CN203501742U - 氮化硅用卧式真空烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于氮化硅制备装置领域，尤其涉及一种氮化硅用卧式真空烧结炉。氮化硅用卧式真空烧结炉，包括水平放置的炉体及与炉体连接的抽真空装置，炉体一端与封盖活动连接，炉体内设有烧结箱，炉体外设有氮气罐，氮气罐通过第一管道与烧结箱连接。本实用新型结构简单，操作方便，炉中放置、取出匣钵时方便且高效，安全性高。
Description
技术领域
本实用新型属于氮化硅制备装置技术领域，尤其涉及一种氮化硅用卧式真空烧结炉。
背景技术
现有技术中，在氮化硅烧结阶段，多采用立式真空烧结炉对硅粉和氮气进行烧结；硅粉放置在匣钵中，然后将多个匣钵放置于立式真空烧结炉中，通入氮气进行高温烧结。这种烧结方式具有如下弊端，烧结炉较高，加之炉中需要放置多个匣钵，在烧结炉中放置、取出匣钵时操作较难，不仅降低工作效率，而且安全性较低。
发明内容
为了克服现有技术不足，本实用新型提供了氮化硅用卧式真空烧结炉，结构简单，操作方便，炉中放置、取出匣钵时方便且高效，安全性高。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：
氮化硅用卧式真空烧结炉，包括水平放置的炉体及与炉体连接的抽真空设备，所述的炉体一端与封盖活动连接，炉体内设有烧结箱，炉体外设有氮气罐，氮气罐通过第一管道与烧结箱连接。
工作时，打开炉体端部活动连接的封盖，将烧结箱从炉体中拉出，将多个装有硅粉的匣钵放入烧结箱中，然后将烧结箱推入炉体中，封闭封盖。抽真空装置将炉体内抽成真空，然后氮气罐内的高纯氮气通过第一管道向烧结箱中输送氮气，然后在一定的温度下烧制氮化硅。当烧结完毕后，打开封盖，将烧结箱从炉体中拉出，将匣钵从烧结箱中取出即可。
优选的，所述的烧结箱底部设有滑轮。
滑轮的设置可以使得烧结箱进、出炉体的过程更加流畅、高效。
优选的，所述的炉体底部设有基座，炉体连接封盖一端外设有与基座水平等高的支撑架。
当烧结箱拉至炉体外时，受到支撑架的支撑，保持所在水平高度不变，防止其内部的匣钵倾翻。
本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：
本实用新型氮化硅用卧式真空烧结炉结构简单，操作方便，炉中放置、取出匣钵时方便且高效，安全性高。
附图说明
图1为本实用新型氮化硅用卧式真空烧结炉的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，氮化硅用卧式真空烧结炉，包括水平放置的炉体1及通过第二管道4与炉体1连接的抽真空装置3，炉体1底部设有基座10，炉体1一端与封盖2活动连接，炉体1该端外设有与基座10水平等高的支撑架9。炉体1内设有烧结箱7，炉体1外设有氮气罐5，氮气罐5通过第一管道6与烧结箱7连接，烧结箱7底部设有滑轮8。
工作时，打开炉体1端部活动连接的封盖2，将烧结箱7从炉体1中靠滑轮8滑动拉出至支撑架9上，将多个装有硅粉的匣钵放入烧结箱7中，然后将烧结箱7推入炉体1中，封闭封盖2。抽真空装置3将炉体1内抽成真空，然后炉体1内施加高温并通过氮气罐5通入氮气，烧制氮化硅。当烧结完毕后，打开封盖2，将烧结箱7从炉体中滑动拉出至支撑架9上，将匣钵从烧结箱7中取出即可。
Claims (3)
1.氮化硅用卧式真空烧结炉，包括水平放置的炉体及与炉体连接的抽真空设备，其特征在于，所述的炉体一端与封盖活动连接，炉体内设有烧结箱，炉体外设有氮气罐，氮气罐通过第一管道与烧结箱连接。
2.如权利要求1所述的氮化硅用卧式真空烧结炉，其特征在于，所述的烧结箱底部设有滑轮。
3.如权利要求1或2所述的氮化硅用卧式真空烧结炉，其特征在于，所述的炉体底部设有基座，炉体连接封盖一端外设有与基座水平等高的支撑架。
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| CN201320635376.0U CN203501742U (zh) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 氮化硅用卧式真空烧结炉 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109631575A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-16 | 宁波晋科自动化设备有限公司 | 一种外热卧式二室烧结炉 |
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2013
- 2013-10-15 CN CN201320635376.0U patent/CN203501742U/zh not_active Expired - Fee Related
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