔内完成第一步气体预热，经过初步预热的目标气体由于温度升高而形成的蒸腾气流使目标气体通过底板进入本发明中底板和外孔气流扰动面板之间的空腔，在这一空腔内对目标气体进行再次预热。由于外孔气流扰动面板的特殊结构迫使经过二次预热的目标气体只能从外孔气流扰动面板的凹槽边缘处通过，这样不仅拉长了气体流经路径从而提高了预热效果而且充分保证了气体能够流经炉体相对温度较低的区域提高了整体的炉温均匀性。经过二次预热的目标气体进入外孔气流扰动面板和内孔气流扰动面板之间的空腔之后对目标气体第三次进行预热，而且由于内孔气流扰动面板的特殊结构迫使经过三次预热的目标气体只能从内孔气流扰动面板的凹槽中央区域处通过，对于化学气相沉积炉来说中心温度最高，所以该发明迫使所有气体均流经中央区域从而提高了气体的预热程度和气体温度均匀性。由于本发明外孔气流扰动面板和内孔气流扰动面板的叠加层数根据目标气体流量不同设计为为2～5层，这样目标气体经过反复2～5次的预热从而使预热气体较以往预热装置预热后的目标温度提高了20～50℃。最终预热温度高、均温性好的目标气体经过通气面板是整个工作区域均充满预热温度高、均温性好的目标气体。该气体再经过分流面板和料柱套进入支撑板和预制体，彻底解决了由于目标气体预热之后中心气体温度高于周边气体温度从而导致预制产品中心密度高于外围密度使预置体内部形成致密层从而使得预制产品无法很好的进行渗透性沉积这一瓶颈。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2垫板的结构示意图。
图3底板的结构示意图，其中图3a是主视图，图3b是A-A视图。
图4外孔气流扰动面板的结构示意图。
图5内孔气流扰动面板的结构示意图。
图6通气面板的结构示意图。
图7分流面板的结构示意图。
图8料柱套的侧视剖面图。
图9支撑板的结构示意图。图中：
1.垫板；2.底板；3.外孔气流扰动板；4.内孔气流扰动板；5.通气面板；6.分流面板；7.料柱套；8.支撑板；9.炉体基座；10.产品预制体
具体实施方式
本实施例是一种气体预热与气体分配的组合工装，包括垫板1、底板2、外孔气流扰动板3、内孔气流扰动板4、通气面板5、分流面板6料柱套7和支撑板8。其中，垫板1安放在炉体基座9的上表面。底板2安放在垫板1的上表面。多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板3和具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板4依次间隔的叠放在底板2的上表面。所述的外孔气流扰动板3和内孔气流扰动板4叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量确定，当气体流量大时，外孔气流扰动板3和内孔气流扰动板4叠放的层数多，一般叠放2～5层。当气体流量≤1500L/h时，外孔扰动气流板3和内孔扰动气流板4的叠放层数为2层；当气体流量1500L/h～2500L/h时，外孔扰动气流板3和内孔扰动气流板4的叠放层数为3层；当气体流量≥2500L/h时，外孔扰动气流板3和内孔扰动气流板4的叠放层数为4层或者5层。所述外孔气流扰动板3与内孔气流扰动板4的数量相同。本实施例中，所述外孔气流扰动板3和内孔气流扰动板4的叠放层数分别为3层。
通气面板5置于位于顶层的内孔扰动气流板4的上表面。在通气面板5的上表面安装有分流面板6。多个料柱套7分别放置在分流面板6上表面的料柱套安装孔内。所述料柱套7的数量根据料柱的数量确定，本实施例中为9料柱，故料柱套7的数量为9个。支撑板8安放在各料柱套7上端面；产品预制体10直接放置在支撑板8上面。
如图2所示，垫板1为圆环状。所述垫板1的外径比炉体底座小30～50mm。所述垫板1内孔的孔径在满足该垫板强度要求的前提下尽量大，根据炉体基座大小一般为800～1600mm，本实施例中，垫板1内孔的孔径为1400mm。
如图3所示，底板2为圆形板，在底板2上表面有圆形的凹槽，为气流槽，该气流槽的直径比底板2外径小20mm，气流槽深度为4～8mm，本实例中气流槽深度为5mm。所述气流槽用于气体的流动，气流槽的深度根据气流流量大小变动，气流流量越大气流槽越深。在底板2的中心有底板气流通孔，该底板气流通孔的孔径与炉体基座中心通气孔的内径相同，以满足所制备预制体所需气流要求，所述为气流通孔的孔径为80～100mm。本实施例中，该气流通孔的孔径为80mm。
在底板2的外圆周均布有三个用于吊装的吊装槽。
如图4所示。外孔气流扰动板3为圆盘状。外孔气流扰动板3的外径与炉体基座的外径相同。在所述外孔气流扰动板3上表面有深度为4～8mm的气流流动槽，该气流流动槽的结构与尺寸均与底板2上的气流槽的结构与尺寸相同。在所述外孔气流扰动板3的下表面中心有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与底板2上表面气流槽的直径相同，并通过嵌套的方式将所述外孔气流扰动板3的下表面的凸台装入底板2上表面气流槽内，通过两者之间的嵌套配合，实现外孔气流扰动板3的径向定位。
