CN203390437U - 一种腔体产品组立治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种腔体产品组立治具，包括基座，基座上设有用于定位腔体产品的基准定位装置和确定小管的高度定位装置，基准定位装置包括设于基座两侧的夹紧板和推紧机构，高度定位装置包括支撑杆和设于支撑杆上的夹具，夹具上设有定位杆，腔体产品的小管套设于定位杆上并与腔体产品的球面顶端接触，本实用新型通过治具的定位装置对腔体产品搭建进行定位，使原来需经多次调节定位的小管非常容易地放置到了设计位置并保证了焊接后的小管与法兰面的垂直度，腔体产品的搭建快速便捷且准确率高，降低了加工时间和成本。

Description

一种腔体产品组立治具

技术领域

本实用新型涉及到一种组装治具，尤其涉及到一种操作快速便捷、定位准确的腔体产品组立治具。

背景技术

石英产品属于半导体设备中的重要产品，需经过反应腔的高温热处理，并与外部金属隔离，保证无金属离子进入反应腔体内，现有技术对腔体的装配加工一般采用高度尺在石墨块上进行划线以初定小管大致位置，再搭建石墨块确定小管的具体位置之后进行焊接，由于石墨块顶端为球面体且涉及多次定位和夹持，使小管的一次定位准确率很低，需经反复调整才能达到要求，定位操作效率低，时间长，造成产品质量不稳定，生产成本很高，对于批量产品加工时，需要多道工序和更多人员参与生产，劳动生产率低。

实用新型内容

本实用新型主要解决现有技术的小管定位准确率低、定位时间长的技术问题；提供了一种操作快速便捷、定位准确的腔体产品组立治具。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型主要是采用下述技术方案：

本实用新型的一种腔体产品组立治具，用于腔体产品的搭建焊接，腔体产品包括法兰、设于法兰上的石墨块和固接于石墨块球面顶端呈水平状的小管，所述组立治具包括基座，所述基座上设有用于定位腔体产品的基准定位装置和确定小管的高度定位装置，腔体产品置于基座表面，所述基准定位装置包括对称设置于基座两侧用于夹持腔体产品的夹紧板和推动夹紧板的推紧机构，所述高度定位装置包括垂直于基座并与基座固定的支撑杆和设于支撑杆上并可沿支撑杆上下移动的夹具，所述夹具上设有水平设置的定位杆，所述定位杆头部悬空且朝向腔体产品，定位杆外径与所述小管的内径相吻合，小管套设于定位杆上并与石墨块的球面顶端接触，通过治具的基准定位装置和高度定位装置对腔体产品的搭建进行定位，利用基准定位装置对放置于基座上的腔体产品法兰进行准确定位并夹紧，利用高度定位装置的定位杆将待焊接小管准确定位并触靠在石墨块的球面顶端，使原来需经多次调节定位的小管非常容易地放置到了设计位置并保证了焊接后的小管与法兰面的垂直度，腔体产品的搭建快速便捷且准确率高，降低了加工时间和成本，而可调节的基准定位装置和高度定位装置也可适应不同规格的产品，适应性好。

作为优选，所述基座呈平板状，基座的一侧设有与基座一体结构的挡板，所述挡板的两端下沿设有开口朝向内侧的导槽，所述夹紧块的一侧下沿设有凸条，所述凸条与所述导槽相吻合，夹紧块插入导槽并可沿导槽滑动，所述推紧机构包括固定于基座边沿的固定块和设于固定块上与基座表面平行的紧固螺栓，所述紧固螺栓的头部正对夹紧板且可推动夹紧板向基座内侧水平移动，基座两侧对称设置的夹紧板可在紧固螺栓的推动下向内侧移动并夹紧腔体产品的法兰，导槽可准确引导夹紧板仅水平移动而不会跑偏或上翘，使腔体产品的法兰定位准确，操作便捷。

作为优选，所述高度定位装置包括中空且垂直于基座的支撑杆和插设于支撑杆内并可沿支撑杆上下移动的升降杆，所述支撑杆固设于所述挡板的中部，所述夹具设于所述升降杆的顶部，通过升降杆和夹具的移动，可双重调节定位杆的高度，调节范围更大，套装在定位杆上的小管可方便触靠并定位于石墨块的球面顶端，使腔体产品的搭建便捷准确。

作为优选，所述支撑杆上设有固定升降杆的拧紧螺栓。

作为优选，所述升降杆的杆身上设有高度刻度线，调节定位杆高度时方便快捷。

作为优选，所述基座、夹紧板和定位杆均为高纯石墨材质，组立治具与石英类腔体产品的接触部分采用高纯石墨制作，不会对腔体产品造成金属污梁，耐高温能力好，不易变形。

作为优选，所述推紧机构和高度定位装置均为不锈钢材质，活动调节部件采用不锈钢材质，结构牢固可靠，在高温下不会变形，制作加工也较容易，制作成本较低。

本实用新型的有益效果是：通过治具的基准定位装置和高度定位装置对腔体产品的搭建进行定位，利用基准定位装置对放置于基座上的腔体产品法兰进行准确定位并夹紧，利用高度定位装置的定位杆将待焊接小管准确定位并触靠在石墨块的球面顶端，使原来需经多次调节定位的小管非常容易地放置到了相应位置并保证了焊接后的小管与法兰面的垂直度，腔体产品的搭建快速便捷且准确性好，降低了加工时间和成本，而可调节的基准定位装置和高度定位装置也可适应不同规格的产品搭建。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

