CN203007495U - 一种用于晶圆退火炉的冷却系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于晶圆退火炉的冷却系统，包括冷冻水系统和冷却水系统，所述冷却水系统包括依次连接并形成封闭循环回路的变频泵、换热器、过滤器和螺旋形冷却水管，所述螺旋形冷却水管缠绕在所述晶圆退火炉的外壁上；冷冻水系统包括冷冻机和循环泵，冷冻机、循环泵和换热器依次连接并形成封闭循环回路。本实用新型冷却系统大大减少了退火完成后冷却至常温的等待时间，即只需要1个小时就能使其冷却到常温，由此大大提高了产能，每天能多产50片晶圆，同时，设备的利用率也大大提高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于晶圆退火炉的冷却系统。
背景技术
晶圆的制备工艺中有一退火步骤，主要是依靠晶圆退火炉来完成的。
将待退火的晶圆中间产品放入晶圆退火炉中，加温至1000多度退火，退火完成之后，要等自然冷却到常温，中间要等5个小时，这极大影响了产能，每次运转至少浪费5个小时，损耗产能大概一次有25片。
发明内容
本实用新型的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种用于晶圆退火炉的冷却系统。
本实用新型的目的是这样实现的：
本实用新型的一种用于晶圆退火炉的冷却系统，所述冷却系统安装于所述晶圆退火炉上，所述冷却系统包括冷冻水系统和冷却水系统，所述冷却水系统包括变频泵、换热器、过滤器和螺旋形冷却水管，其中，
所述变频泵的出水口与所述换热器的第一进水口连接，所述换热器的第一出水口通过所述过滤器与所述螺旋形冷却水管的进水口连接，所述螺旋形冷却水管的进水口与所述变频泵的进水口连接，所述螺旋形冷却水管缠绕在所述晶圆退火炉的外壁上；
所述冷冻水系统包括冷冻机和循环泵，所述冷冻机的出水口与所述循环泵的进水口连接，所述循环泵的出水口与所述换热器的第二进水口连接，所述换热器的第二出水口与所述冷冻机的进水口连接。
上述的一种用于晶圆退火炉的冷却系统，其中，所述换热器为板式换热器。
上述的一种用于晶圆退火炉的冷却系统，其中，所述冷却水系统还包括压力传感器、PLC和变频器，所述压力传感器设于所述变频泵出水口侧的管道上，所述压力传感器、PLC和变频器依次电连接，所述变频器与所述变频泵电连接。
本实用新型冷却系统大大减少了退火完成后冷却至常温的等待时间，即只需要1个小时就能使其冷却到常温，由此大大提高了产能，每天能多产50片晶圆，同时，设备的利用率也大大提高。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本实用新型作进一步说明。
请参阅图1，本实用新型用于晶圆退火炉的冷却系统包括冷冻水系统和冷却水系统。
冷却水系统包括变频泵1、板式换热器2、过滤器3、螺旋形冷却水管4、压力传感器8、PLC(图中未画出)和变频器(图中未画出)，其中：
变频泵1的出水口与板式换热器2的第一进水口连接，板式换热器2的第一出水口通过过滤器3与螺旋形冷却水管4的进水口连接，螺旋形冷却水管4的进水口与变频泵1的进水口连接，由此形成封闭的冷却水循环回路，螺旋形冷却水管4缠绕在晶圆退火炉5的外壁上，压力传感器8设于变频泵1出水口侧的管道上，压力传感器8、PLC和变频器依次电连接，变频器与变频泵1电连接；
冷冻水系统包括冷冻机6和循环泵7，冷冻机6的出水口与循环泵7的进水口连接，循环泵7的出水口与板式换热器2的第二进水口连接，板式换热器2的第二出水口与冷冻机6的进水口连接。
冷冻水系统中循环流动的冷冻水，是由冷冻机6不断制造的。
从生产设备中抽出的水，经变频泵1至板式换热器2，通过与冷冻水系统中冷冻水进行热交换来降低水的温度，通过过滤器3后送至螺旋形冷却水管4，进而降低晶圆退火炉5的温度，最后水再回到变频泵1，由此构成了封闭的冷却水循环回路。
由压力传感器8采集的压力参数反馈至PLC，PLC经过分析处理后通过变频器改变变频泵1的频率。
以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。
Claims (3)
1.一种用于晶圆退火炉的冷却系统，所述冷却系统安装于所述晶圆退火炉上，所述冷却系统包括冷冻水系统和冷却水系统，其特征在于，所述冷却水系统包括变频泵、换热器、过滤器和螺旋形冷却水管，其中，
所述变频泵的出水口与所述换热器的第一进水口连接，所述换热器的第一出水口通过所述过滤器与所述螺旋形冷却水管的进水口连接，所述螺旋形冷却水管的进水口与所述变频泵的进水口连接，所述螺旋形冷却水管缠绕在所述晶圆退火炉的外壁上；
所述冷冻水系统包括冷冻机和循环泵，所述冷冻机的出水口与所述循环泵的进水口连接，所述循环泵的出水口与所述换热器的第二进水口连接，所述换热器的第二出水口与所述冷冻机的进水口连接。
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆退火炉的冷却系统，其特征在于，所述换热器为板式换热器。
3.如权利要求1所述的一种用于晶圆退火炉的冷却系统，其特征在于，所述冷却水系统还包括压力传感器、PLC和变频器，所述压力传感器设于所述变频泵出水口侧的管道上，所述压力传感器、PLC和变频器依次电连接，所述变频器与所述变频泵电连接。
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| CN 201220703807 CN203007495U (zh) | 2012-12-18 | 2012-12-18 | 一种用于晶圆退火炉的冷却系统 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN203007495U true CN203007495U (zh) | 2013-06-19 |
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103866395A (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | 上海鸿辉光通科技股份有限公司 | 一种用于晶圆退火炉的冷却系统 |
| CN110527989A (zh) * | 2018-06-08 | 2019-12-03 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 用于热处理设备的冷却装置及热处理设备 |
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2012
- 2012-12-18 CN CN 201220703807 patent/CN203007495U/zh not_active Expired - Lifetime
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