在所述外孔气流扰动板3上表面的气流流动凹槽内的外缘均布有若干贯通的外孔气流扰动气流孔，并且所述若干外孔气流扰动气流孔在气流流动凹槽内环形分布。所述外孔气流扰动气流孔的孔径为10～20mm，相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距为40～60mm。所述气流流动槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8。
本实施例中，气流槽的深度为5mm，外孔气流扰动气流孔的孔径为15mm，相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距为50mm。
在所述外孔气流扰动板3的外圆周均布有三个用于吊装的吊装槽。
如图5所示。内孔气流扰动板4亦为圆盘状。内孔气流扰动板4的外径与炉体基座的外径相同。在所述内孔气流扰动板4上表面有气流流动凹槽，该气流流动凹槽的深度和直径均与底板2上的气流流动凹槽的深度和直径相同。在内孔气流扰动板4上表面的气流流动凹槽内分布有若干贯通的内孔气流扰动气流孔，并且所述内孔气流扰动气流孔分布在气流流动凹槽内中部。所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8。所述内孔气流扰动气流孔的孔径和相邻内孔气流扰动气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板3上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同。
在内孔气流扰动板4的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与外孔气流扰动板3上表面气流流动凹槽的直径相同，并通过嵌套的方式将所述内孔气流扰动板4的下表面的凸台装入外孔气流扰动板3上表面气流槽内，通过两者之间的嵌套配合，实现内孔气流扰动板的径向定位。
在所述外孔气流扰动板3的外圆周均布有三个用于吊装的吊装槽。
如图6所示。通气面板5亦为圆盘状。通气面板5的外径与与炉体基座的外径相同。在所述通气面板5上表面有气流流动凹槽，该气流流动凹槽的深度和直径均与底板2上的气流流动凹槽的深度和直径相同。在所述通气面板5上表面的气流流动凹槽内均布有若干贯通的通气气流孔。所述通气面板通气气流孔的孔径和相邻通气气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板3上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同。
在通气面板5的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与内孔气流扰动板4上表面气流流动凹槽的直径相同，并通过嵌套的方式将所述通气面板5下表面的凸台装入内孔气流扰动板4上表面气流槽内，通过两者之间的嵌套配合，实现通气面板5的径向定位。
在所述外通气面板5的外圆周均布有三个用于吊装的吊装槽。
如图7所示。分流面板6为圆形板。所述分流面板6的外径与炉体基座9的外径相同。在该分流面板上均布多个直径为80～120mm的料柱套安装孔。所述料柱套安装孔的数量与产品料柱的数量相同，所述料柱套安装孔的布局与产品料柱的布局相同。各料柱套安装孔均匀分布在通气面板5的气流流动凹槽范围内，以保证气体流动的畅通性。本实施例中，所述料柱套安装孔的数量为9个。本实施例中，分流面板上均布9个直径为100mm的料柱套安装孔。
在分流面板6的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与通气面板5上表面气流流动凹槽的直径相同，并通过嵌套的方式将所述分流面板6下表面的凸台装入通气面板5上表面气流槽内，通过两者之间的嵌套配合，实现分流面板6的径向定位。
在所述外通气面板5的外圆周均布有三个用于吊装的吊装槽。
如图8所示。料柱套7为薄壁筒状。料柱套7的一个端面有气流流动凹槽，该气流流动凹槽的直径为200～300mm；在所述料柱套7的另一个端面有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与分流面板上的料柱套安装孔孔径相同，为80～120mm，以能够将所述料柱套7的凸台嵌装入分流面板上的料柱套安装孔内。在所述料柱套7的中心有贯通的气流孔，该气流孔的孔径为60～100mm。
本实施例中，料柱套7的数量为9个，料柱套7上的气流流动凹槽的直径为260mm；料柱套是凸台的外径为100mm，料柱套7中心气流孔的孔径为60mm
使用时，将各料柱套7的凸台安放在分流面板6的料柱套安装孔内，通过将各料柱套7的上端面用于支撑支撑板8。
如图9所示。支撑板8为圆形板状。在所述支撑板8上分布有多个支撑板气流孔。所述支撑板气流孔的数量、布局及孔径均与分流面板6上的的料柱套安装孔的数量、布局及孔径相同。为便于吊装，在所述支撑板8的外圆周上加工有三个平面，并使该支撑板8的三个吊装槽分别位于各平面上。
本实施例中，所述分别位于底板2、外孔气流扰动板3、内孔气流扰动板4、通气面板5、分流面板6和支撑板8上的吊装槽的位置对应。
