CN202962174U - 一种真空泵除尘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。通过在除尘桶中设置多个内部出气管和套设在内部出气管上的滤芯，有效的增大了过滤面积，提高了过滤效果，更多的杂质被过滤在了滤芯上，同时，多个内部出气管和滤芯的设置，使得除尘桶内的各个部位的气体能够同时得到过滤，有效过滤范围增大，也能提高过滤效果，更少的杂质进入到真空泵中，从而实现真空泵使用寿命的延长。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空泵除尘技术领域，尤其涉及一种真空泵除尘装置。
背景技术
单晶炉是一种拉制单晶棒的设备，单晶炉使用的真空泵有干泵，是一种用来抽气的泵，此种泵不用油，还有油泵，是一种使用泵油的抽气泵。
单晶炉的排气对于拉晶至关重要，所以要再保证排气通畅的情况下对抽出的气体进行过滤，防止更多的杂质进入到单晶炉配备的真空泵内，对于单晶炉配备的真空泵有干式的干泵，还有油泵，无论是哪种泵体，都要保证杂质被吸进泵体内的越少越好，干泵能保证其使用寿命，油泵换油的次数将有所延长，所以就要求过滤效果好且不能对单晶炉排气有影响的过滤装置，目前使用的过滤装置不能有效的过滤杂质，真空泵保养周期特别短，运行一段时间就需要保养清理一次，既影响生产，费用也极高。
因此，如何提供一种真空泵除尘装置，以实现真空泵使用寿命的延长，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种真空泵除尘装置，以实现真空泵使用寿命的延长。
为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。
优选的，上述的真空泵除尘装置中的多个所述内部出气管均匀分布在所述除尘桶中。
优选的，上述的真空泵除尘装置中的多个所述内部出气管呈圆周分布。
优选的，上述内部出气管为6个。
优选的，上述内部出气管为圆形筒。
本实用新型提供的真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。
通过在除尘桶中设置多个内部出气管和套设在内部出气管上的滤芯，有效的增大了过滤面积，提高了过滤效果，更多的杂质被过滤在了滤芯上，同时，多个内部出气管和滤芯的设置，使得除尘桶内的各个部位的气体能够同时得到过滤，有效过滤范围增大，也能提高过滤效果，更少的杂质进入到真空泵中，从而实现真空泵使用寿命的延长。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的真空泵除尘装置的结构示意图；
图2为现有技术中真空泵除尘装置的结构示意图。
上图1-2中：
滤芯1、内部出气管2、进气口3、除尘桶4、出气口5。
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种真空泵除尘装置，以实现真空泵使用寿命的延长。
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参考图1，图1为本实用新型实施例提供的真空泵除尘装置的结构示意图。本实用新型实施例提供的真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶4，除尘桶4上设置有进气口3和出气口5，除尘桶4中设置有多个内部出气管2，多个内部出气管2均与出气口5连通，每个内部出气管2上均套设有滤芯1。
通过在除尘桶4中设置多个内部出气管2和套设在内部出气管2上的滤芯1，有效的增大了过滤面积，提高了过滤效果，更多的杂质被过滤在了滤芯1上，同时，多个内部出气管2和滤芯1的设置，使得除尘桶4内的各个部位的气体能够同时得到过滤，有效过滤范围增大，也能提高过滤效果，更少的杂质进入到真空泵中，从而实现真空泵使用寿命的延长。
具体的，上述的真空泵除尘装置中的多个内部出气管2均匀分布在除尘桶4中。从而实现对除尘桶4内部的均匀过滤，对除尘桶4的内部各处同时进行过滤，有效过滤范围增大。
具体的，上述的真空泵除尘装置中的多个内部出气管2呈圆周分布。合理分配各个内部出气管2的除尘区域，达到更好的除尘效果。
具体的，内部出气管2为6个，当然，还可以是多于6个，数量更多，不一定效果更好，只有布置合适数量的内部出气管2才能达到更好的除尘效果。
具体的，内部出气管2为圆形筒。在采用相同面积的材料的情况下，圆形筒的横截面积要大于方形筒的或者长方形筒的横截面积，能够降低成本。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (5)
1.一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，其特征在于，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。
2.根据权利要求1所述的真空泵除尘装置，其特征在于，多个所述内部出气管均匀分布在所述除尘桶中。
3.根据权利要求2所述的真空泵除尘装置，其特征在于，多个所述内部出气管呈圆周分布。
4.根据权利要求1所述的真空泵除尘装置，其特征在于，所述内部出气管为6个。
5.根据权利要求1所述的真空泵除尘装置，其特征在于，所述内部出气管为圆形筒。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 201220684033 CN202962174U (zh) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 一种真空泵除尘装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201220684033 CN202962174U (zh) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 一种真空泵除尘装置 |
Publications (1)
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| CN202962174U true CN202962174U (zh) | 2013-06-05 |
Family
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| CN 201220684033 Expired - Fee Related CN202962174U (zh) | 2012-12-12 | 2012-12-12 | 一种真空泵除尘装置 |
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| CN (1) | CN202962174U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104857785A (zh) * | 2015-06-05 | 2015-08-26 | 江阴中南重工有限公司 | 一种高效除尘装置 |
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2012
- 2012-12-12 CN CN 201220684033 patent/CN202962174U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104857785A (zh) * | 2015-06-05 | 2015-08-26 | 江阴中南重工有限公司 | 一种高效除尘装置 |
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