CN203125931U

CN203125931U - 一种胶膜整平装置

Info

Publication number: CN203125931U
Application number: CN 201320005223
Authority: CN
Inventors: 陶治奇; 黄维刚; 张旭; 吴海龙; 王维
Original assignee: Changan University
Current assignee: Changan University
Priority date: 2013-01-06
Filing date: 2013-01-06
Publication date: 2013-08-14
Anticipated expiration: 2023-01-06

Abstract

本实施例给出一种胶膜整平装置，包括底座，所述的底座上设置有第一立柱和第二立柱，第一立柱顶部的一侧安装有第一电机，第一电机的输出轴连接第一丝杠；第二立柱上的一侧设有滑轨，在第一立柱和第二立柱之间还设置有横梁，横梁的轴向开设有贯穿横梁上下底面的长孔，横梁的一端安装在第一丝杠上，横梁的另一端安装在第二横梁的滑轨上；在横梁上安装有第二电机，第二电机通过齿轮副与安装在横梁长孔上的第二丝杠连接；在第二丝杠上安装有滑块，滑块上安装有刀具，在底座顶部安装有承片台，承片台的底部与驱动轴固结，驱动轴由设置在驱动轴一侧的皮带机驱动。本实用新型解决了由于电机振动对给进精度的影响，使胶膜切削的均匀性得到精确控制。

Description

一种胶膜整平装置

技术领域

本实用新型涉及机械加工领域，具体涉及一种胶膜整平装置。

背景技术

光刻、电铸、注塑、紫外光光刻、激光电铸、激光光刻等技术是近年微细加工领域的研究热点，其工艺过程主要由涂胶、曝光、显影等步骤组成，其中涂胶所得胶膜的厚度及其均匀性的控制是制备高质量胶膜的保证。但由于厚胶粘度高，经过匀胶、前烘等工艺后，胶膜表面出现褶皱、气泡等缺陷，使胶膜表面凹凸不平，均匀性受到严重影响，对后续工序也极为不利，甚至使所造微结构零部件报废，所以对胶膜进行整平显得至关重要。

现有的胶膜平整装置中，底座上只设有一个立柱，在进行切削作业时，由于滑块重量、切削力等因素会对横梁产生很大的弯矩，横梁处于简支梁受力，对横梁的刚度和强度的要求高；由于电机转动、切削等因素，衡量的稳定性差，电机的转动对精密丝杠的给进精度造成较大的影响。

发明内容

本实用新型的目的在于，提供一种结构紧凑、工作效率高、实用性强的双立柱厚胶膜整平装置。

为了实现上述任务，本实用新型采用以下技术方案：

一种胶膜整平装置，包括底座，所述的底座上设置有第一立柱和第二立柱，第一立柱顶部的一侧安装有第一电机，第一电机的输出轴连接第一丝杠；第二立柱上的一侧设有滑轨，在第一立柱和第二立柱之间还设置有横梁，横梁的轴向开设有贯穿横梁上下底面的长孔，横梁的一端安装在第一丝杠上，横梁的另一端安装在第二横梁的滑轨上；在横梁上安装有第二电机，第二电机通过齿轮副与安装在横梁长孔上的第二丝杠连接；在第二丝杠上安装有滑块，滑块上安装有刀具，在底座顶部安装有承片台，承片台的底部与设置在底座内部的驱动轴固结，驱动轴由设置在驱动轴一侧的皮带机驱动。

所述的驱动轴为空心轴。

所述的承片台上均匀设置有细孔。

本实用新型提供了一种双立柱胶膜平整装置，它更有效的减少横梁的受力，使电机重量、进给块重量、切削力等因素对横梁所产生的弯矩得到有效控制；进而可以减少切削力、横梁左侧电机通过横梁对精密丝杠进给精度、丝杠寿命的的影响；再者该装置能够有效减轻由于电机转动产生的振动对进给精度的影响。双立柱胶膜整平装置有效的解决了厚胶膜表面不平整、胶膜厚度及其均匀性难以精确控制等问题。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的局部剖视图；

图3是本实用新型的俯视图；

图中标号的含义：1—底座，2—第一立柱，3—第一丝杠，4—第一电机，5—第二电机，6—第二丝杠，7—滑块，8—横梁，9—第二立柱，10—滑轨，11—承片台，12—皮带机，13—驱动轴，14—齿轮副，15—刀具，16—长孔；

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

具体实施方式

遵从上述技术方案，如图1至图3所示，本实施例给出一种胶膜整平装置，包括底座1，所述的底座1上设置有第一立柱2和第二立柱9，第一立柱2顶部的一侧安装有第一电机4，第一电机4的输出轴连接第一丝杠3；第二立柱9上的一侧设有滑轨10，在第一立柱2和第二立柱9之间还设置有横梁8，横梁8的轴向开设有贯穿横梁8上下底面的长孔16，横梁8的一端安装在第一丝杠3上，横梁8的另一端安装在第二横梁8的滑轨10上；在横梁8上安装有第二电机5，第二电机5通过齿轮副14与安装在横梁8长孔16上的第二丝杠6连接；在第二丝杠6上安装有滑块7，滑块7上安装有刀具15，在底座1顶部安装有承片台11，承片台11的底部与设在底座1内部的驱动轴13固结，驱动轴13由设置在驱动轴13一侧的皮带机12驱动。

本实施例中，横梁8上沿轴向开设有长孔16，长孔16上安装有第二丝杠6，第二丝杠6上安装有滑块7，滑块7上设置有刀具15，该刀具15与下方底座1上的承片台11配合，对胶膜进行切削。

所述的承片台11上均匀设置有细孔，该细孔的下方连接空心驱动轴13中的通孔，驱动轴13的下端连接抽气泵，使用时打开抽气泵，由于气压的作用承片台11上放置的胶膜会被吸附在承片台11上。

本实用新型中设置双立柱，这种结构减少了横梁8的受力，使电机重量、进给块重量、切削力等因素对横梁8所产生的弯矩得到有效控制，使横梁8由悬臂梁受力变为简支梁受力；有效减少了切削力、横梁8左侧电机通过横梁8作用于精密丝杠上的力对珠丝杠进给精度、丝杠寿命的影响，有效减少了工作过程中对装置的损伤，有效增加装置的使用寿命。

本装置的工作过程如下：

如附图所示，工作时，先将胶膜放置在承片台11上，在驱动轴13下方连接抽气泵，胶膜被气压压附在在承片台11上，然后确定竖直方向进给量和横向进给量。控制第一电机4转动带动第一丝杠3旋转，第一丝杠3通过与横梁8的螺接配合带动横梁8竖向进给；然后控制第二电机5带动齿轮副14传动从而控制第二丝杠6旋转，第二丝杠6通过与横梁8后端的螺接配合带动固定有刀具15的滑块7沿横梁8的轴向进给，皮带机12驱动承片台11下方的驱动轴13转动从而带动承片台11旋转，刀具15由胶膜边缘向胶膜中心进给切削。

Claims

1.一种胶膜整平装置，包括底座（1），其特征在于，所述的底座（1）上设置有第一立柱（2）和第二立柱（9），第一立柱（2）顶部的一侧安装有第一电机（4），第一电机（4）的输出轴连接第一丝杠（3）；第二立柱（9）上的一侧设有滑轨（10），在第一立柱（2）和第二立柱（9）之间还设置有横梁（8），横梁（8）的轴向开设有贯穿横梁（8）上下底面的长孔（16），横梁（8）的一端安装在第一丝杠（3）上，横梁（8）的另一端安装在第二横梁（8）的滑轨（10）上；在横梁（8）上安装有第二电机（5），第二电机（5）通过齿轮副（14）与安装在横梁（8）长孔（16）上的第二丝杠（6）连接；在第二丝杠（6）上安装有滑块（7），滑块（7）上安装有刀具（15），在底座（1）顶部安装有承片台（11），承片台（11）的底部与设置在底座（1）内部的驱动轴（13）固结，驱动轴（13）由设置在驱动轴（13）一侧的皮带机（12）驱动。

2.如权利要求1所述的胶膜整平装置，其特征在于，所述的驱动轴（13）为空心轴。

3.如权利要求1所述的胶膜整平装置，其特征在于，所述的承片台（11）上设置有细孔。