CN203526172U - 硅片清洗机漏水管防堵装置 - Google Patents

硅片清洗机漏水管防堵装置 Download PDF

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陈前兆
徐昌华
史才成
孟宪亮
郝子龙
郑银先
华贵俊
高超
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Abstract

本实用新型公开了硅片清洗机漏水管防堵装置，包括清洗机水槽内的漏水管，所述漏水管的上端口上设有过滤盖，所述过滤盖上密布有网状通孔，所述通孔的孔径由内向外逐渐缩小。本实用新型在漏水管上设过滤盖，形成一个保护防堵的装置，能够有效防止硅片的碎片落入漏水管内造成堵塞导致清洗剂循环不畅的现象，过滤盖上的漏水孔由内向外逐渐缩小能够保证最大的排列密度，进而保证清洗剂的流通顺畅，保证设备的正常有序运行。

Description

硅片清洗机漏水管防堵装置
技术领域
本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种硅片清洗机漏水管防堵装置。
背景技术
硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物，并制做能够减少表面太阳光反射的绒面结构（制绒），且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。硅片的清洗制绒是在清洗机上实现的，清洗机上配置若干工艺槽位，用户手动上料后全过程由机械传动装置完成腐蚀、清洗等工艺过程。
清洗机的槽底设有漏水管，漏水管与进水孔形成清洗剂的循环系统。现有的漏水管的进水端呈完全的开口状，硅片在清洗机内由于内、外力的原因，经常会出现碎裂，破碎的硅片落入漏水管内会造成管道的堵塞，从而减缓溶剂的循环进而影响硅片的清洗。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片清洗机漏水管防堵装置，增设保护盖，在不影响漏水的同时防止硅片的碎片落入管道造成堵塞，保证清洗的有序进行。
本实用新型通过以下技术方案实现：
硅片清洗机漏水管防堵装置，包括清洗机水槽内的漏水管，所述漏水管的上端口上设有过滤盖，所述过滤盖上密布有网状通孔，所述通孔的孔径由内向外逐渐缩小。
本实用新型进一步的改进方案是，所述过滤盖和所述漏水管的材质相同，所述过滤盖焊接在所述漏水管的上端口外缘。
本实用新型更进一步的改进方案是，所述通孔的直径为3-5mm。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
本实用新型在漏水管上设过滤盖，形成一个保护防堵的装置，能够有效防止硅片的碎片落入漏水管内造成堵塞导致清洗剂循环不畅的现象，过滤盖上的漏水孔由内向外逐渐缩小能够保证最大的排列密度，进而保证清洗剂的流通顺畅，保证设备的正常有序运行。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为图1中A向示意图。
具体实施方式
如图1、2所示的硅片清洗机漏水管防堵装置，包括清洗机水槽内的漏水管1，漏水管1的上端口上设有过滤盖2，过滤盖2和漏水管1的材质相同，过滤盖2焊接在漏水管1的上端口外缘。
其中，过滤盖2上密布有网状通孔3，通孔3的孔径由内向外逐渐缩小。具体的是通孔3的直径由3-5mm渐变。这样设计能够保证通孔的最大排列密度，进而保证清洗剂的流通顺畅，保证设备的正常有序运行。

Claims (3)

1. 硅片清洗机漏水管防堵装置，包括清洗机水槽内的漏水管（1），其特征在于：所述漏水管（1）的上端口上设有过滤盖（2），所述过滤盖（2）上密布有网状通孔（3），所述通孔（3）的孔径由内向外逐渐缩小。
2. 如权利要求1所述的硅片清洗机漏水管防堵装置，其特征在于：所述过滤盖（2）和所述漏水管（1）的材质相同，所述过滤盖（2）焊接在所述漏水管（1）的上端口外缘。
3. 如权利要求1所述的硅片清洗机漏水管防堵装置，其特征在于：所述通孔（3）的直径为3-5mm。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110067029A (zh) * 2019-06-03 2019-07-30 西安奕斯伟硅片技术有限公司 蚀刻装置及蚀刻装置的工作方法

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