CN203519641U - 差分电容式微加速度计 - Google Patents
差分电容式微加速度计 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203519641U CN203519641U CN201320654608.7U CN201320654608U CN203519641U CN 203519641 U CN203519641 U CN 203519641U CN 201320654608 U CN201320654608 U CN 201320654608U CN 203519641 U CN203519641 U CN 203519641U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- polar plate
- movable polar
- shifting board
- fixed
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种差分电容式微加速度计，它包括上移动板、下移动板和固定在上移动板和下移动板上的弹性梁，所述的上移动板和下移动板的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板和下移动板之间还设置有固定极板，所述的固定极板为菱形。其优点是：结构简单，制作工序简单，且电容差值变化沿一定的规律变化，可简化后续的信号处理电路。
Description
技术领域
本实用新型涉及微电子领域，更具体的说是涉及一种差分电容式微加速度计。
背景技术
加速度计是测量载体惯性加速度的仪器，其运用在很多方面。譬如航天航空领域。惯性导航和制导都是以加速度计敏感测量载体运动加速度为基础，因此加速度计的性能直接影响到整个系统的测量精度稳定性以及最终的导航精度。现有的加速度计其包括支撑体、上极板、下极板、导向槽、附加质量块、基座等，其结构复杂，使得加速度计在加工生产时其工序繁琐，使得加工成本和生产成本较高。采用现有的结构方式，使得在对电容差值变化的电路检测中，信号处理电路的结构相对复杂。
实用新型内容
本实用新型提供一种差分电容式微加速度计，其结构简单，制作工序简单，且电容差值变化沿一定的规律变化，可简化后续的信号处理电路。
为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
差分电容式微加速度计，它包括上移动板、下移动板和固定在上移动板和下移动板上的弹性梁，所述的上移动板和下移动板的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板和下移动板之间还设置有固定极板，所述的固定极板为菱形。
更进一步的技术方案是:
所述的上活动极板包括左上活动极板和右上活动极板，所述的下活动极板包括左下活动极板和右下活动极板。
所述的左上活动极板和左下活动极板位于同一垂直面上，所述的右上活动极板和右下活动极板位于同一垂直面上。
所述的固定极板位于左上活动极板和右上活动极板的中间。
所述的固定极板的一条对称轴位于左上活动极板和左下活动极板的中线上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型的结构简单，简化了制作工序，降低了成产成本。
2、本实用新型在对电容的差值变化进行检测时，其电容的变化按一定的斜率变化，使得后续的信号处理电路更简单。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型的结构示意图。
图中的标号为：11、下移动板；12、上移动板；21、右下活动极板；22、左下活动极板；31、右上活动极板；32、左上活动极板；4、固定极板；5、弹性梁。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。
[实施例]
如图1所示的差分电容式微加速度计，它包括上移动板12、下移动板11和固定在上移动板12和下移动板11上的弹性梁5，所述的上移动板12和下移动板11的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板12和下移动板11之间还设置有固定极板4，所述的固定极板4为菱形。
所述的上活动极板包括左上活动极板32和右上活动极板31，所述的下活动极板包括左下活动极板22和右下活动极板21。
所述的左上活动极板32和左下活动极板22位于同一垂直面上，所述的右上活动极板31和右下活动极板21位于同一垂直面上。
所述的固定极板4位于左上活动极板32和右上活动极板31的中间。
所述的固定极板4的一条对称轴位于左上活动极板32和左下活动极板22的中线上。
为了提高测量的精度，在固定极板4的两侧均设置有活动极板。将固定极板4设置在上活动极板和下活动极板的中间，便于对电容变化的差值进行测量，简化后续的信号处理电路。
本实施例的工作过程如下：
当竖直方向的加速度作用于弹性梁5时，通过上移动板12/下移动板11可带动上活动极板/下活动极板向下/上移动，由于固定极板4的位置不会发生变化，则固定极板4会与上活动极板和下活动极板产生一个差动变化的电容值，上活动极板上的电容值增大/减小，下活动极板上的电容值减小/增大，通过对差动变化的电容值的检测即可测得加速度。
由于固定极板为菱形，上移动板12/下移动板11在移动的过程中，其变化是按一定的斜率变化的，呈现一定的规律，使得后续的信号处理电路的结构变得简单。
如上所述即为本实用新型的实施例。本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.差分电容式微加速度计，其特征在于：它包括上移动板（12）、下移动板（11）和固定在上移动板（12）和下移动板（11）上的弹性梁（5），所述的上移动板（12）和下移动板（11）的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板（12）和下移动板（11）之间还设置有固定极板（4），所述的固定极板（4）为菱形。
2.根据权利要求1所述的差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的上活动极板包括左上活动极板（32）和右上活动极板（31），所述的下活动极板包括左下活动极板（22）和右下活动极板（21）。
