CN203051869U - 蓝宝石单晶成长炉安全阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀，包括设置在与腔体组合连通的真空管路上的安全阀本体；其中所述安全阀本体包括：泄气管，所述泄气管的一端设置在所述真空管路上，所述泄气管与所述真空管路连通；阀盖，所述阀盖设置在所述泄气管的另外一端上；连接件，所述连接件设置在所述泄气管上，所述阀盖通过所述连接件与所述泄气管活动连接。所述阀盖的直径大于等于所述泄气管的直径。本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀是在真空管路上增加了安全阀的结构设计，在出现压力异常到超过大气压后，会推开阀盖，进行泄压，保证腔室内压力维持在大气压水平，不出现事故，能应对可能出现的腔室压力暴发性增加的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石单晶成长炉，特别是一种蓝宝石单晶成长炉安全阀。
背景技术
目前市场上的蓝宝石炉的腔体结构都是密闭的腔室结构，对于出现的爆发性的腔室内压力增大的缺少足够的安全应对措施，因此本发明在于将安全阀设计在与腔室连接的管路中，以控制出现这种暴发性压力增大的危险性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种增加腔室安全性的蓝宝石单晶成长炉安全阀。
为解决上述技术问题，本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀，包括设置在与腔体组合连通的真空管路上的安全阀本体；其中所述安全阀本体包括：泄气管，所述泄气管的一端设置在所述真空管路上，所述泄气管与所述真空管路连通；阀盖，所述阀盖设置在所述泄气管的另外一端上；连接件，所述连接件设置在所述泄气管上，所述阀盖通过所述连接件与所述泄气管活动连接。所述阀盖的直径大于等于所述泄气管的直径。
本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀是在真空管路上增加了安全阀的结构设计，在出现压力异常到超过大气压后，会推开阀盖，进行泄压，保证腔室内压力维持在大气压水平，不出现事故，能应对可能出现的腔室压力暴发性增加的情况。
附图说明
图1为本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀结构示意图。
本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀附图中附图标记说明：
1-真空管路 2-腔体组合 3-泄气管
4-阀盖 5-连接件
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀作进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀，包括设置在与腔体组合2连通的真空管路1上的安全阀本体。安全阀本体包括：泄气管3，泄气管3的一端与真空管路1连通；阀盖4，阀盖4设置在泄气管3的另外一端上，阀盖4通过连接件5与泄气管3活动连接，且阀盖4的直径大于等于泄气管3的直径。
本实用新型蓝宝石单晶成长炉安全阀是在真空管路上增加了安全阀的结构设计，在出现压力异常到超过大气压后，会推开阀盖，进行泄压，保证腔室内压力维持在大气压水平，不出现事故，能应对可能出现的腔室压力暴发性增加的情况。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。
Claims (2)
1.蓝宝石单晶成长炉安全阀，其特征在于，包括设置在与腔体组合连通的真空管路上的安全阀本体；其中
所述安全阀本体包括：
泄气管，所述泄气管的一端设置在所述真空管路上，所述泄气管与所述真空管路连通；
阀盖，所述阀盖设置在所述泄气管的另外一端上；
连接件，所述连接件设置在所述泄气管上，所述阀盖通过所述连接件与所述泄气管活动连接。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶成长炉安全阀，其特征在于，所述阀盖的直径大于等于所述泄气管的直径。
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| CN105506730A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-04-20 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种单晶炉的主真空管路结构 |
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2012
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| CN105506730B (zh) * | 2015-12-15 | 2019-02-12 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种单晶炉的主真空管路结构 |
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