CN203112924U - 一种可防止微波泄漏的新型结构 - Google Patents
一种可防止微波泄漏的新型结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203112924U CN203112924U CN 201220500168 CN201220500168U CN203112924U CN 203112924 U CN203112924 U CN 203112924U CN 201220500168 CN201220500168 CN 201220500168 CN 201220500168 U CN201220500168 U CN 201220500168U CN 203112924 U CN203112924 U CN 203112924U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- microwave
- slit
- novel structure
- conductive metal
- metal mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种应用于微波化学气相沉积领域的新型结构，包括可移动部件(11)、固定部件(12)、狭缝(13)、U型狭缝(14)、微波阻拦槽(15)、导电金属网(16)，其特征在于，狭缝(13)上设有微波阻拦槽(15)，微波阻拦槽内装有导电金属网(16)，U型狭缝(14)间隙远大于狭缝(13)间隙，U型狭缝(14)通道的长度可让在其尽头反射的微波与入射的微波干涉相消。本实用新型提供的结构，利用微波在U型狭缝中的干涉相消以及金属导电网，可最大程度的防止微波泄漏。
Description
技术领域
本实用新型涉及微波化学气相沉积领域，更具体地本实用新型为一种可防止微波泄漏的新型结构。
背景技术
在微波化学气相沉积设备上常见的一种问题是微波泄漏，微波泄漏通常发生在部件的连接处。通常的应对措施是在设备外部采用传统的微波屏蔽方法。图1所示为微波化学气相沉积设备中传统的接口结构，其中部件1可做上下移动，部件2为固定结构，两个部件之间留有狭缝3，微波会从狭缝3中泄漏出来。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种应用于微波化学气相沉积领域的新型接口结构，可更好的防止微波泄漏。
本实用新型的设计方案包括：可移动部件、固定部件、狭缝、U型狭缝、微波阻拦槽、导电金属网，其特征在于U型狭缝间隙远大于狭缝间隙，U型狭缝通道的长度可让在其尽头反射的微波与入射的微波干涉相消。
本实用新型提供的新型结构，采用U型狭缝和导电金属网，可更好的防止微波泄漏。
附图说明
图1是微波化学气相沉积设备中传统的接口结构；
图2是依据本实用新型的实施例1的接口结构。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述：
实施例1：
如图2所示，移动样品台11可做上下移动，真空室筒壁12为固定结构，移动样品台11和真空室筒壁12之间有狭缝13和U型狭缝14，狭缝13上设有微波阻拦槽15，微波阻拦槽15内装有导电金属网16。
其中U型狭缝间隙d3大于d2，U型狭缝间隙d2远大于d1。
此结构可让微波优先进入U型狭缝14中，当微波碰到狭缝的通道尽头时发生反射，并能与后续的微波发生干涉；当狭缝通道的长度经过精心设计后，反射的微波与入射的微波干涉相消，能够大幅减少微波泄漏。此外，微波阻拦槽15中的导电金属网16能够更进一步的减少微波泄漏。
Claims (2)
1.一种应用于微波化学气相沉积领域的可防止微波泄漏的新型结构，包括可移动部件(11)、固定部件(12)、狭缝(13)、U型狭缝(14)、微波阻拦槽(15)、金属导电网(16)，其特征在于，狭缝(13)上设有微波阻拦槽(15)，微波阻拦槽内装有导电金属网(16)。
2.权利要求1所述的可防止微波泄漏的新型结构，其特征在于U型狭缝间隙远大于狭缝间隙，U型狭缝通道的长度可让在其尽头反射的微波与入射的微波干涉相消。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220500168 CN203112924U (zh) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 一种可防止微波泄漏的新型结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220500168 CN203112924U (zh) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 一种可防止微波泄漏的新型结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203112924U true CN203112924U (zh) | 2013-08-07 |
Family
ID=48893291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220500168 Expired - Fee Related CN203112924U (zh) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 一种可防止微波泄漏的新型结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203112924U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109121401A (zh) * | 2017-02-20 | 2019-01-01 | 韩国铁道技术研究院 | 利用微波间接照射方法，针对受油类污染土壤和砾石采用的具备微波防泄露装置以及利用废热的预先加热装置的热解吸系统以及利用该系统对受油类污染土壤和砾石采用的热解吸方法 |
| CN110804732A (zh) * | 2019-06-17 | 2020-02-18 | 湖上产业发展集团有限公司 | 等离子体cvd装置 |
| CN112005335A (zh) * | 2018-04-20 | 2020-11-27 | 应用材料公司 | 用于半导体处理腔室的微波泄漏减少的方法和装置 |
-
2012
- 2012-09-28 CN CN 201220500168 patent/CN203112924U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109121401A (zh) * | 2017-02-20 | 2019-01-01 | 韩国铁道技术研究院 | 利用微波间接照射方法，针对受油类污染土壤和砾石采用的具备微波防泄露装置以及利用废热的预先加热装置的热解吸系统以及利用该系统对受油类污染土壤和砾石采用的热解吸方法 |
| CN112005335A (zh) * | 2018-04-20 | 2020-11-27 | 应用材料公司 | 用于半导体处理腔室的微波泄漏减少的方法和装置 |
| CN112005335B (zh) * | 2018-04-20 | 2024-04-19 | 应用材料公司 | 用于半导体处理腔室的微波泄漏减少的方法和装置 |
| CN110804732A (zh) * | 2019-06-17 | 2020-02-18 | 湖上产业发展集团有限公司 | 等离子体cvd装置 |
| CN110804732B (zh) * | 2019-06-17 | 2021-09-17 | 湖上产业发展集团有限公司 | 等离子体cvd装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203112924U (zh) | 一种可防止微波泄漏的新型结构 | |
| EP3547444A3 (en) | Electronic device | |
| WO2011156354A3 (en) | Emi gasket | |
| CN105931936B (zh) | 高功率截顶型微波输出窗 | |
| WO2015038229A3 (en) | Dual tube support for electron emitter | |
| CN204322618U (zh) | 一种屏蔽带 | |
| CN203415663U (zh) | 一种i型波导旋转关节 | |
| CN204067075U (zh) | 一种铝电解电容器密封结构 | |
| CN103398007B (zh) | 液压轴向柱塞泵的降噪结构及其降噪方法 | |
| MY182401A (en) | Built-in bypass diode | |
| CN203326106U (zh) | 天线 | |
| WO2015105591A3 (en) | Metallic photovoltaics | |
| CN203912040U (zh) | 手机触屏指套 | |
| CN204741110U (zh) | 一种防松脱防卡死的卡圈组件 | |
| CN203982845U (zh) | 一种抗电磁干扰的屏蔽电缆 | |
| CN203326108U (zh) | 一种天线 | |
| CN203588965U (zh) | 一种高可靠、高功率容量的空间行波管输能装置 | |
| CN202362001U (zh) | 能抗阳光干扰的光电传感器 | |
| CN204178844U (zh) | 生产特高压避雷管的模具 | |
| CN204083526U (zh) | 一种便于注塑的金属管 | |
| CN203931620U (zh) | 一种氟塑料绝缘和护套屏蔽电缆 | |
| CN102868415A (zh) | 频分电子设备 | |
| CN205355715U (zh) | 一种船用电缆衬套 | |
| CN202019096U (zh) | 高密封性屏蔽金属电缆防水连接器 | |
| CN203549258U (zh) | 一种汽车油管降噪结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130807 Termination date: 20150928 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |