CN203007418U - 化学气相沉积设备的控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种化学气相沉积设备的控制系统，用于控制化学气相沉积设备进行沉积工艺，所述控制系统包括可编程控制器处理模块及若干个可编程控制器控制模块，所述若干个可编程控制器控制模块和所述可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接形成环形网络，使得每个所述可编程控制器控制模块通过双向的网络线路与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。根据本实用新型的控制系统，即使任意一个可编程控制器控制模块一端的网络连接线发生故障使得该可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块失去通讯联系，也可通过该可编程控制器控制模块另一端的网络连接线与可编程控制器处理模块进行通讯联系，提高了整个化学气相沉积设备的控制系统的可靠性。
Description
技术领域
本实用新型属于气相沉积领域，更具体地说，是涉及一种化学气相沉积设备的控制系统。
背景技术
现有的气相沉积设备中，可编程控制器(Programmable Logic Controller，PLC)处理模块与若干个可编程控制器控制模块之间的连接采用EtherNet/IP业以太网协议的星形网络拓扑结构，每个可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块都是单网络连接线50连接，具体请参照图1。
如图1所示为现有的一种化学气相沉积设备的控制系统的示意图，可编程控制器(PLC)处理模块10与可编程控制器控制模块K1，K2，K3，...，Kj，...，Km-1，Km采用EtherNet/IP工业以太网协议的星形网络拓扑结构，其中，1≤j≤m，且j为自然数，可编程控制器控制模块Kj与可编程控制器处理模块10都为单网络连接线50连接，当星形网络中有任意一处的网络连接线50出现故障时，就会导致相应网络连接线50上的可编程控制器控制模块Kj与可编程控制器处理模块10失去通讯联系，此时，相应的可编程控制器控制模块Kj处于失控状态，影响整个化学气相沉积设备的正常运行。
实用新型内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种化学气相沉积设备的控制系统，用于控制化学气相沉积设备进行沉积工艺，所述控制系统包括可编程控制器处理模块及若干个可编程控制器控制模块，所述若干个可编程控制器控制模块和所述可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接形成环形网络，使得每个所述可编程控制器控制模块通过双向的网络线路与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。
进一步地，所述环形网络中任意一个所述可编程控制器控制模块一端连接的一段网络连接线出现故障时，所述任意一个可编程控制器控制模块通过所述任意一个可编程控制器控制模块另一端连接的一段网络连接线与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。
进一步地，每个所述可编程控制器控制模块包括一故障检测模块，所述故障检测模块用以检测对应的可编程控制器控制模块两端分别连接的一段网络连接线是否断开，当所述故障检测模块检测到一端的一段网络连接线断开时，所述对应的可编程控制器控制模块通过另一端的一段网络连接线向所述可编程控制器处理模块发送故障信号，所述可编程控制器处理模块连接一报警单元，所述可编程控制器处理模块接收到所述故障信号后使所述报警单元发出报警信号。
进一步地，所述可编程控制器处理模块还连接一显示装置，当所述故障检测模块检测到所述对应的可编程控制器控制模块一端连接的一段网络连接线断开时，所述对应的可编程控制器控制模块记录所述断开的一段网络连接线的位置，并形成相应的位置信号；所述对应的可编程控制器控制模块通过另一端连接的一段网络连接线向所述可编程控制器处理模块发送位置信号，所述可编程控制器处理模块接收到所述位置信号后使所述显示装置显示所述断开的一段网络连接线的位置。
进一步地，所述可编程控制器处理模块还包括一故障检测模块，所述故障检测模块用于检测所述可编程控制器处理模块两端分别连接的一段网络连接线是否断开，当所述故障检测模块检测到一端的一段网络连接线断开时，所述故障检测模块发送故障信号，所述可编程控制器处理模块连接一报警单元，所述可编程控制器处理模块接收到所述故障信号后使所述报警单元发出报警信号。
根据本实用新型的化学气相沉积设备的控制系统，该控制系统通过若干个可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接成一个闭合的环形网络，使得每个可编程控制器控制模块通过双向的网络线路网络连接线与可编程控制器处理模块进行通讯联系。即使任一可编程控制器控制模块一端连接的的一段网络连接线发生故障使得该可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块失去通讯联系，也可通过该可编程控制器控制模块另一端连接的一段网络连接线与可编程控制器处理模块进行通讯联系，提高了整个化学气相沉积设备的控制系统的可靠性。
附图说明
图1是现有的一种化学气相沉积设备的控制系统的示意图。
图2是本实用新型实施例的化学气相沉积设备的控制系统的示意图。
具体实施方式
为了更好地阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果，以下结合本实用新型的实施例及其附图进行详细描述，其中，相同的标号始终表示相同的部件。
图2所示为本实用新型实施例的化学气相沉积设备的控制系统的示意图。
参照图2，该控制系统100包括可编程控制器(PLC)处理模块10及其n个可编程控制器控制模块K1，K2，……，Ki，……，Kn，其中n为大于等于2的自然数，1≤i≤n，且i也为自然数。具体地讲，在本实施例中，将所述可编程控制器处理模块10和所述n个可编程控制器控制模块K1，K2，……，Ki，……，Kn通过多段网络连接线50串联连接起来形成一个闭合的环形网络，所述可编程控制器处理模块10通过网络连接线50连接于可编程控制器控制模块K1与Kn之间，也就是说，每个可编程控制器控制模块可通过双向的网络线路与可编程控制器处理模块10进行通讯联系。
在化学气相沉积设备进行沉积工艺时，当闭合的环形网络中与可编程控制器控制模块Ki的A端连接的一段网络连接线50出现故障(例如网络连接线50断开)时，可编程控制器控制模块Ki可通过与B端连接的一段未出现故障的网络连接线50与可编程控制器处理模块10进行通讯联系，即可编程控制器控制模块Ki可通过由可编程控制器处理模块10、可编程控制器控制模块K1、可编程控制器控制模块K2、……、和可编程控制器控制模块Ki所组成的一段网络线路与可编程控制器处理模块10进行通讯联系。同样地，当闭合的环形网络中的与可编程控制器控制模块Ki的B端连接的一段网络连接线出现故障50(例如网络连接线50断开)时，可编程控制器控制模块Ki可通过与A端连接的一段未出现故障的网络连接线50与可编程控制器处理模块10进行通讯联系，即可编程控制器控制模块Ki可通过由可编程控制器处理模块10、可编程控制器控制模块Kn、可编程控制器控制模块Kn-1、……、和可编程控制器控制模块Ki所组成的一段网络线路与可编程控制器处理模块10进行通讯联系。
此外，每个可编程控制器控制模块包括一故障检测模块20，故障检测模块20用以检测对应的可编程控制器控制模块两端分别连接的一段网络连接线50是否断开，例如所述故障检测模块20通过检测该段网络连接线50的电压是否为浮置电压，从而判断该段网络连接线50是否断开；当检测到该网络连接线50的电压为浮置电压时，所述故障检测模块20判断该段网络连接线50断开。在本实施例中，以可编程控制器控制模块Ki中的故障检测模块20为例进行说明，当该故障检测模块20检测到与A端连接的一段网络连接线50断开时，可编程控制器控制模块Ki通过与B端连接的一段未出现故障的网络连接线50向可编程控制器处理模块10发送故障信号；或者当该故障检测模块20检测到与B端连接的一段网络连接线50断开时，可编程控制器控制模块Ki通过与A端连接的一段未出现故障的网络连接线50向可编程控制器处理模块10发送故障信号。可编程控制器处理模块10连接一报警单元30，在可编程控制器处理模块10接收到所述故障信号后使报警单元30发出报警信号，以提示操作人员设备出现故障，及时检查设备。
此外，可编程控制器处理模块10还连接一显示装置40，当故障检测模块20检测到与可编程控制器控制模块Ki的A端或B端连接的的一段网络连接线50断开时，所述可编程控制器控制模块Ki记录所述断开的一段网络连接线50是为与所述可编程控制器控制模块Ki的A端或B端断开连接的一段网络连接线50，该记录作为所述断开的一段网络连接线50的位置信息，所述可编程控制器控制模块Ki形成相应的位置信号；而后可编程控制器控制模块Ki通过与B端或A端连接的一段未出现故障的网络连接线50向可编程控制器处理模块10发送所述位置信号，在可编程控制器处理模块10接收到所述位置信号后使显示装置40显示所述断开的网络连接线50的位置，以便操作人员能后准确的找到所述断开的网络连接线50的位置，对其进行及时地维修。