使用时。各料柱分别安放在支撑板8上表面，并与各通气孔对应。目标气体经炉体基座9上面的导气孔流入，直接充满垫板1的内腔。气体与炉体基座9的上表面和底板2的下表面发生热交换，实现第一步气体预热。经过初步预热的气体通过底板2的气流孔进入底板2上表面的凹槽进一步预热，在这一阶段气体与底板2的凹槽上表面和外孔气流扰动板3的下表面发生热交换。经过进一步预热的气体由于气体压力吸附作用分流到底板2的三分之二半径到凹槽的边缘这一炉体内温度最高的区域内，经过外孔气流扰动板3上面的贯穿孔进入外孔气流扰动板3上面的凹槽内，并且和外孔气流扰动板3凹槽上表面积内孔气流扰动板4的下表面发生热交换从而对气体进一步加热。经过加热的气体由于温度升高急剧上升通过内孔气流扰动板4的贯穿孔再次进入外孔气流扰动板3凹槽之内。这样经过2～5次重复预热的方式有效拉长了气流流动路径，并且确保所有目标气体经过了炉体内温度最高的区域，有效保证了气体温度的均匀性。这样经过最后一层内孔气流扰动板4的高温气体通过通气面板5的贯穿孔有效地将气体平均分配，平均分配后的气体通过通气面板5的凹槽进入均布通气孔的分流面板6，再通过分流面板6上面的薄壁桶状料柱套7进入支撑板8，通过支撑板8上面的气流孔直接和预制产品接触，从而完成整个预热工作。
Claims (9)
1.一种用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，包括垫板（1）、底板（2）、外孔气流扰动板（3）、内孔气流扰动板（4）、通气面板（5）、分流面板（6）、料柱套（7）和支撑板（8）；其中，垫板（1）安放在炉体基座的上表面；底板（2）安放在垫板（1）的上表面；多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板（3）和多个具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板（4）依次间隔的叠放在底板（2）的上表面；所述的外孔气流扰动板和内孔气流扰动板（4）叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量叠放2～5层；所述外孔气流扰动板与内孔气流扰动板（4）的数量相同；通气面板（5）置于位于顶层的内孔气流扰动板（4）的上表面；在通气面板（5）的上表面安装有分流面板（6）；多个料柱套分别放置在分流面板（6）上表面的料柱套安装孔内；所述料柱套的数量根据料柱的数量确定，支撑板（8）安放在各料柱套（7）上端面。
2.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，叠放外孔气流扰动板（3）和内孔气流扰动板（4）时，当气体流量≤1500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为2层；当气体流量1500L/h～2500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为3层；当气体流量≥2500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为4层或者5层。
3.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述底板（2）的上表面有气流槽，该气流槽的直径比底板外径小20mm，气流槽深度为4～8mm；在底板的中心有底板气流通孔，该底板气流通孔的孔径为80～100mm。
4.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述外孔气流扰动板（3）上表面有深度为4～8mm的气流流动槽；在所述外孔气流扰动板（3）的下表面中心有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与底板（2）上表面气流槽的直径相同，并通过嵌套的方式装入底板上表面气流槽内；在所述外孔气流扰动板（3）上表面的气流流动槽内的外缘均布有若干贯通的外孔气流扰动气流孔，并且所述若干外孔气流扰动气流孔在气流流动槽内环形分布；所述外孔气流扰动气流孔的孔径为10～20mm，相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距为40～60mm；所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8。
5.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述在所述内孔气流扰动板（4）上表面有气流流动槽，该气流流动槽的深度和直径均与底板（2）上的气流流动凹槽的深度和直径相同；在内孔气流扰动板上表面的气流流动凹槽内分布有若干贯通的内孔气流扰动气流孔，并且所述内孔气流扰动气流孔分布在气流流动凹槽内中部；所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8；所述内孔气流扰动气流孔的孔径和相邻内孔气流扰动气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同；在内孔气流扰动板（4）的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与外孔气流扰动板（3）上表面气流流动凹槽的直径相同，并通过嵌套的方式装入外孔气流扰动板上表面气流槽内。
