CN203021302U - 还原炉电极石英绝缘构件 - Google Patents

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游书华
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Abstract

本实用新型涉及多晶硅生产工艺，是一种还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于：包括由石英制成的绝缘外环、绝缘内环和绝缘顶盖；绝缘内环配置在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间；绝缘外环套在还原炉底盘的聚四氟乙烯绝缘套上端，为降低炉内硅棒辐射热对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁；绝缘外环和绝缘内环的顶面位于同一平面，所述绝缘内环和绝缘外环上面设置有绝缘顶盖，让还原炉底盘、绝缘内环、绝缘外环、绝缘顶盖围成一个封闭空间，为降低炉内硅棒辐射热和高温气流对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁；本实用新型能保证还原炉电极绝缘能长周期、低维护、运行稳定。

Description

还原炉电极石英绝缘构件
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产工艺，是一种还原炉电极石英绝缘构件。
背景技术
目前多晶硅生产主要工艺为改良西门子法，其还原工序主要是由电能提供热源，让反应混合原料在高温高压的炉内气相沉积生成多晶硅。由于还原反应的启动要在100℃至200℃的温度条件下，提供3000V至12000V的高压对炉内硅芯进行击穿通电提供能源，这就要求电极的附属绝缘构件绝缘性能要好；而在整个多晶硅沉积生产过程中电极的聚四氟乙烯绝缘套极易被高温烧坏，这就要求绝缘构件的隔热性能好、耐温高、化学稳定性要好。还原炉电极石英绝缘构件的原理就是利用石英具有极低的热膨胀系数、高的耐温性、极好的化学稳定性、优良的电绝缘性等性能，以达到还原炉电极电绝缘性能好、低维护、长期稳定运行的目的。
目前多晶硅生产行业内的还原炉电极绝缘构件主要采用陶瓷绝缘环，陶瓷绝缘环由于热膨胀系数稍大（0~1000℃，石英砂热膨胀系数-为5.5×10-7/℃），在硅棒生长到Φ40mm左右时陶瓷绝缘环有开裂损坏现象；当硅棒长到Φ100mm左右时陶瓷绝缘环开裂损坏30%以上；这使得电极的聚四氟乙烯绝缘套烧毁严重，更换频繁，同时为生产带来较大的安全隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种电绝缘性能好、低维护、长期稳定运行的还原炉电极石英绝缘构件，这样即保证了启动时的优良电绝缘性，又保证在整个硅棒生长过程中绝缘构件没有任何开裂损坏现象；保证了不中断生产的连续稳定性、不增加备件消耗，也不影响产品纯度，且降低了生产安全隐患。
本实用新型的技术方案如下：
还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于：包括由石英制成的绝缘外环、绝缘内环和绝缘顶盖；绝缘内环配置在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间；绝缘外环套在还原炉底盘的聚四氟乙烯绝缘套上端，为降低炉内硅棒辐射热对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁；绝缘外环和绝缘内环的顶面位于同一平面，所述绝缘内环和绝缘外环上面设置有绝缘顶盖，让还原炉底盘、绝缘内环、绝缘外环、绝缘顶盖围成一个封闭空间，为降低炉内硅棒辐射热和高温气流对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁。 
所述绝缘内环、绝缘外环和绝缘顶盖均为磨砂面。
本实用新型的有益效果如下：
本实用新型能保证还原炉电极绝缘能长周期、低维护、运行稳定；
石英绝缘内环放在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间，可以增强它们之间的电绝缘性；
石英绝缘外环套在还原炉底盘聚四氟乙烯绝缘套上，可以降低炉内硅棒辐射热对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁；
另外石英绝缘内环和绝缘外环均为磨砂面，进一步增强其隔热性能；
石英绝缘顶盖全为磨砂面，放在石英绝缘内环和石英绝缘外环上，让其炉底盘、石英绝缘内环、石英绝缘外环、石英绝缘顶盖围成一个封闭空间，为降低炉内硅棒辐射热和高温气流对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁。 
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图
其中附图标记为：1绝缘外环，2绝缘内环，3绝缘顶盖。
具体实施方式
如图1所示，还原炉电极石英绝缘构件，包括由石英制成的绝缘外环1、绝缘内环2和绝缘顶盖3；绝缘内环2配置在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间；绝缘外环1套在还原炉底盘的聚四氟乙烯绝缘套上端，为降低炉内硅棒辐射热对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁；绝缘外环1和绝缘内环2的顶面位于同一平面，所述绝缘内环2和绝缘外环1上面设置有绝缘顶盖3，让还原炉底盘、绝缘内环2、绝缘外环1、绝缘顶盖3围成一个封闭空间，为降低炉内硅棒辐射热和高温气流对聚四氟乙烯绝缘套的烧毁。 
所述绝缘内环2、绝缘外环1和绝缘顶盖3均为磨砂面。

Claims (3)

1.还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于：包括由石英制成的绝缘外环（1）、绝缘内环（2）和绝缘顶盖（3）；绝缘内环（2）配置在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间；绝缘外环（1）套在还原炉底盘的聚四氟乙烯绝缘套上端；绝缘外环（1）和绝缘内环（2）的顶面位于同一平面，所述绝缘内环（2）和绝缘外环（1）上面设置有绝缘顶盖（3），还原炉底盘、绝缘内环（2）、绝缘外环（1）、绝缘顶盖（3）围成一个封闭空间。
2.根据权利要求1所述的还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于：所述绝缘内环（2）、绝缘外环（1）均为磨砂面。
3.根据权利要求1所述的还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于：所述绝缘顶盖（3）均为磨砂面。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103553580A (zh) * 2013-10-16 2014-02-05 徐州协鑫太阳能材料有限公司 多晶硅还原炉用绝缘磁环及其制作方法
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