CN203174220U - 一种晶体提拉生长监控装置 - Google Patents

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China
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lifting furnace
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CN 201320143709
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刘承勇
陈锦凯
肖钰斐
陈杰
陈生
俞佳
肖昌东
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Casix Inc
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Casix Inc
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Abstract

本实用新型提供了一种晶体提拉生长监控装置,所述监控装置包括一提拉炉组、一通信板以及一计算机,所述提拉炉组包括一提拉炉、一提拉炉控制箱、一编码器以及一摄像机,所述提拉炉与提拉炉控制箱相连,所述摄像机设置在一移动支架上,所述移动支架设置在提拉炉的一观察窗处,且摄像机的摄像头对准观察窗,所述摄像机与编码器相连,所述提拉炉组通过编码器与计算机相连,所述提拉炉组的提拉炉控制箱通过通信板与计算机相连。本实用新型能够降低人工成本以及人工劳动强度,提高生产效率以及成品率。

Description

一种晶体提拉生长监控装置
【技术领域】
本实用新型涉及一种晶体提拉生长监控装置。
【背景技术】
传统的CRG晶体提拉生长是靠操作人员通过肉眼直接观察炉内晶体生长状态,手动调节提拉炉温度、拉速和转速等控制参数。由于晶体提拉生长过程不稳定,需要操作人员时刻观察炉内晶体的生长情况和调节控制参数,若有多台炉子生长晶体,则操作员必须不停地在炉子间走来走去以观察与控制晶体生长,如果有一台炉子内晶体生长情况出现问题,就需要操作员多花些时间停留在炉前调节控制参数进行处理,此时就无暇顾及其它炉子的情况。因此,每个操作人员最多只能看1到2台炉子,人工成本高。由于操作员是通过肉眼直接目视炉内强光,导致其肉眼容易疲劳,而在疲劳状态下容易导致操作员产生误判断与误操作,使晶体生长的成品率降低。
【发明内容】
本实用新型要解决的技术问题,在于提供一种晶体提拉生长监控装置,能够降低人工成本以及人工劳动强度,提高生产效率以及成品率。
本实用新型是这样实现的:
一种晶体提拉生长监控装置,所述监控装置包括一提拉炉组、一通信板以及一计算机,所述提拉炉组包括一提拉炉、一提拉炉控制箱、一编码器以及一摄像机,所述提拉炉与提拉炉控制箱相连,所述摄像机设置在一移动支架上,所述移动支架设置在提拉炉的一观察窗处,且摄像机的摄像头对准观察窗,所述摄像机与编码器相连,所述提拉炉组通过编码器与计算机相连,所述提拉炉组的提拉炉控制箱与通信板相连,所述通信板通过一通信线与计算机相连。
进一步地,所述通信线为485通信线。
进一步地,所述监控装置还包括一路由器以及至少两组提拉炉组,各所述提拉炉组的编码器分别通过所述路由器与计算机相连,且各所述提拉炉组的提拉炉控制箱均连接至通讯板。
本实用新型的优点在于:
可以将摄像机拍摄到的视频上传至计算机,操作人员只需在计算机前观察提拉炉内晶体的生长情况,并且通过计算机对提拉炉控制箱的参数设置进行控制,操作人员无需直接目视提拉炉内的强光,肉眼不易疲劳,误判率和误操作率降低,因此大大提高了晶体提拉生长的效率和成品率;另外,还可利用一台计算机对多个提拉炉的晶体生长情况进行视频监控和参数控制,一个操作人员就可同时管理数台的提拉炉,大大降低了人工成本,并且降低操作人员的劳动强度。
【附图说明】
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的提拉炉组为至少两组的结构示意图。
【具体实施方式】
请参阅图1和图2所示,对本实用新型的实施例进行详细的说明。
如图1所示,本实用新型所涉及的一种晶体提拉生长监控装置,所述监控装置包括一提拉炉组、一计算机1以及一通信板2,所述提拉炉组包括一提拉炉3、一提拉炉控制箱4、一编码器5以及一摄像机6,所述提拉炉3与提拉炉控制箱4相连,所述摄像机6设置在一移动支架7上,所述移动支架7设置在提拉炉3的一观察窗31处,且摄像机6的摄像头对准观察窗31,所述摄像机6与编码器5相连,所述提拉炉组通过编码器5与计算机1相连,所述提拉炉组的提拉炉控制箱4与通信板2相连,所述通信板2通过一通信线8与计算机1相连;所述通信线8为485通信线。
重点参阅图2,所述监控装置还包括一路由器9以及至少两组提拉炉组,各所述提拉炉组的编码器5分别通过所述路由器9与计算机1相连,且各所述提拉炉组的提拉炉控制箱4均连接至通讯板2。
本实用新型的原理如下:
摄像机6透过提拉炉3观察窗31实时放大拍摄到的晶体10的生长情况,拍摄到的视频信号通过编码器5编码再传送给计算机1,由计算机1上的视频软件进行显示。摄像机6固定在移动支架7上,所述移动支架7可以上下左右移动,这样摄像机6就可以从不同方位不同角度实时拍摄晶体10的生长情况。
通信板2读取提拉炉控制箱4上的控制信号(如温度、拉速、转速等控制参数值),通过485通信线将所读取到的信号值传送给计算机1,并由计算机1上的软件进行参数显示。计算机1将控制信号发送给通信板2,由通信板2对提拉炉控制箱4进行控制参数设置。
本实用新型通过视频接入(摄相机+编码器+以太网)的方式,实现了在计算机端进行晶体生长过程实时画面监控、反馈晶体生长过程的品质,从而指导操作人员如何调整晶体提拉生长炉的相关参数。
通过RS485及Modbus协议通信方式(通信板+提拉炉控制箱+RS485通信线),实现了在计算机端进行提拉炉控制箱的相关晶体生长过程参数的控制,如晶体生长速度、晶体转动速度、熔炉温度等等。
本实用新型通过RS485及视频流以太网传输,实现了远程监控功能,即控制端可远离晶体提拉生长现场,距离可达1Km,如同现场操作;还可实现1台计算机监控多台晶体提拉炉同时生长;通过计算机控制的方式,实现了由传统仪表面板控制提拉炉生长参数变为由软件窗口控制提拉炉生长参数且实现了晶体生长原始参数的记录和数据分析,从而自动优化生长参数。
本实用新型可以将摄像机6拍摄到的视频上传至计算机1,操作人员只需在计算机1前观察提拉炉3内晶体10的生长情况,并且通过计算机1对提拉炉控制箱4的参数设置进行控制,操作人员无需直接目视提拉炉3内的强光,肉眼不易疲劳,误判率和误操作率降低,因此大大提高了晶体提拉生长的效率和成品率;另外,还可利用一台计算机对多个提拉炉的晶体生长情况进行视频监控和参数控制,一个操作人员就可同时管理数台的提拉炉,大大降低了人工成本,并且降低操作人员的劳动强度。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式,但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解,我们所描述的具体的实施例只是说明性的,而不是用于对本实用新型的范围的限定,熟悉本领域的技术人员在依照本实用新型的精神所作的等效的修饰以及变化,都应当涵盖在本实用新型的权利要求所保护的范围内。

