CN203391128U - 硅片切割机床的砂浆过滤系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了硅片切割机床的砂浆过滤系统技术领域中的一种硅片切割机床的砂浆过滤系统,包括硅片切割室、过滤网和砂浆罐,过滤网设置在硅片切割室与砂浆罐之间,还包括过滤罐,过滤罐设置在砂浆罐与硅片切割室之间。采用此种砂浆过滤系统可以提高砂浆在硅片切割过程中的洁净程度,改变机床原过滤装置只能被动过滤的现状,保持砂浆过滤的持续、不间断性,从而提高硅片切割质量和降低废品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及切割机床的过滤系统技术领域。
背景技术
NTC WMW442型机床属于硅片切割设备,原有的砂浆循环过滤装置,只在砂浆参与切割以后,回流至砂浆缸的过程中,经过切割室和砂浆缸所配置的砂浆过滤网时,被动的进行一次过滤,而在砂浆每次进入切割室前没有任何的过滤装置,这样会造成存在于砂浆缸内的沉淀物,进入砂浆的浮尘等杂质,随着砂浆的进入机床参与到硅片切割中,因此会在切割时造成线网跳线,硅片表面线痕、划痕等影响硅片表面质量的问题,如果进入的杂质颗粒较大,还有可能造成断线事故,给生产带来极大不便,给公司造成重大损失。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种提高砂浆在硅片切割过程中的洁净程度,保持砂浆过滤的持续、不间断性,从而提高硅片切割质量和降低废品率的硅片切割机床砂浆过滤系统。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种硅片切割机床的砂浆过滤系统,包括硅片切割室、过滤网和砂浆罐,过滤网设置在硅片切割室与砂浆罐之间,还包括过滤罐,过滤罐设置在砂浆罐与硅片切割室之间,所述过滤罐与砂浆罐、硅片切割室间通过管件相连通。
优选的,所述过滤罐与砂浆罐、硅片切割室间的管路上设有阀门。
优选的,所述过滤罐包括罐体、罐盖和内置过滤网,内置过滤网设置在罐体内,罐盖设置在罐体的开口端,罐盖与罐体之间为铰连接和螺栓连接,罐盖与罐体之间设有密封垫,罐体的罐壁上部设有进口,罐壁下部设有出口。
优选的,所述内置过滤网为120目不锈钢过滤网。
优选的,罐盖上设有把手。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:增加过滤罐后可以提高砂浆在硅片切割过程中的洁净程度,改变机床原过滤装置只能被动过滤的现状,保持砂浆过滤的持续、不间断性,从而提高硅片切割质量和降低废品率,过滤罐安装简单,内置过滤网更换方便,具有很强的实用性。
附图说明
图1是本实用新型的结构框图;
图2是图1 中过滤罐4的整体轮廓图;
图3是图2打开状态下的立体图;
图4是图2中的内置过滤网7的结构示意图;
图中:1-硅片切割室,2-过滤网,3-砂浆罐,4-过滤罐,5-罐体,6-罐盖,7-内置过滤网,8-把手,9-进口,10-出口,11-提手。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1所示,一种硅片切割机床的砂浆过滤系统,包括硅片切割室1、过滤网2和砂浆罐3,过滤网2设置在硅片切割室1与砂浆罐3之间,还包括过滤罐4,过滤罐4设置在砂浆罐3与硅片切割室1之间,硅片切割室1间通过管件相连通,所述过滤罐4内置120目不锈钢过滤网,所述过滤罐4与砂浆罐3、硅片切割室1间的管路上设有阀门;优选的,所述过滤罐4包括罐体5、罐盖6和内置过滤网7,内置过滤网7设置在罐体5内,罐盖6设置在罐体5的开口端,罐盖6与罐体5之间为铰连接和螺栓连接,方便拆卸。罐盖6与罐体5之间设有密封垫,所述内置过滤网7为120目不锈钢过滤网,罐盖上设有把手8,便于操作。
具体实施方法为,在NTC WMW442型硅片切割机床的循环管路上,增加了一个砂浆过滤罐4,内置120目超细不锈钢过滤网2,在砂浆开始循环时,先进入过滤罐4进行过滤,然后再进入机床的硅片切割室1,在砂浆参与切割以后,回流至砂浆罐3的过程中,经过硅片切割室1和砂浆罐3所配置的砂浆过滤网2时,再进行一次过滤。过滤罐4包括罐体5、罐盖6和内置过滤网7,使用时打开罐盖6,罐盖6与罐体5铰连接,装入内置过滤网7,为了便于操作,内置过滤网7的开口端边缘设有提手11,提手11与内置过滤网7活动铰连接,内置过滤网7处于罐体5的中下部,在内置过滤网7的上边且在罐体5的罐壁上部设有进口9,罐壁下部设有出口10,装入内置过滤网7后,盖上罐盖6,上紧4个紧固螺栓,砂浆由过滤罐4的进口9进入罐体5内,经过内置过滤网7的过滤,由罐壁下部的出口10出来,再进入机床的硅片切割室1,如此一来,在砂浆进入机床硅片切割室1前,先完成一次过滤,去除大部分的杂质,再参与切割,在增加了过滤罐4后,NTC MWM442型机床的砂浆循环、过滤系统在砂浆进入机床到参与切割,完全处于密闭状态,杜绝了外来杂质的进入,同时可以将切割时进入砂浆的杂质过滤干净,如此砂浆在循环过程中,不间断的进行过滤,始终保证了进入机床砂浆的洁净度。
采用此种硅片切割机床的砂浆过滤系统可以提高砂浆在硅片切割过程中的洁净程度,改变了NTC WMW442型机床原有过滤装置只能被动过滤的现状,保持砂浆过滤的持续、不间断性,可以避免在切割时造成线网跳线,硅片表面线痕、划痕等影响硅片表面质量的问题,同时避免了颗粒较大杂质进入系统内,避免了断线事故的发生,降低了废品率,保证了生产的顺利进行。
Claims (5)
1.一种硅片切割机床的砂浆过滤系统,包括硅片切割室(1)、过滤网(2)和砂浆罐(3),过滤网(2)设置在硅片切割室(1)与砂浆罐(3)之间,其特征在于:还包括过滤罐(4),过滤罐(4)设置在砂浆罐(3)与硅片切割室(1)之间,所述过滤罐(4)与砂浆罐(3)、硅片切割室(1)间通过管件相连通。
2.根据强烈要求1所述的硅片切割机床的砂浆过滤系统,其特征在于:所述过滤罐(4)与砂浆罐(3)、硅片切割室(1)间的管路上设有阀门。
3.根据强烈要求1所述的硅片切割机床的砂浆过滤系统,其特征在于:所述过滤罐(4)包括罐体(5)、罐盖(6)和内置过滤网(7),内置过滤网(7)设置在罐体(5)内,罐盖(6)设置在罐体(5)的开口端,罐盖(6)与罐体(5)之间为铰连接和螺栓连接,罐盖(6)与罐体(5)之间设有密封垫,罐体(5)的罐壁上部设有进口(9),罐壁下部设有出口(10)。
4.根据强烈要求2所述的硅片切割机床的砂浆过滤系统,其特征在于:所述内置过滤网(7)为120目不锈钢过滤网。
5.根据强烈要求2所述的硅片切割机床的砂浆过滤系统,其特征在于:罐盖(6)上设有把手(8)。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105233550A (zh) * | 2015-09-30 | 2016-01-13 | 浙江辉弘光电能源有限公司 | 一种硅片切割机用过滤水箱 |
CN105500542A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-04-20 | 苏州市汇峰机械设备有限公司 | 一种多线切割机砂浆箱 |
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