CN203006937U - 微转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型关于一种微转机构，其于底座上设有至少四组微转平台组及至少三驱动模组，其中微转平台组为由基板、中承座、转承座及上承座所组成，基板对应组设在底座上，基板上方设有中承座，基板与中承座间设有于第一方向能相对位移滑动的滑轨组件，中承座上方设有转承座，中承座与转承座间设有能相互旋动的转轴组件，转承座上方设有上承座，转承座与上承座间设有于第二方向能相对位移滑动的滑轨组件，上承座对应与工作平台组设；驱动模组为由动力机构、作动件及连接座所组成，作动件固设于连接座，连接座对应与微转平台组结合。本实用新型通过第一、第二方向位移机制，使其诸微转平台组上所组设的工作平台位移、转向，达到三轴转动更为顺畅的优点。

Description

微转机构

技术领域

本实用新型是关于一种微转机构，尤其是指一种具有三轴转向移动的微转机构，通过利用两轴向间夹设有旋转轴的设置，使微转动作更为顺畅，且可对应所需而搭配微转平台组数与驱动机制，达到符合工作件的需求，使其提高加工精度。

背景技术

随着高科技产业的发展，产制精度的要求也愈来愈高，于工具机、各种产业机械、量测仪器的高精度化，再加上超精密加工机、半导体制程装置、电子资讯机器、原子力显微镜等机具的精度已经由微米、次微米到达微/纳米等级。

载具平台是影响上述机具精度最主要的因素之一，而目前已经有多种型式的载具平台，如单轴、双轴或三(多)轴式，而可知的是单轴与双轴的精度以不符现今的需求；而三(多)轴式主要为以多个驱动系统控制一个以上的轴向运动，包括平移运动与旋转运动，使其具有多轴同动的特性，如中国台湾公告第M420825号(CN202264472)一种贴合机工作平台对位机构，其包括：一支架，其顶面设有一上平台，而该上平台中央设有一定位轴座，其四角则分别设有套孔；一升降马达，设于支架底部，该升降马达上方设有一螺杆，该螺杆的上端对应设于上平台的定位轴座；一活动板，设于支架与上平台间，于其中央设有与螺杆对应的具内螺牙的套轴，其四角则设有对应上平台其套孔的滑杆；一上活动板，于上平台上方并与滑杆的上端连接，并于其四角设有座台；四对位滑动器，设于上活动板其座台上，该对位滑动器包含有二下滑轨、二下滑座、一上滑轨及一上滑座，其中，二下滑轨设于座台上，而下滑轨上设于具滑槽的下滑座，该下滑座上则垂直跨设有上滑轨，上滑轨另垂直设有一具滑槽的上滑座；至少四转盘，设于上滑座外侧上方；至少三位移马达，呈二平行及至少一垂直设于上活动板，其前端设有至少与三对位滑动器其上滑轨及二下滑座连接的螺杆；一工作平台，设于对位滑动器其上滑座的转盘。虽此结构设置包含到工作台升降、位移与偏转的作动，但其具有组数的限定，因此在大型工作件上会产生精度不足的缺失，同时，轴向的设置为以两直线运动机制上方设置一转盘，使其在运动过程会导致有某些角度限制，无法顺畅转动的缺失。

或中国台湾公告第M429543号一种对位机构，包含：一基座；一平台；一承载座，设置于该基座并承载该平台，该承载座包含多个线性滑轨以及一转动机构，该等线性滑轨沿二互相垂直的方向设置，且其中一线性滑轨的一部分固定于该基座，该转动机构的一部分固定于该平台；以及复数个驱动模组，设置于该基座并承载该平台，该等驱动模组位于该承载座的周围，并沿二互相垂直的方向设置，各该驱动模组具有一滑轨、一滑块以及一旋转体，该滑块沿该滑轨移动，该滑轨连结于该平台，该旋转体连结于该滑块。而此结构为于中央组设一承载座，因此当基座或平台的形体无法符合时，该承载座并无法适当组装于基座，换言之，此结构具有基座限制的缺失。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种微转机构，以在改善现有技术的缺失，通过利用两轴向间夹设有旋转轴的设置，使微转动作更为顺畅，且可对应所需而搭配微转平台组数与驱动机制，达到符合工作件的需求，使其提高加工精度。