Claims (3)

1.一种晶体提拉生长监控装置,其特征在于:所述监控装置包括一提拉炉组、一通信板以及一计算机,所述提拉炉组包括一提拉炉、一提拉炉控制箱、一编码器以及一摄像机,所述提拉炉与提拉炉控制箱相连,所述摄像机设置在一移动支架上,所述移动支架设置在提拉炉的一观察窗处,且摄像机的摄像头对准观察窗,所述摄像机与编码器相连,所述提拉炉组通过编码器与计算机相连,所述提拉炉组的提拉炉控制箱与通信板相连,所述通信板通过一通信线与计算机相连。
2.如权利要求1所述的一种晶体提拉生长监控装置,其特征在于:所述通信线为485通信线。
3.如权利要求1或2所述的一种晶体提拉生长监控装置,其特征在于:所述监控装置还包括一路由器以及至少两组提拉炉组,各所述提拉炉组的编码器分别通过所述路由器与计算机相连,且各所述提拉炉组的提拉炉控制箱均连接至通讯板。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104746136A (zh) * 2015-04-14 2015-07-01 福建江夏学院 一种用于提拉炉的激光监控分析系统
CN106480496A (zh) * 2015-08-26 2017-03-08 有研半导体材料有限公司 一种用于实现直拉单晶收尾自动化的装置

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