3.根据权利要求2所述的差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的左上活动极板（32）和左下活动极板（22）位于同一垂直面上，所述的右上活动极板（31）和右下活动极板（21）位于同一垂直面上。
4.根据权利要求3所述的差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的固定极板（4）位于左上活动极板（32）和右上活动极板（31）的中间。
5.根据权利要求4所述的差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的固定极板（4）的一条对称轴位于左上活动极板（32）和左下活动极板（22）的中线上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320654608.7U CN203519641U (zh) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | 差分电容式微加速度计 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320654608.7U CN203519641U (zh) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | 差分电容式微加速度计 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203519641U true CN203519641U (zh) | 2014-04-02 |
Family
ID=50378557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320654608.7U Expired - Fee Related CN203519641U (zh) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | 差分电容式微加速度计 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203519641U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103513056A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-01-15 | 成都市宏山科技有限公司 | 一种差分电容式微加速度计 |
-
2013
- 2013-10-23 CN CN201320654608.7U patent/CN203519641U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103513056A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-01-15 | 成都市宏山科技有限公司 | 一种差分电容式微加速度计 |
| CN103513056B (zh) * | 2013-10-23 | 2016-01-20 | 成都市宏山科技有限公司 | 一种差分电容式微加速度计 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103364585A (zh) | 一种新型介观压阻效应微加速度计 | |
| CN103292787A (zh) | 一种倾角传感器 | |
| CN109470885A (zh) | 一种单片集成光学加速度计 | |
| CN103551921A (zh) | 一种压阻式集成化三维车削力传感器 | |
| CN203606385U (zh) | 一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计 | |
| CN108562909A (zh) | 一种工业机器人轨迹检测装置 | |
| CN203298764U (zh) | 一种倾角传感器 | |
| CN102901520B (zh) | 一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器 | |
| CN205403689U (zh) | 微纳米三坐标测量机接触式扫描探头 | |
| CN203519641U (zh) | 差分电容式微加速度计 | |
| CN103513056B (zh) | 一种差分电容式微加速度计 | |
| CN203133113U (zh) | 一种三轴电容式加速度传感器 | |
| CN103454449A (zh) | 一种三轴微机械加速度计 | |
| CN107782914B (zh) | 一种三轴加速计 | |
| CN210572371U (zh) | 三轴电容式微加速度计 | |
| CN105300368A (zh) | 一种全对称解耦的直接输出频率振动陀螺 | |
| CN104535797A (zh) | 一种单片双轴蝶翼式微机械加速度计 | |
| CN203259542U (zh) | 一种挠性摆式加速度计数字控制电路 | |
| CN102798387B (zh) | 一种soi基巨压阻效应微陀螺 | |
| CN204807074U (zh) | 一种大型盖类产品的平面测量装置 | |
| CN203981704U (zh) | 一种基于边缘效应的带自我标定的电容式微惯性传感器 | |
| CN207882297U (zh) | 一种静电谐振式加速度计 | |
| CN203519642U (zh) | 微加速度传感器结构 | |
| CN103591925B (zh) | 基于三轴加速度传感器的移动平台旋转角度测量方法 | |
| CN204086572U (zh) | 重力梯度检测用石英加速度计 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140402 Termination date: 20141023 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |