CN202881439U - 一种单晶炉炉筒清扫装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉炉筒清扫装置，包括重锤、伸缩套筒、无尘纤维纸、插销，所述伸缩套筒以所述重锤为中心周向均布并与所述重锤以所述插销固定，所述无尘纤维纸固定在所述伸缩套筒顶端。本实用新型的优点是结构简单，方便于对单晶炉炉筒内壁清炉操作，而且对于不同尺寸的炉筒都适用，降低了清炉难度，保证了清炉质量，同时可以避免钢丝绳碰到副室壁产生毛刺而引发的生产事故。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种清扫装置，特别是一种单晶炉炉筒清扫装置。
背景技术
在直拉法制备单晶硅的生产中，当单晶炉一炉单晶拉制完毕后，需要进行清炉。以往的操作是：用无尘纤维纸缠在长棒的头部，并用无水酒精浸润无尘纤维纸，把缠有无尘纤维纸的一端伸入副室里，从上往下慢慢沿着副室壁擦拭。这种清炉方式既无法保证清炉的洁净效果，又很容易使重锤和钢丝绳碰到副室壁，把钢丝绳碰出毛刺，从而造成生产安全隐患，影响下一炉的正常生产。
实用新型内容
实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种单晶炉炉筒清扫装置，方便清炉操作，提高清炉质量。
技术方案：一种单晶炉炉筒清扫装置，包括重锤、伸缩套筒、无尘纤维纸、插销，所述伸缩套筒以所述重锤为中心周向均布并与所述重锤以所述插销固定，所述无尘纤维纸固定在所述伸缩套筒顶端。
还包括弹簧，所述伸缩套筒内通过所述弹簧连接，可以自动调节伸缩套筒的长度，根据不同尺寸的炉筒或者根据炉筒内不同位置的直径自由调整。
所述伸缩套筒至少周向均布3个。
有益效果：与现有技术相比，本实用新型的优点是结构简单，方便于对单晶炉炉筒内壁清炉操作，而且对于不同尺寸的炉筒都适用，降低了清炉难度，保证了清炉质量，同时可以避免钢丝绳碰到副室壁产生毛刺而引发的生产事故。
附图说明
图1为本实用新型结构主视图；
图2为图1的仰视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
如附图1-2所示，一种单晶炉炉筒清扫装置，包括重锤1、伸缩套筒2、无尘纤维纸3、插销4，以重锤1为中心，伸缩套筒2在重锤1周向均布并通过插销4与其固定，无尘纤维纸3固定在伸缩套筒2顶端。伸缩套筒2内通过弹簧5连接，弹簧5的弹性使伸缩套筒2能够自由调节的长度。
使用时，将本实用新型清扫装置固定在晶转上，在清炉过程中，打开拉速器和晶转，清扫装置一边上升，一边以钢丝绳为中心线旋转，这样其运动轨迹是呈螺旋线上升。伸缩套筒2内的弹簧5根据炉筒尺寸进行缩放，使无尘纤维纸3紧贴炉筒内壁，保证了清炉的质量。
Claims (3)
1.一种单晶炉炉筒清扫装置，其特征在于：包括重锤（1）、伸缩套筒（2）、无尘纤维纸（3）、插销（4），所述伸缩套筒（2）以所述重锤（1）为中心周向均布并与所述重锤（1）以所述插销（4）固定，所述无尘纤维纸（3）固定在所述伸缩套筒（2）顶端。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉筒清扫装置，其特征在于：还包括弹簧（5），所述伸缩套筒（2）内通过所述弹簧（5）连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉筒清扫装置，其特征在于：所述伸缩套筒（2）至少周向均布3个。
Priority Applications (1)
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| CN 201220542769 CN202881439U (zh) | 2012-10-23 | 2012-10-23 | 一种单晶炉炉筒清扫装置 |
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| CN (1) | CN202881439U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111636096A (zh) * | 2019-03-01 | 2020-09-08 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种晶体提拉机构及晶体生长装置 |
| CN115945480A (zh) * | 2022-12-05 | 2023-04-11 | 双良硅材料(包头)有限公司 | 一种单晶炉副室清理装置、系统和方法 |
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2012
- 2012-10-23 CN CN 201220542769 patent/CN202881439U/zh not_active Expired - Fee Related
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130417 Termination date: 20141023 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |