CN203300685U - 一种GaN基发光二极管外延片 - Google Patents
一种GaN基发光二极管外延片 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203300685U CN203300685U CN2013203554166U CN201320355416U CN203300685U CN 203300685 U CN203300685 U CN 203300685U CN 2013203554166 U CN2013203554166 U CN 2013203554166U CN 201320355416 U CN201320355416 U CN 201320355416U CN 203300685 U CN203300685 U CN 203300685U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- epitaxial wafer
- pgan
- gan
- emitting diode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种GaN基发光二极管外延片,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、uGaN层(3)、nGaN(4)、MQW发光层(5)以及HT—pGaN层(7),其特征在于:所述MQW发光层(5)与HT—pGaN层(7)之间设置有LT—pGaN层(6),本实用新型有效解决传统外延片抗静电能力差,从而导致芯片击穿和发光效率低的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及LED外延片技术领域,具体涉及一种GaN基发光二极管外延片。
背景技术
目前,蓝绿光发光二极管的主流是在蓝宝石或碳化硅衬底上生长GaN材料,其中绝大部分采用蓝宝石作为衬底,由于蓝宝石衬底与GaN材料之间较大的晶格失配与热失配,导致GaN外延层内产生高密度的缺陷,例如穿透位错。实验证明这些缺陷是III族氮化物基发光二极管中反向漏电电流产生的一个重要途径。现有的外延片在生产过程中,通常是在生长完MQW发光层InGaN/GaN的多量子阱层后直接生长高温p型GaN或者生长p型AlGaN, 上述生产过程由于生长温度较高,容易形成对临近周期的InGaN的破坏,使其In组分容易析出,导致ESD变差。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种GaN基发光二极管外延片,该技术方案有效解决传统外延片抗静电能力差,从而导致芯片击穿和发光效率低的问题。
本实用新型通过以下技术方案实现:
一种GaN基发光二极管外延片,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、uGaN层(3)、nGaN(4)、MQW发光层(5)以及HT—pGaN层(7),其特征在于:所述MQW发光层(5)与HT—pGaN层(7)之间设置有LT—pGaN层(6)。
本实用新型进一步技术改进方案是:
所述LT—pGaN(6)厚度为60nm。
本实用新型与现有技术相比,具有以下明显优点:本实用新型在传统外延片的MQW发光层与HT—pGaN层之间设置LT—pGaN层,该层生长温度低,在量子阱后易形成不规则结构使得静电易分散,降低了瞬间放电产生的瞬间电流的密度,从而提高GaN基LED芯片抗ESD能力,同时也改善了量子阱界面质量,大大增强量子阱发光强度,从而提高了GaN基LED芯片的发光效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图1中1为蓝宝石衬底层、2为Buffer—缓冲层、3为uGaN层、4为nGaN、5为MQW发光层、6为LT(低温)—pGaN层、7为HT(高温)—pGaN层。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型包括蓝宝石衬底层1、Buffer—缓冲层2、uGaN层3、nGaN4、MQW发光层5以及HT—pGaN层7,所述MQW发光层5与HT—pGaN层7之间设置有LT—pGaN层6,LT—pGaN层6厚度为60nm。
本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
Claims (2)
1.一种GaN基发光二极管外延片,包括蓝宝石衬底层(1)、Buffer—缓冲层(2)、uGaN层(3)、nGaN(4)、MQW发光层(5)以及HT—pGaN层(7),其特征在于:所述MQW发光层(5)与HT—pGaN层(7)之间设置有LT—pGaN层(6)。
2.根据权利要求1所述的一种GaN基发光二极管外延片,其特征在于:所述LT—pGaN层(6)厚度为60nm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2013203554166U CN203300685U (zh) | 2013-06-20 | 2013-06-20 | 一种GaN基发光二极管外延片 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2013203554166U CN203300685U (zh) | 2013-06-20 | 2013-06-20 | 一种GaN基发光二极管外延片 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203300685U true CN203300685U (zh) | 2013-11-20 |
Family
ID=49576676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2013203554166U Expired - Fee Related CN203300685U (zh) | 2013-06-20 | 2013-06-20 | 一种GaN基发光二极管外延片 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203300685U (zh) |
-
2013
- 2013-06-20 CN CN2013203554166U patent/CN203300685U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Sun et al. | GaN-on-Si blue/white LEDs: epitaxy, chip, and package | |
CN102185056B (zh) | 提高电子注入效率的氮化镓基发光二极管 | |
CN101834248B (zh) | 氮化镓系发光二极管 | |
CN105633235B (zh) | 一种n型GaN结构的GaN基LED外延结构及生长方法 | |
JP2007123398A (ja) | 半導体発光素子およびそれを用いる照明装置ならびに半導体発光素子の製造方法 | |
CN103413877B (zh) | 外延结构量子阱应力释放层的生长方法及其外延结构 | |
CN105449051B (zh) | 一种采用MOCVD技术在GaN衬底或GaN/Al2O3复合衬底上制备高亮度同质LED的方法 | |
CN103730557A (zh) | 一种具有新型的p型电子阻挡层结构的发光二极管及生长方法 | |
CN102005513A (zh) | 具有低温p型GaN层的氮化镓系发光二极管 | |
CN102064254A (zh) | 高质量氮化镓系发光二极管 | |
CN101728472A (zh) | 一种多层led芯片结构及其制备方法 | |
CN105070807A (zh) | 一种增加GaN基反向电压的外延结构及其生长方法 | |
CN103855263A (zh) | 一种具有极化隧道结的GaN基LED外延片及其制备方法 | |
CN103594579B (zh) | 一种氮化物发光二极管的外延结构 | |
CN106848017B (zh) | 一种GaN基发光二极管的外延片及其生长方法 | |
CN103441200A (zh) | 一种设置有低温uGaN层的发光二极管外延片 | |
CN105702829A (zh) | 具有p-型欧姆接触层的发光二极管外延结构 | |
CN103346222A (zh) | 一种设置N-SLS层的GaN基发光二极管外延片 | |
CN201766093U (zh) | 一种氮化镓系发光二极管 | |
CN104218125A (zh) | 一种白光led的生长方法及利用该生长方法制备的白光led | |
CN203367344U (zh) | 一种设置有低温uGaN层的发光二极管外延片 | |
CN103137808A (zh) | 具有低温n型插入层的氮化镓系发光二极管及其制备方法 | |
CN205452329U (zh) | 一种氮化镓基led外延结构 | |
CN203300685U (zh) | 一种GaN基发光二极管外延片 | |
CN203367340U (zh) | 一种设置N-SLS层的GaN基发光二极管外延片 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131120 Termination date: 20140620 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |