CN203469635U - 双芯过滤装置 - Google Patents
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Abstract
双芯过滤装置，由辅水阀、主水阀、主过滤器、后端水阀、辅过滤器组成，其特征是主过滤器的前端设置主水阀，主过滤器的后端设置后端水阀，辅过滤器与主过滤器并联设置，辅过滤器的前端设置辅水阀，本实用新型的有益效果是双芯过滤装置在维修或更换滤芯无需停机，可有效提高生产效率，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种双芯过滤装置。
背景技术
目前，配合MOCVD的水路过滤器为Y型过滤器，滤芯为圆筒形网筛，与水路直接连接，在水路过滤器出现异常需要维修或更换滤芯时，MOCVD设备必须停机，浪费生产时间，降低了生产效率，增加了生产成本，而且常常影响产品质量，导致产品质量不稳定。
发明内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种维修或更换滤芯无需停机、可有效提高生产效率、降低生产成本的双芯过滤装置，其具体方案为：所述的双芯过滤装置由辅水阀、主水阀、主过滤器、后端水阀、辅过滤器组成，其特征是主过滤器的前端设置主水阀，主过滤器的后端设置后端水阀，辅过滤器与主过滤器并联设置，辅过滤器的前端设置辅水阀。
本实用新型所述的主过滤器，其特征在于主过滤器的壳体采用不锈钢，主过滤器的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05μm。
本实用新型所述的辅过滤器，其特征在于辅过滤器的壳体采用不锈钢，辅过滤器的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05μm。
本实用新型的有益效果是双芯过滤装置在维修或更换滤芯无需停机，可有效提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：
1.辅水阀，2.主水阀，3.主过滤器，4.后端水阀，5.辅过滤器。
具体实施方式
结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的双芯过滤装置由辅水阀1、主水阀2、主过滤器3、后端水阀4、辅过滤器5组成，其特征是主过滤器3的前端设置主水阀2，主过滤器3的后端设置后端水阀4，辅过滤器5与主过滤器3并联设置，辅过滤器的5前端设置辅水阀1。
本实用新型所述的主过滤器3，其特征在于主过滤器3的壳体采用不锈钢，主过滤器3的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05μm。
本实用新型所述的辅过滤器5，其特征在于辅过滤器5的壳体采用不锈钢，辅过滤器5的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05μm。
本实用新型的有益效果是双芯过滤装置在维修或更换滤芯无需停机，可有效提高生产效率，降低生产成本。
Claims (3)
1.双芯过滤装置，由辅水阀（1）、主水阀（2）、主过滤器（3）、后端水阀（4）、辅过滤器（5）组成，其特征是主过滤器（3）的前端设置主水阀（2），主过滤器（3）的后端设置后端水阀（4），辅过滤器（5）与主过滤器（3）并联设置，辅过滤器的（5）前端设置辅水阀（1）。
2. 根据权利要求1所述的双芯过滤装置，其特征在于主过滤器（3）的壳体采用不锈钢，主过滤器（3）的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05μm。
3. 根据权利要求1所述的双芯过滤装置，其特征在于辅过滤器（5）的壳体采用不锈钢，辅过滤器（5）的滤芯采用陶瓷滤芯，过滤精度为0.05μm。
Priority Applications (1)
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| CN201320559268.XU CN203469635U (zh) | 2013-09-10 | 2013-09-10 | 双芯过滤装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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2013
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