CN203534099U - 一种八工位石英坩埚烘箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石英坩埚涂层加温装置，具体是一种八工位石英坩埚烘箱；现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层，坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果，所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成，每个工作仓设有进出小车，小车滑轮，小车轨道，轨道支架、加热板，集气罩，排气管，电热偶，保温层；进出小车的底部设有小车滑轮，小车滑轮在小车轨道上滑动，小车轨道固定在轨道支架上，轨道支架的下部中间设置加热板，通过加热板对工作仓加温，集气罩设置在工作仓的右上角，排气管和集气罩连接，集气罩内部的气体通过排气管排出，电热偶设置在箱体内侧的保温层内。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英坩埚涂层加温装置，具体是一种八工位石英坩埚烘箱。
背景技术
目前，现有坩埚清洗完后需要进行烘干加温给坩埚涂层，坩埚的温度是否均匀直接影响涂层的效果，现有烘箱是多个坩埚放在一个大烘箱内，需长时间加热才能达到效果，取坩埚时由于窗口太大很容易把热量流失，同时，还需要操作工把手伸进去才能把坩埚抱出，既浪费了热能又给操作人员带来了烘热的痛苦，这样大大降低了生产效率。
发明内容
为解决上述问题，本实用新型设计了一种既节能又操作方便的八工位石英坩埚烘箱，它的技术方案是：所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓组成，每个工作仓由进出小车、小车滑轮、小车轨道、轨道支架、加热板、集气罩、排气管、电热偶、保温层组成，进出小车的底部设有小车滑轮，小车滑轮在小车轨道上滑动，小车轨道固定在轨道支架上，轨道支架的下部中间设置加热板，通过加热板对工作仓加温，集气罩设置在工作仓的右上角，排气管和集气罩连接，集气罩内部的气体通过排气管排出，电热偶设置在箱体内侧的保温层内；将坩埚从一至八工位(工作仓)装完，关门封闭后加热板对其加热，加热后将坩埚取出交到下一个涂层工序，再装入新的需要烘干加温的坩埚，依次连续工作。
我们研发的新型八工位烘箱操作方便，取出坩埚时可以像拉抽屉一样直接把坩埚取出，避免了把胳膊伸入里面抱坩埚易烫伤的危险。
附图说明：
图1是一种八工位石英坩埚烘箱主体结构示意图；
图2是一种八工位石英坩埚烘箱任意一个工作仓结构示意图；
具体实施方式
参照附图1、附图2对本实用新型做进一步的描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法。
所述的一种八工位石英坩埚烘箱由八个单独封闭工作仓1组成，每个工作仓1由进出小车2、小车滑轮3、小车轨道4、轨道支架5、加热板6、集气罩7、排气管8、电热偶9、保温层10组成；进出小车2的底部设有小车滑轮3，小车滑轮3在小车轨道4上滑动，小车轨道4固定在轨道支架5上，轨道支架5的下部中间设置加热板6，通过加热板6对工作仓1内部加温，集气罩7设置在工作仓1的右上角，排气管8和集气罩7连接，集气罩7内部的气体通过排气管8排出，电热偶9设置在箱体内侧的保温层10内；将坩埚从一至八工位(工作仓)装完，关门封闭后加热板6对其加热，加热后将坩埚取出交到下一个涂层工序，再装入新的需要烘干加温的坩埚，依次连续工作。
现有的烘箱20多分钟才能达到所需温度，我们研发的新型八工位烘箱占用空间小，独立式加温快，不到2分钟就可以完成一只坩埚的加热，降低了电量，节约了资源，因此，具有广阔市场前景。
Claims (1)
1.一种八工位石英坩埚烘箱，其特征在于：它由八个单独封闭工作仓(1)组成，每个工作仓(1)由进出小车(2)、小车滑轮(3)、小车轨道(4)、轨道支架(5)、加热板(6)、集气罩(7)、排气管(8)、电热偶(9)、保温层(10)组成；进出小车(2)的底部设有小车滑轮(3)，小车滑轮(3)在小车轨道(4)上滑动，小车轨道(4)固定在轨道支架(5)上，轨道支架(5)的下部中间设置加热板(6)，集气罩(7)设置在工作仓(1)的右上角，排气管(8)和集气罩(7)连接，电热偶(9)设置在箱体内侧的保温层(10)内。
Priority Applications (1)
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| CN201320477986.2U CN203534099U (zh) | 2013-08-03 | 2013-08-03 | 一种八工位石英坩埚烘箱 |
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Publications (1)
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| CN203534099U true CN203534099U (zh) | 2014-04-09 |
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN203534099U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109304831A (zh) * | 2017-07-29 | 2019-02-05 | 江苏宏景电气有限公司 | 用于模具凝胶的烘箱以及凝胶方法 |
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2013
- 2013-08-03 CN CN201320477986.2U patent/CN203534099U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109304831A (zh) * | 2017-07-29 | 2019-02-05 | 江苏宏景电气有限公司 | 用于模具凝胶的烘箱以及凝胶方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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