CN202876512U

CN202876512U - 清洗过滤器的循环装置

Info

Publication number: CN202876512U
Application number: CN 201220520561
Authority: CN
Inventors: 陈�峰; 沈雪松; 卫金荣; 倪尧; 肖方
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-10-11
Filing date: 2012-10-11
Publication date: 2013-04-17
Anticipated expiration: 2022-10-11

Abstract

本实用新型提供一种清洗过滤器的循环装置，包括过滤器和供给泵，所述过滤器第一端连接所述供给泵，所述过滤器的第二端连接一需求设备，所述清洗过滤器的循环装置还包括：供液管道、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和排液管道；所述供液管道第一端通过第一阀门连接到供给泵的第一端，所述供给泵的第一端通过第二阀门连接到需求设备，所述供给泵的第二端连接到所述过滤器的第一端，所述过滤器的第二端通过第三阀门连接到需求设备，所述过滤器的第二端通过第四阀门连接到排液管道，所述过滤器的第二端还连接到供液管的第二端。通过采用本实用新型的清洗过滤器的循环装置可以显著降低更换过滤器的频率，同时减少专业对应人员数量和对应时间，从而有效的降低了生产成本。

Description

清洗过滤器的循环装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种清洗过滤器的循环装置。

背景技术

在半导体的制造工艺中，经常需要刻蚀去除部分金属材料、绝缘材料以及半导体材料，从而形成一定形状的图形。刻蚀设备通常分为湿法刻蚀设备和干法刻蚀设备。对于湿法刻蚀设备，经常需要使用各种刻蚀液。另外，在半导体制造工艺中，经常使用的设备还有清洗设备。为了保证各种刻蚀液和清洗液的洁净度，通常在刻蚀液和清洗液的供给系统中设置过滤器。

过滤器的核心部件是过滤器的过滤芯，过滤器使用一段时间后，过滤芯内会沉积一定堵塞物，沉积的堵塞物过多时，会堵塞过滤器的网眼，导致液体在过滤前后的压力差增大，流速下降。为了保证刻蚀液和清洗液的正常流速，需要定时清洗过滤器或者更换过滤器。

如图1所示，以刻蚀氧化硅的湿刻设备为例，过滤器101一端连接一供给泵102，供给泵102连接湿刻设备的磷酸循环槽103，过滤器101的另一端连接一湿刻设备的磷酸的供液槽104。当上述设备中的磷酸经过一段时间刻蚀之后，磷酸刻蚀去除的氧化硅会逐渐聚集到过滤器101的过滤芯内，将其堵塞，这时就需要更换过滤器101，其更换频率通常为6个月1次。也就是说，每过6个月，需要将刻蚀氧化硅的湿刻设备停下来，由专业的工作人员将所使用的磷酸过滤器101全部更换。

对于现有的湿刻设备和清洗设备，清洗或者更换过滤器，需要专业的工作人员进行手工作业。在过滤器的更换和清洗作业中，因为需要拆卸过滤器并为清洗过滤器提供清洗液，通常需要2-3名专业工作人员协同作业，因为其中大部分工作都是需要手动完成，因此为了清洗或者更换过滤器需要耗费大量的工作时间。另外，清洗或者更换过滤器时，相应的湿刻和清洗设备需要处于停机状态，降低了设备的利用率。而且，更换过滤器所需要的费用也非常客观。可见，要维持上述清洗设备或湿刻设备的正常生产需要较高的生产成本。

实用新型内容

本实用新型提供一种清洗过滤器的循环装置，达到降低过滤器更换频率，减少专业对应人员数量和对应时间的目的，以解决上述生产成本较高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种清洗过滤器的循环装置，包括过滤器和供给泵，所述过滤器第一端连接所述供给泵，所述过滤器的第二端连接一需求设备，所述清洗过滤器的循环装置还包括：供液管道、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和排液管道；所述供液管道第一端通过第一阀门连接到供给泵的第一端，所述供给泵的第一端通过第二阀门连接到需求设备，所述供给泵的第二端连接到所述过滤器的第一端，所述过滤器的第二端通过第三阀门连接到需求设备，所述过滤器的第二端通过第四阀门连接到排液管道，所述过滤器的第二端还连接到供液管的第二端。

