CN203631511U - 晶圆干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆干燥装置，包括用于干燥晶圆的干燥槽，所述干燥槽的内部设有用于放置晶圆的放置平台，所述放置平台的底端与竖向设置的旋转轴的上端固定连接，所述旋转轴的下端穿透所述干燥槽的底部与调速电机的输出轴传动连接；所述干燥槽的顶部设有槽盖，所述槽盖的内侧固定有喷气装置，所述喷气装置包括呈多边形的中空支架，所述中空支架与总气管连通，所述总气管穿透所述槽盖与热氮气管路连通；所述支架的下部设有与其连通的多个支气管，多个所述支气管均匀分布，每个所述支气管上均连通有喷嘴。本实用新型使晶圆干燥均匀，而且干燥效率高，同时本实用新型具有很高的实用价值。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆干燥装置。
背景技术
在半导体晶圆生产过程中，晶圆的制造工序包括清洗工序和干燥处理工序，但是在清洗工序时晶圆的表面会残留水印或残留清洗液反应物，在进行干燥处理工序时晶圆表面残留的水印或残留清洗液反应物会沉积，而带有沉积物的晶圆对后序制造程序产生影响。因此需在干燥处理工序将晶圆表面残留的水印或残留清洗液反应物除去。
针对上述技术问题，目前采用的晶圆干燥处理方式主要有：1.旋转离心式干燥处理，通过旋转产生的离心力使晶圆表面干燥；2.热氮气干燥处理，通过热氮气管向晶圆表面吹热氮气，使其干燥；3.旋转离心与热氮气相结合的干燥处理。但是其中旋转离心干燥方式往往转速较高，对晶圆造成破坏或转速低而造成干燥不充分，效率不高；其中热氮干燥方式晶圆表面氮气流动性差，干燥不均匀。其中旋转离心与热氮干燥相结合的处理方式效果较好，但只是前两种方式的硬性结合，干燥过程仍需细化完善。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆干燥装置，该干燥装置使晶圆干燥均匀，干燥效率高，适合多种规格的晶圆。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种晶圆干燥装置包括用于干燥晶圆的干燥槽，所述干燥槽的内部设有用于放置晶圆的放置平台，所述放置平台的底端与竖向设置的旋转轴的上端固定连接，所述旋转轴的下端穿透所述干燥槽的底部与调速电机的输出轴传动连接；所述干燥槽的顶部设有槽盖，所述槽盖的内侧固定有喷气装置，所述喷气装置包括呈正多边形的中空支架，所述中空支架与总气管连通，所述总气管穿透所述槽盖与热氮气管路连通；所述支架的下部设有与其连通的多个支气管，多个所述支气管均匀分布，每个所述支气管上均连通有喷嘴。
优选方式为，所述调速电机与PLC控制器电连接，所述PLC控制器用于控制所述调速电机旋转速度。
优选方式为，所述调速电机与PLC控制器电连接，所述PLC控制器用于控制所述调速电机旋转速度。
优选方式为，还包括用于测量所述干燥槽内氮气温度的温度传感器，所述温度传感器的一端伸入所述干燥槽内，另一端与所述PLC控制器电连接。
采用上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：由于本实用新型所述的晶圆干燥装置包括用于干燥晶圆的干燥槽，该干燥槽的内部设有用于放置晶圆的放置平台，该放置平台被调速电机控制旋转。同时干燥槽设有槽盖，该槽盖上固定连接有喷气装置，该喷气装置的正多边形中空的支架安装有总气管和多个均匀分布的支气管，其中总气管接入热氮气，多个支气管的喷嘴喷出热氮气。本实用新型的放置平台上放置了晶圆后，调速电机开始工作带动放置平台旋转，使晶圆实现离心式旋转干燥处理。同时喷气装置的多个喷嘴均匀喷出热氮气，使晶圆实现热氮气干燥处理。本实用新型将离心式干燥处理和热氮气干燥处理结合，同时调速电机根据晶圆的规格调整转速，使晶圆在恰当的转速下进行离心式干燥处理，减少了晶圆的破坏，节省了成本。同时热氮气干燥方式弥补了调速电机因转速降低，而引起的晶圆干燥不充分，干燥效率不高的缺点。本实用新型的热氮气干燥方式的热氮气被喷出均匀，而且多个喷嘴同时喷气，使热氮气流动性好，干燥均匀，从而提高了生产效率，因此本实用新型具有很高的实用价值。
附图说明
图1是本实用新型实施例的干燥装置的结构示意图；
图2是本实用新型实施例的喷气装置的结构示意图；
图中：1—槽盖、2—喷气装置、20—支架、21—总气管、22—支气管、3—干燥槽、4—晶圆、5—放置平台、6—旋转轴、7—调速电机、8—温度传感器、9—加热装置、10—PLC控制器、11—氮气管道、12—热氮气管路。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1和图2所示，一种晶圆干燥装置，包括用于干燥晶圆4的干燥槽3，该干燥槽3的内部设有用于放置晶圆4的放置平台5，该放置平台5的底端与竖向设置的旋转轴6的上端固定连接，该旋转轴6的下端穿透干燥槽3的底部与调速电机7的输出轴传动连接；干燥槽3的顶部设有槽盖1，该槽盖1的内侧固定有喷气装置2，该喷气装置2包括呈正六边形的中空支架20，该中空支架20与总气管21连通，该总气管21穿透槽盖1与热氮气管路12连通；支架20的下部设有与其连通的六个支气管22，六个支气管22均匀分布，每个支气管22上均连通有喷嘴。热氮气管路12与加热装置9的出气端连通，该加热装置9的进气端与氮气管道11连通，该加热装置9用于进入总气管21的氮气加热，该加热装置9还与PLC控制器10电连接。本实用新型还包括用于测量干燥槽3内氮气温度的温度传感器8，该温度传感器8的一端伸入干燥槽3内，另一端与PLC控制器10电连接。
