CN203649431U - 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置 - Google Patents

超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN203649431U
CN203649431U CN201420033767.XU CN201420033767U CN203649431U CN 203649431 U CN203649431 U CN 203649431U CN 201420033767 U CN201420033767 U CN 201420033767U CN 203649431 U CN203649431 U CN 203649431U
Authority
CN
China
Prior art keywords
slide carriage
guide rail
rail motor
detection device
ultra
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201420033767.XU
Other languages
English (en)
Inventor
宫大为
李晓宁
邹学军
许可
赵爽宇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Electronic Science and Technology of China
Original Assignee
University of Electronic Science and Technology of China
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Electronic Science and Technology of China filed Critical University of Electronic Science and Technology of China
Priority to CN201420033767.XU priority Critical patent/CN203649431U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203649431U publication Critical patent/CN203649431U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置。随着超精密加工水平的日益提高，加工表面微观形貌的检测问题也越来越引起人们的重视。本实用新型的组成包括:床身（1），在床身上安装有X向导轨电机（3）、Z向导轨电机（9），在Z向导轨电机上安装有Z向溜板（7），在X向导轨电机上安装有X向溜板（2），激光测量头（13）安装在X向溜板上，主轴箱（6）安装在Z向溜板上，主轴箱与主轴电机（8）连接，主轴箱另一端与真空吸盘（5）连接，在激光测量头上安装有测量柱面激光输出（12）、测量端面激光输出（11），在X向溜板上安装有刀架（10）。本实用新型用于超精密加工表面微观形貌的非接触在线检测。

Description

超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置
技术领域：
本实用新型涉及一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置。
背景技术：
随着超精密加工水平的日益提高，加工表面微观形貌的检测问题也越来越引起人们的重视。加工和检测相互依存，缺一不可。超精密加工设备与测试仪器的界限越来越不明显。对于超精密加工来说，在线检测显得尤为重要。目前国际上能达到亚纳米级灵敏度的同轴式干涉轮廓仪虽然已有成功的研究成果，但它们一般并不是针对加工表面微观形貌在线测量而考虑的，有的也只是在特定条件下才能进行测量。
实用新型内容：
本实用新型的目的是提供一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置。
上述的目的通过以下的技术方案实现：
一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，其组成包括:床身，在所述的床身上安装有X向导轨电机、Z向导轨电机，在所述的Z向导轨电机上安装有Z向溜板，在所述的X向导轨电机上安装有X向溜板，激光测量头安装在所述的X向溜板上，主轴箱安装在所述的Z向溜板上，所述的主轴箱与主轴电机连接，所述的主轴箱另一端与真空吸盘连接，在所述的激光测量头上安装有测量柱面激光输出、测量端面激光输出，在所述的X向溜板上安装有刀架。
有益效果：
本实用新型专门应用于超精密车床在线检测加工表面微观形貌的检测系统，是一种新式高分辨率同轴式激光轮廓仪与超精密车床的有机结合，突破了传统的必须卸下工件才能对其进行检测的限制，实现了加工与检测的一体化，达到了检测真正服务于加工的目的。本实用新型在利用超精密车床精密气浮导轨作为激光轮廓仪工作台的条件下，测量车削加工表面微观形貌时，在高度方向上的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于0.1nm。
附图说明：
附图1是本实用新型的结构示意图。图中，4为工件。
具体实施方式：
实施例1：
一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，其组成包括:床身1，在所述的床身上安装有X向导轨电机3、Z向导轨电机9，在所述的Z向导轨电机上安装有Z向溜板7，在所述的X向导轨电机上安装有X向溜板2，激光测量头13安装在所述的X向溜板上，主轴箱6安装在所述的Z向溜板上，所述的主轴箱与主轴电机8连接，所述的主轴箱另一端与真空吸盘5连接，在所述的激光测量头上安装有测量柱面激光输出12、测量端面激光输出11，在所述的X向溜板上安装有刀架10。
实施例2：
所述的超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，X向和Z向导轨是T形布局，主轴箱置于Z向溜板上，激光测量头置于X向溜板上。测量头在实线位置时为测量工件端面，在虚线位置时为测量工件柱面。在车床的性能参数中，X向和Z向导轨的直线度和重复定位精度是影响测量精度的关键。当对工件端面进行测量时，把激光测量头置于实线位置，Z向导轨静止，开动X向导轨承载激光测量头沿工件端面进行扫描即可进行工作。图1中，若测量工件柱面，则使X向导轨静止，激光测量头置于虚线位置，开动Z向导轨便可进行测量。