可选的，所述供液管道内设置传感器，所述传感器的信号用于触发所述供给泵。

可选的，在所述过滤器和第一阀门之间设置流量计和/或压力计。

可选的，在所述过滤器和第四阀门之间设置流量计和/或压力计。

可选的，所述供给管道上连接至少一个洗液管道，所述洗液管道分别连接一个洗液阀门。

可选的，所述供给管道上连接两个洗液管道。

可选的，所述两个洗液管道供给两种清洗液，所述清洗液与所述需求设备的工作药液互相不反应。

可选的，所述工作药液为磷酸。

可选的，所述两种清洗液分别为酸洗液和纯水。

可选的，所述过滤器为多个并列连接的子过滤器。

采用本实用新型的清洗过滤器的循环装置，因为包括供液管道、和排液管道，可以通过第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门的开关，在不拆卸过滤器的情况下，向过滤器提供清洗液。通过清洗液对过滤器的反复冲洗，将堵塞于过滤器中的去除，经过清洗后的过滤器可以继续使用一段时间，从而延长过滤器的使用寿命，降低了过滤器的更换频率。

另外，通过在供液管道内设置传感器，通过传感器的信号触发供给泵工作，使得清洗工作变得智能简便，减少了对应人员的数量和时间。

此外，通过在所述过滤器和第一阀门/第四阀门之间设置流量计和/或压力计，通过观察流量计和/或压力计的数值，可以更准确的判断出过滤器的清洗效果，以达到节约清洗液的效果，从而有效的降低了生产成本。

附图说明

图1为现有技术中的过滤器循环装置的示意图；

图2为本实用新型一实施例中的清洗过滤器的循环装置的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图来进一步做详细说明。

如图2所示，在本实用新型一实施例中的清洗过滤器的循环装置，包括：过滤器201、供给泵202、供液管道203、第一阀门204、第二阀门205、第三阀门206、第四阀门207和排液管道208。所述供液管道203一端通过第一阀门204连接到供给泵202的第一端，所述供给泵202的第一端还通过第二阀门205连接到需求设备的循环槽215，所述供给泵202的第二端连接过滤器201的第一端，所述过滤器201的第二端通过第四阀门207连接到排液管道208，所述过滤器201的第二端连接到供液管203的第二端，所述过滤器201的第二端还通过第三阀门206连接到需求设备的供液槽214。

所述过滤器201为多个并列连接的子过滤器，图2中示出的是过滤器201包含两个子过滤器的情形。

继续参考图2，当所述过滤器201发生堵塞后，首先关闭第二阀门205和第三阀门206，停止过滤器201对需求设备的供液循环，然后在打开第一阀门204并关闭第四阀门207，使用供给泵202将供液管道203内的清洗液供给到过滤器 201内，对其过滤芯进行冲洗，然后清洗液从过滤器201的第二端循环至供液管道203内，经过供给泵202再循环至过滤器201内，经过反复循环冲洗后，过滤芯内的堵塞物被清除。然后，打开第四阀门207，使清洗液通过排液管道208排出。清洗液完全排除后，关闭第一阀门204和第四阀门207，打开第二阀门205和第三阀门206，使得过滤器201重新开始为需求设备提供过滤循环作业。

继续参考图2，为了使清洗过滤器的作业更智能和简便，可以在所述供给管道203上连接一个洗液管道209，所述洗液管道209连接一个洗液阀门210，也可以在所述供液管道203内设置一传感器211，所述传感器211的信号用于触发所述供给泵202。在需要向供给管道203供液时，打开洗液阀门210，将清洗液送入供给管道203，当清洗液经过供液管道203内时，传感器211会将得到信号传递给供给泵202，供给泵202得到传感器211的信号后，会自动打开开始工作，将供液管道203内的洗液供给到过滤器201。所述清洗阀门210只在清洗作业时打开，在清洗作业完成后的排放清洗液和向需求设备供液时，所述洗液阀门210都处于关闭状态。