为此，本实用新型提出一种微转机构，其于底座上设有至少四微转平台组及至少三驱动模组，且多个所述微转平台组上方对应组设工作平台：

所述微转平台组为由基板、中承座、转承座及一上承座所组成，所述基板对应组设在所述底座上，而所述基板上方设有中承座，且所述基板与所述中承座间设有能于第一方向相对位移滑动的滑轨组件，而于所述中承座上方设有转承座，于所述中承座与所述转承座间设有能相互旋动的转轴组件，再于所述转承座上方设有上承座，于所述转承座与所述上承座间设有能于第二方向相对位移滑动的滑轨组件，而所述上承座对应与所述工作平台组设；

所述驱动模组由一动力机构、能经所述动力机构驱动而产生位移的作动件及一连接座所组成，且所述作动件固设于连接座，而所述连接座对应与所述微转平台组结合。

如上所述的微转机构，其中，所述转轴组件为于所述中承座上对应穿组的一转轴，而所述转轴一端定位在所述转承座上。

如上所述的微转机构，其中，所述转轴组件为能于所述中承座与所述转承座间相互对应转动的滚子转盘。

如上所述的微转机构，其中，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达，或压电马达。

如上所述的微转机构，其中，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达。

如上所述的微转机构，其中，所述驱动模组对应设置于所述微转平台组的一侧边，所述中承座一侧对应与所述连接座结合。

如上所述的微转机构，其中，所述驱动模组对应架设在所述微转平台组之中，其设置在所述中承座与所述基板之间，所述中承座内侧对应与所述连接座结合。

本实用新型提出的微转机构，其特点及优点在于：

本实用新型主于底座上设有至少四组微转平台组及至少三驱动模组，其中该微转平台组中具设有第一、第二方向位移机制，而在两方向位移轴向中设置旋转轴，且同时经由驱动模组结合组装于微转平台组上，以对应驱动微转平台组，使其诸微转平台组上所组设的工作平台位移、转向，达到三轴转动更为顺畅的优点。

如上所述微转机构，其中该微转平台组包含有一基板、中承座、转承座及一上承座，其中于基板与中承座间设有于第一方向相对位移滑动的滑轨组件，而于中承座与转承座间设有可相互对应呈旋转角度的转轴组件，再于转承座与上承座间设有于第二方向相对位移滑动的滑轨组件，借此，以让微转平台组具有位移、转向的三轴机制。

进一步该转轴组件为于中承座上对应穿组一转轴，而转轴一端定位在转承座，以能让转承座对应中承座而旋转；或该转轴组件为于中承座与转承座间相互对应转动的滚子转盘。

如上所述微转机构，其中该驱动模组包含有一动力机构、作动件及连接座所组成，其中该作动件为经动力机构驱动而可产生位移，且作动件固设于连接座，而连接座对应与微转平台组结合，而驱动诸微转平台组，以让工作平台进行位移、转向的三轴机制。

如上所述微转机构的驱动模组中的动力机构进一步为一般伺服马达，经由伺服马达出力轴对应连结驱动一螺杆，再于螺杆上对应套设作动件。

进一步该动力机构出力轴与螺杆间，通过联轴器来传动动力，且螺杆另一端对应组设一轴承座，以供螺杆受驱动而转动。

如上所述微转机构的驱动模组中的动力机构进一步为音圈马达，该音圈马达驱动作动件；或动力机构为线性马达，其线性马达具有轨道供作动件滑移，以让线性马达驱动时，经作动件带动连接座滑动；或该动力机构为压电马达，藉以压电特性驱动作动件。

如上所述微转机构，其中该驱动模组为对应设置于微转平台组的一侧边，主要以中承座一侧对应与连接座结合，而让驱动模组对应驱使侧边的微转平台组作动。

如上所述微转机构，其中该驱动模组为对应架设在微转平台组之中，其主要设置在中承座与基板之间，为于中承座内侧对应与连接座结合，而让驱动模组对应驱使微转平台组作动。

附图说明

图1为本实用新型的整体外观示意图(实施例三)；

图2为本实用新型的微转平台组外观示意图；

图3为本实用新型的驱动模组外观示意图；

图4为本实用新型的微转平台组剖视示意图；

图5为本实用新型的驱动模组剖视示意图(伺服马达)；

图6为本实用新型的动力机构示意图(音圈马达)；

图7为本实用新型的动力机构示意图(线性马达)；

图8为本实用新型的动力机构示意图(压电马达)；

图9为本实用新型实施例一的整体外观示意图；

图10为本实用新型实施例二的整体外观示意图。

主要元件标号说明：

(本实用新型)

1底座  2微转平台组

21基板  22中承座

23转承座  24上承座

25滑轨组件  26转轴组件

261转轴  3驱动模组

31动力机构  311伺服马达

312螺杆  313音圈马达

314线性马达  315轨道

316压电马达  32作动件

33连接座  34联轴器

35轴承座  4工作平台

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式：

首先，请参阅图1～图8所示，为本实用新型微转机构的整体与剖视示意图，其于底座1上设有至少四组微转平台组2及至少三组驱动模组3，且多个微转平台组2上方对应组设工作平台4，其中：

该微转平台组2为由基板21、中承座22、转承座23及一上承座24所组成，其该基板21对应组设在底座1上，而基板21上方设有中承座22，且基板21与中承座22间设有于第一方向相对位移滑动的滑轨组件25，而于中承座22上方设有转承座23，于中承座22与转承座23间设有可相互对应呈旋转角度的转轴组件26，再于转承座23上方设有上承座24，于转承座23与上承座24间设有于第二方向相对位移滑动的滑轨组件25，而该上承座24对应与工作平台4组设；

该驱动模组3为由一动力机构31、作动件32及连接座33所组成，其中该作动件32为经动力机构31驱动而可产生位移，且作动件32固设于连接座33，而连接座33对应与微转平台组2结合；另外，该动力机构31进一步为一般伺服马达311，经由伺服马达311的出力轴对应连结驱动一螺杆312，再于螺杆312上组设一作动件32，且让作动件32对应连结连接座33(如图5所示)；或该动力机构31为音圈马达313，该音圈马达313驱动作动件32，而让作动件32带动连接座33，以驱动微转平台组2作动(如图6所示)；或该动力机构31为线性马达314，其线性马达314的轨道315供作动件32滑移，以让线性马达314驱动时，经作动件32带动连接座33滑动(如图7所示)；或该动力机构31为压电马达316，借以压电特性驱动作动件(如图8所示)。

请一并参阅图1～图5所示，当组装时，于此先叙述每一微转平台组2的组装过程，为先于基板21与中承座22间组设有滑轨组件25，而该滑轨组件25大致上采用线性滚珠滑轨，如此，让中承座22对应固定状态的基板21而有第一方向位移机制(X轴或Y轴)，之后，于中承座22上方设置转承座23，而在中承座22与转承座23间设置转轴组件26，而该转轴组件26，可依据驱动模组3对应微转平台组2组装结合的状态而作变化，其一状态为于中承座22上对应穿组的一转轴261，而转轴261一端定位在转承座23，以能让转承座23对应中承座22而旋转(C轴)；另一状态为于中承座22与转承座23间相互对应转动的滚子转盘。接着，该转承座23上方再设置一上承座24，于转承座23与上承座24间设置滑轨组件25，而该滑轨组件25与上述相同不再赘述，如此，让上承座24对应转承座23而有第二方向位移机制(Y轴或X轴)。

接续，为驱动模组3的组装，于此动力机构31的在图中以伺服马达311形态为的而作说明，其设置一伺服马达311，而该伺服马达311的出力轴端对应组设一联轴器34，而联轴器34另一端与螺杆312组设，之后，该螺杆312上对应套组一可于螺杆312上作动位移的作动件32，而该螺杆312另一端对应组设轴承座35，以供螺杆312受驱动而转动，让作动件33于螺杆312上位移，而该作动件32再对应与连接座33组设，而连接座33再依据所需状态来结合于微转平台组2。

请一并参阅图1、图8～图10所示，当实际使用时，其依据加工件、工作平台4的大小与底座形状，来对应组设的微转平台组2与驱动模组3的组数，以下列举数种实施状态，叙述如下：