6.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述在所述通气面板（5）上表面有气流流动凹槽，该气流流动凹槽的深度和直径均与底板（2）上的气流流动凹槽的深度和直径相同；在所述通气面板上表面的气流流动凹槽内均布有若干贯通的通气气流孔；所述通气面板的通气气流孔的孔径和相邻通气气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板（3）上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同；在通气面板的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台装入内孔气流扰动板（4）上表面气流槽内。
7.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述在该分流面板上均布多个直径为80～120mm的料柱套安装孔；所述料柱套安装孔的数量与产品料柱的数量相同，所述料柱套安装孔的布局与产品料柱的布局相同；各料柱套安装孔均匀分布在通气面板（5）的气流流动凹槽范围内，以保证气体流动的畅通性；在分流面板（6）的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台装入通气面板上表面气流槽内。
8.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述料柱套（7）的一个端面有气流流动槽，该气流流动槽的直径为200～300mm；在所述料柱套的另一个端面有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与为80～120mm，能够嵌装入分流面板上的料柱套安装孔内；在所述料柱套的中心有贯通的气流孔，该气流孔的孔径为60～100mm。
9.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述底板（2）、外孔气流扰动板（3）、内孔气流扰动板（4）、通气面板（5）、分流面板（6）和支撑板（8）的外圆周上有位置相对应的吊装槽。
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|---|---|---|---|
| CN201420037740.8U CN203700516U (zh) | 2014-01-22 | 2014-01-22 | 一种用于气体预热与气体分配的组合工装 |
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| CN201420037740.8U CN203700516U (zh) | 2014-01-22 | 2014-01-22 | 一种用于气体预热与气体分配的组合工装 |
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| CN203700516U true CN203700516U (zh) | 2014-07-09 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106747550A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-05-31 | 中国人民解放军第五七九工厂 | 基于炭炭复合材料的整体叶盘预制体的批量致密化方法 |
| CN109279908A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-29 | 中南大学 | 一种制备超薄碳/碳复合材料面板的夹具 |
| CN109839426A (zh) * | 2017-11-28 | 2019-06-04 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种同时提高离子迁移管内气流和温度均匀性的方法 |
| CN110862266A (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 霍尼韦尔国际公司 | 分段层碳纤维预成型件 |
-
2014
- 2014-01-22 CN CN201420037740.8U patent/CN203700516U/zh not_active Expired - Lifetime
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