Claims (1)

1.一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，其组成包括:床身，其特征是:在所述的床身上安装有X向导轨电机、Z向导轨电机，在所述的Z向导轨电机上安装有Z向溜板，在所述的X向导轨电机上安装有X向溜板，激光测量头安装在所述的X向溜板上，主轴箱安装在所述的Z向溜板上，所述的主轴箱与主轴电机连接，所述的主轴箱另一端与真空吸盘连接，在所述的激光测量头上安装有测量柱面激光输出、测量端面激光输出，在所述的X向溜板上安装有刀架。
CN201420033767.XU 2014-01-20 2014-01-20 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置 Expired - Fee Related CN203649431U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420033767.XU CN203649431U (zh) 2014-01-20 2014-01-20 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420033767.XU CN203649431U (zh) 2014-01-20 2014-01-20 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203649431U true CN203649431U (zh) 2014-06-18

Family

ID=50915868

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201420033767.XU Expired - Fee Related CN203649431U (zh) 2014-01-20 2014-01-20 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203649431U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106825639A (zh) * 2017-03-31 2017-06-13 华中科技大学 基于几何误差补偿和测距调整提高机床加工精度的方法
CN110893469A (zh) * 2019-11-22 2020-03-20 南通通州东大机械有限公司 一种超精密金属机械零部件的加工方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106825639A (zh) * 2017-03-31 2017-06-13 华中科技大学 基于几何误差补偿和测距调整提高机床加工精度的方法
CN106825639B (zh) * 2017-03-31 2018-12-11 华中科技大学 基于几何误差补偿和测距调整提高车床加工精度的方法
CN110893469A (zh) * 2019-11-22 2020-03-20 南通通州东大机械有限公司 一种超精密金属机械零部件的加工方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104162840B (zh) 智能测厚仪
CN203908449U (zh) 气门杆弯曲检验装置
CN105415179A (zh) 一种轴类零件中心孔失圆的检测方法
CN203649431U (zh) 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置
CN103063113A (zh) 半圆形工件用检测治具
CN202133388U (zh) 汽车玻璃检测用电子检具
CN105783677A (zh) 一种棒料圆度、直线度的简易检测装置
CN204594368U (zh) 用于测量轴类零件中心孔轴向变动量的检具
CN107478129A (zh) 一种汽车钢板弹簧卷耳单片半弦长度测量装置
CN103900439A (zh) 一种车床尾座主轴顶尖径向跳动与主轴轴向窜动检测装置
CN103537953B (zh) 一种在线可调式检测的加工机构
CN203615852U (zh) 一种精密丝杆中径跳动检测装置
CN203657684U (zh) 带轮内孔端面轴向长度测量装置
CN216558635U (zh) 一种快速检测轴类工件止推面长度的检具
CN206281433U (zh) 减振器弹簧座螺旋升程检测量具
CN204739991U (zh) 一种用于工件的垂直度测量装置
CN203744884U (zh) 零件高度尺寸测量机构
CN202709959U (zh) 工件底厚测量装置
CN203853861U (zh) 一种测量倒角去除量的装置
CN203037185U (zh) 半圆形工件用检测治具
CN202329887U (zh) 一种切削扭矩测量装置
CN206930258U (zh) 一种定量测量面的快速测量工具
CN202171425U (zh) 圆锥小头尺寸用外径千分尺
CN201141757Y (zh) 轴套刀口止尺
CN204988146U (zh) 高精度锥度外圆检具

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140618

Termination date: 20150120

EXPY Termination of patent right or utility model