其一为小型工作平台4时，可于底座1上对应组设有四组微转平台组2，为于底座1端面分设为四部分而分别对应组装微转平台组2，而其每一组微转平台组2可分别组装一驱动模组3或于其中三组的微转平台组2上分别组装驱动模组3，让驱动模组3对应设置在微转平台组2一侧边，以中承座22一侧对应与连接座33结合，而让驱动模组3对应驱使侧边的微转平台组2作动；当三组微转平台组2中组设有驱动模组3，而其一微转平台组2则对应另三组而呈位移、转向的三轴动作(如图9所示)。

其二为中型工作平台4，而底座为框型时，其是于框型底座1的每一侧边组设有微转平台组2，而因空间受限之故，以将驱动模组3结合于微转平台组2上，让驱动模组3设置在微转平台组2之中承座22与基板21之间，其是于中承座22内侧对应与驱动模组3连接座33结合，而让驱动模组3对应驱使微转平台组2作动(如图10所示)。

其三为大型工作平台，而底座为框型时，其可在两相邻的对应边处都设有微转平台组2，而形成有八组微转平台组2，再于其中三组或四组的微转平台组2上分别组装驱动模组3，且须间隔而设，而其驱动模组3与微转平台组2的组装状态可采其一或其二，于此图示为表示其一的状态，进一步未组设驱动模组3的四组微转平台组2为对应另四组微转平台组2而作动(如图1所示)。

根据上述可知，本实用新型的微转机构相较于现有技术确实具有诸多优点，其叙述如下：

1.本实用新型的微转机构，借以利用两轴向间夹设有旋转轴的设置，使微转动作更为顺畅，而无死角问题，相对可提高加工精度的功效。

2.本实用新型的微转机构，借以可依据加工件、工作平台的大小与底座形状，来对应组设的微转平台组与驱动模组的组数，达到符合工作件的需求，使其提高加工精度的功效。

以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式，并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种微转机构，其特征在于，所述微转机构于底座上设有至少四微转平台组及至少三驱动模组，且多个所述微转平台组上方对应组设工作平台，其中：

所述微转平台组为由基板、中承座、转承座及一上承座所组成，所述基板对应组设在所述底座上，而所述基板上方设有中承座，且所述基板与所述中承座间设有能于第一方向相对位移滑动的滑轨组件，而于所述中承座上方设有转承座，于所述中承座与所述转承座间设有能相互旋动的转轴组件，再于所述转承座上方设有上承座，于所述转承座与所述上承座间设有能于第二方向相对位移滑动的滑轨组件，而所述上承座对应与所述工作平台组设；

所述驱动模组由一动力机构、能经所述动力机构驱动而产生位移的作动件及一连接座所组成，且所述作动件固设于连接座，而所述连接座对应与所述微转平台组结合。

2.如权利要求1所述的微转机构，其特征在于，所述转轴组件为于所述中承座上对应穿组的一转轴，而所述转轴一端定位在所述转承座上。

3.如权利要求1所述的微转机构，其特征在于，所述转轴组件为于所述中承座与所述转承座间相互对应转动的滚子转盘。

4.如权利要求1所述的微转机构，其特征在于，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达，或压电马达。

5.如权利要求2所述的微转机构，其特征在于，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达。

6.如权利要求3所述的微转机构，其特征在于，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达，或压电马达。

7.如权利要求5所述的微转机构，其特征在于，所述驱动模组对应设置于所述微转平台组的一侧边，所述中承座一侧对应与所述连接座结合。

8.如权利要求5所述的微转机构，其特征在于，所述驱动模组对应架设在所述微转平台组之中，其设置在所述中承座与所述基板之间，所述中承座内侧对应与所述连接座结合。

9.如权利要求6所述的微转机构，其特征在于，所述驱动模组对应设置于所述微转平台组的一侧边，所述中承座一侧对应与所述连接座结合。

10.如权利要求6所述的微转机构，其特征在于，所述驱动模组对应架设在所述微转平台组之中，其设置在所述中承座与所述基板之间，所述中承座内侧对应与所述连接座结合。

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