进一步的，在本实施例中，可编程控制器处理模块10也可包括一故障检测模块20，该故障检测模块20用以检测与所述可编程控制器处理模块10两端分别连接的一段网络连接线50是否断开。当故障检测模块20检测到与所述可编程控制器处理模块10的C端或D端连接的一段网络连接线50断开时，可编程控制器处理模块10的故障检测模块20发送故障信号，所述可编程控制器处理模块10接收到所述故障信号后使报警单元30发出报警信号；可编程控制器处理模块10还可以同时记录所述断开的一段网络连接线50是与C端连接的一段网络连接线50或是与D端连接的一段网络连接线50作为所述断开的一段网络连接线50的位置信息，并形成相应的位置信号；在可编程控制器处理模块10获得所述位置信号后使显示装置40显示所述断开的网络连接线50的位置。
综上所述，根据本实用新型的化学气相沉积设备的控制系统，该控制系统通过若干个可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接成一个闭合的环形网络，使得每个可编程控制器控制模块通过双向的网络线路与可编程控制器处理模块进行通讯联系。即使任一可编程控制器控制模块一端的网络连接线发生故障使该可编程控制器控制模块与可编程控制器处理模块失去通讯联系，也可通过该可编程控制器控制模块另一端的网络连接线与可编程控制器处理模块进行通讯联系，提高了整个化学气相沉积设备的控制系统的可靠性。该控制系统具有的报警单元能够在网络连接线发生故障时发出报警信号，及时提醒操作人员对设备进行检查维护，且该控制系统具有的显示装置能够准确地显示出网络连接线中发生故障的位置，便于操作人员准确找到故障位置，及时排除故障。
本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例，并未限制本实用新型的范围。凡是包含于权利要求书中的精神及范畴内的修改及均等设置均包括在本实用新型的范围内。
Claims (5)
1.一种化学气相沉积设备的控制系统，用于控制化学气相沉积设备进行沉积工艺，所述控制系统包括可编程控制器处理模块及若干个可编程控制器控制模块，其特征在于，所述若干个可编程控制器控制模块和所述可编程控制器处理模块通过多段网络连接线串联连接形成环形网络，使得每个所述可编程控制器控制模块通过双向的网络线路与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。
2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述环形网络中任意一个所述可编程控制器控制模块一端连接的一段网络连接线出现故障时，所述任意一个可编程控制器控制模块通过所述任意一个可编程控制器控制模块另一端连接的一段网络连接线与所述可编程控制器处理模块进行通讯联系。
3.根据权利要求1或2所述的控制系统，其特征在于，每个所述可编程控制器控制模块包括一故障检测模块，所述故障检测模块用以检测对应的可编程控制器控制模块两端分别连接的一段网络连接线是否断开，当所述故障检测模块检测到一端的一段网络连接线断开时，所述对应的可编程控制器控制模块通过另一端的一段网络连接线向所述可编程控制器处理模块发送故障信号，所述可编程控制器处理模块连接一报警单元，所述可编程控制器处理模块接收到所述故障信号后使所述报警单元发出报警信号。
4.根据权利要求3所述的控制系统，其特征在于，所述可编程控制器处理模块还连接一显示装置，当所述故障检测模块检测到所述对应的可编程控制器控制模块一端连接的一段网络连接线断开时，所述对应的可编程控制器控制模块记录所述断开的一段网络连接线的位置，并形成相应的位置信号；所述对应的可编程控制器控制模块通过另一端连接的一段网络连接线向所述可编程控制器处理模块发送位置信号，所述可编程控制器处理模块接收到所述位置信号后使所述显示装置显示所述断开的一段网络连接线的位置。
5.根据权利要求1或2所述的控制系统，其特征在于，所述可编程控制器处理模块还包括一故障检测模块，所述故障检测模块用于检测所述可编程控制器处理模块两端分别连接的一段网络连接线是否断开，当所述故障检测模块检测到一端的一段网络连接线断开时，所述故障检测模块发送故障信号，所述可编程控制器处理模块连接一报警单元，所述可编程控制器处理模块接收到所述故障信号后使所述报警单元发出报警信号。
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