本实用新型在给晶圆4进行干燥处理时，根据晶圆4的规格通过PLC控制器10设定调速电机7的旋转频率。先打开槽盖1将晶圆4放置在干燥槽3内的放置平台5上，然后关闭槽盖1，让低温度的氮气从氮气管道11进入加热装置9的进气端进入加热装置9，该加热装置9将氮气加温后经热氮气管路12进入总气管21，热氮气进入六边形支架20后，分散到六个支气管22内，最后从六个喷嘴喷出。晶圆4在离心式干燥方式和热氮气干燥方式的配合下进行干燥处理。同时本实用新型的调速电机7可以根据晶圆4的规格调整转速，使晶圆4在恰当的转速下进行离心式干燥处理，减少了晶圆4的破坏，节省了成本。同时热氮气干燥方式弥补了调速电机7因转速降低，而引起的晶圆4干燥不充分，干燥效率不高的缺点。本实用新型的热氮气干燥方式的热氮气被喷出均匀，而且六个喷嘴同时喷气，使热氮气流动性好，干燥均匀，从而提高了生产效率，因此本实用新型具有很高的实用价值。
晶圆4在被干燥的过程中，干燥槽3内的热氮气的温度不断被温度传感器8检测，当热氮气温度过高时温度传感器8给PLC控制器10信号，PLC控制器10让加热装置9停止加热，直到温度传感器8检测到热氮气温度过低时，PLC控制器10让加热装置9继续加热。
本实用新型的PLC控制器10内设PLC控制系统。
以上所述本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.晶圆干燥装置，包括用于干燥晶圆的干燥槽，其特征在于：所述干燥槽的内部设有用于放置晶圆的放置平台，所述放置平台的底端与竖向设置的旋转轴的上端固定连接，所述旋转轴的下端穿透所述干燥槽的底部与调速电机的输出轴传动连接；所述干燥槽的顶部设有槽盖，所述槽盖的内侧固定有喷气装置，所述喷气装置包括呈正多边形的中空支架，所述中空支架与总气管连通，所述总气管穿透所述槽盖与热氮气管路连通；所述支架的下部设有与其连通的多个支气管，多个所述支气管均匀分布，每个所述支气管上均连通有喷嘴。
2.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述调速电机与PLC控制器电连接，所述PLC控制器用于控制所述调速电机旋转速度。
3.根据权利要求2所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述热氮气管路与加热装置的出气端连通，所述加热装置的进气端与氮气管道连通，所述加热装置还与所述PLC控制器电连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆干燥装置，其特征在于：还包括用于测量所述干燥槽内氮气温度的温度传感器，所述温度传感器的一端伸入所述干燥槽内，另一端与所述PLC控制器电连接。
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Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106112192A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-11-16 | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 | 一种焊接空洞抑制装置及其工作方法 |
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2013
- 2013-12-26 CN CN201320869694.3U patent/CN203631511U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
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| CN106112192A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-11-16 | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 | 一种焊接空洞抑制装置及其工作方法 |
| CN106112192B (zh) * | 2016-07-25 | 2018-04-03 | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 | 一种焊接空洞抑制装置及其工作方法 |
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