图2是本实用新型的使用示意图。

图中 1.腔体产品，11.法兰，12.石墨块，13.小管，2.基座，21.挡板，22.导槽，23.固定块，24.紧固螺栓，3.夹紧板，4.支撑杆，41.拧紧螺栓，5.夹具，6.定位杆，7.升降杆。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：本实施例的一种腔体产品组立治具，如图1和图2所示，用于腔体产品1的搭建焊接，腔体产品包括法兰11、设于法兰上的石墨块12和焊接于石墨块球面顶端呈水平状的小管13，组立治具包括基座2，在基座上设计有用于定位腔体产品的基准定位装置和确定小管位置的高度定位装置，腔体产品放置于基座表面，基座呈平板状，基座的一侧设计有与基座一体结构的挡板21，挡板两端的下沿加工有开口朝向内侧的导槽22，基准定位装置包括对称设置于基座两侧用于夹持腔体产品的夹紧板3和推动夹紧板的推紧机构，夹紧板的一侧下沿加工有凸条，凸条与导槽相吻合，夹紧板插入导槽并可沿导槽滑动，推紧机构包括固定于基座边沿的固定块23和安装于固定块上并与基座表面平行的紧固螺栓24，紧固螺栓的头部正对夹紧板，当旋紧紧固螺栓时可推动夹紧板向基座内侧水平移动；高度定位装置包括中空且垂直于基座的支撑杆4和插设于支撑杆内并可沿支撑杆上下移动的升降杆7，支撑杆固定于挡板的中部，在支撑杆的顶端设有拧紧螺栓41，升降杆通过拧紧螺栓固定于支撑杆上，在升降杆的顶部安装有夹具5，夹具上夹持有水平设置的定位杆6，定位杆头部悬空且朝向腔体产品，定位杆外径与小管的内径相吻合，小管套装在定位杆上并与石墨块的球面顶端贴靠，基座、夹紧板和定位杆均为高纯石墨材质制成，而推紧机构的固定块、紧固螺栓及高度定位装置的支撑杆、升降杆、夹具和拧紧螺栓均为不锈钢制成。

腔体产品搭建时，先将腔体产品法兰放置于基座上，使法兰边贴靠基座的挡板，通过拧紧基座两端固定块上的紧固螺栓，推动嵌设于导槽内的夹紧板沿导槽向基座内侧移动，调整两侧夹紧板使法兰中心线对准支撑杆的中心线板并夹紧，完成法兰的基准定位，将石墨块固定于法兰上，同时，通过拧紧螺栓调整升降杆的高度和夹具的位置，使夹具上的定位杆高度达到腔体产品小管的位置高度，将小管套装于定位杆内，小管的端部接触并贴靠在石墨块的球面顶端，完成小管在球面石墨块上的定位，再采用氢氧气焰对小管进行焊接，完成整个腔体产品的搭建组装，小管的定位一次完成，不需要调整，而且根据不同的小管，还可设计相对应的定位杆，适应性好。

在本实用新型的描述中，技术术语“顶端”、“一侧”、“下沿”、“中部”、“顶部”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本实用新型的技术方案，以上说明并非对本实用新型作了限制，本实用新型也不仅限于上述说明的举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种腔体产品组立治具，用于腔体产品（1）的搭建焊接，腔体产品包括法兰（11）、设于法兰上的石墨块（12）和固接于石墨块球面顶端呈水平状的小管（13），其特征在于：所述组立治具包括基座（2），所述基座上设有用于定位腔体产品的基准定位装置和确定小管的高度定位装置，腔体产品置于基座表面，所述基准定位装置包括对称设置于基座两侧用于夹持腔体产品的夹紧板（3）和推动夹紧板的推紧机构，所述高度定位装置包括垂直于基座并与基座固定的支撑杆（4）和设于支撑杆上并可沿支撑杆上下移动的夹具（5），所述夹具上设有水平设置的定位杆（6），所述定位杆头部悬空且朝向腔体产品，定位杆外径与所述小管的内径相吻合，小管套设于定位杆上并与石墨块的球面顶端接触。

2.根据权利要求1所述的一种腔体产品组立治具，其特征在于：所述基座（2）呈平板状，基座的一侧设有与基座一体结构的挡板（21），所述挡板的两端下沿设有开口朝向内侧的导槽（22），所述夹紧块（3）的一侧下沿设有凸条，所述凸条与所述导槽相吻合，夹紧块插入导槽并可沿导槽滑动，所述推紧机构包括固定于基座边沿的固定块（23）和设于固定块上与基座表面平行的紧固螺栓（24），所述紧固螺栓的头部正对夹紧板且可推动夹紧板向基座内侧水平移动。

3.根据权利要求2所述的一种腔体产品组立治具，其特征在于：所述高度定位装置包括中空且垂直于基座的支撑杆（4）和插设于支撑杆内并可沿支撑杆上下移动的升降杆（7），所述支撑杆固设于所述挡板（21）的中部，所述夹具（5）设于所述升降杆的顶部。

4.根据权利要求3所述的一种腔体产品组立治具，其特征在于：所述支撑杆（4）上设有固定升降杆（7）的拧紧螺栓（41）。

5.根据权利要求3所述的一种腔体产品组立治具，其特征在于：所述升降杆（7）的杆身上设有高度刻度线。

6.根据权利要求1所述的一种腔体产品组立治具，其特征在于：所述基座（2）、夹紧板（3）和定位杆（6）均为高纯石墨材质。

7.根据权利要求1所述的一种腔体产品组立治具，其特征在于：所述推紧机构和高度定位装置均为不锈钢材质。

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