继续参考图2，为了更好的控制对过滤器的清洗时间，优选的，在所述过滤器201和第一阀门204之间设置流量计212和/或压力计213。在清洗过滤器201的初期，因为过滤器201已经被堵塞，因此这时流量计212的数值会比较低，而压力计213的数值会比较高，随着清洗的持续进行，堵塞物逐渐被清除，流量计212的数值会逐步走高，而压力计213的数值则会逐渐下降。设置流量计212和/或压力计213后，工作人员可以根据流量计212和/或压力计213的数值变化，更准确的判断过滤器的清洗效果，在保证清洗效果的前提下，更好的节约清洗药液和作业时间。应当理解的是，所述流量计212和/或压力计213也可以设置在过滤器201和第四阀门207之间。

继续参考图2，为了保证对过滤器201的清洗效果，也可以采用多种清洗液组合方法，为此需要所述供给管道203上连接多个洗液管道209，所述洗液管道209分别连接一个洗液阀门210。清洗液的选择原则为，清洗液与所述需求设备的工作药液互相不反应。优选的，所述供给管道203上连接两个洗液管道209，所述两个洗液管道209供给两种清洗液，这两种清洗液一种可以设置为清洗过滤器的药液，另一种清洗液可以设置为纯水。在清洗作业完成以后，为了去除残留在过滤器201内清洗液，可以用纯水对过滤器201在做一次冲洗，以去除残留在过滤器201内清洗液。具体的，如果工作药液为磷酸时，两种清洗液可以分别采用为酸洗液和纯水，先用酸洗液对过滤器201进行冲洗，当冲洗结束后，可以再使用纯水对过滤器201进行冲洗，将残留在过滤器201内的酸液去除。优选的，所述酸洗液为HF，其中，HF与水的体积比范围为100：1~50：1。

综上所述，在本实用新型的清洗过滤器的循环装置中，因为包括供液管道、和排液管道，并通过第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门的开关，在不拆卸过滤器的情况下，向过滤器提供清洗液。通过清洗液对过滤器的反复冲洗，将堵塞于过滤器中的去除，经过清洗后的过滤器可以继续使用一段时间，从而延长过滤器的使用寿命，降低了过滤器的更换频率。

另外，通过在供液管道内设置传感器，通过传感器的信号触发供给泵工作，使得清洗工作变得智能简便，减少了对应人员的数量和时间。另外，通过在所述过滤器和第一阀门/第四阀门之间设置流量计和/或压力计，通过观察流量计和/或压力计的数值，可以更准确的判断出过滤器的清洗效果，以达到节约清洗液的效果。

综上，通过采用本实用新型的清洗过滤器的循环装置可以显著降低更换过滤器的频率，同时减少专业对应人员数量和对应时间，从而有效的降低了生产成本。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims

1.一种清洗过滤器的循环装置，包括过滤器和供给泵，所述过滤器第一端连接所述供给泵，所述过滤器的第二端连接一需求设备，其特征在于，所述清洗过滤器的循环装置还包括：供液管道、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和排液管道；所述供液管道的第一端通过第一阀门连接到所述供给泵的第一端，所述供给泵的第一端还通过第二阀门连接到所述需求设备，所述供给泵的第二端连接到所述过滤器的第一端，所述过滤器的第二端通过第三阀门连接到需求设备，所述过滤器的第二端还通过第四阀门连接到所述排液管道，所述过滤器的第二端还连接到供液管的第二端。

2.如权利要求1所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述供液管道内设置传感器，所述传感器的信号用于触发所述供给泵。

3.如权利要求1所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，在所述过滤器和第一阀门之间设置流量计和/或压力计。

4.如权利要求1所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，在所述过滤器和第四阀门之间设置流量计和/或压力计。

5.如权利要求1所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述供给管道上连接至少一个洗液管道，所述洗液管道分别连接一个洗液阀门。

6.如权利要求5所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述供给管道上连接两个洗液管道。

7.如权利要求6所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述两个洗液管道供给两种清洗液，所述清洗液与所述需求设备的工作药液互相不反应。

8.如权利要求7所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述工作药液为磷酸。

9.如权利要求8所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述两种清洗液分别为酸洗液和纯水。

10.如权利要求1所述的清洗过滤器的循环装置，其特征在于，所述过滤器为多个并列连接的子过滤器。